一种带有把手的晶圆匣的制作方法

本实用新型涉及晶圆匣，特别涉及一种带有把手的晶圆匣。

背景技术：

晶圆匣，是在晶圆的制造工序中，于晶圆的切割、烘烤等工艺流程中用来盛放、运送晶圆的装置。

现有技术中有一种晶圆匣，参照图1，它包括第一侧壁1、第二侧壁2和连接杆3，第一侧壁1和第二侧壁2分别连接于连接杆3相对的两侧，第一侧壁1与第二侧壁2上横向层叠设置有多条限位槽11，第一侧壁1与第二侧壁2的限位槽11两两对应并用于承载晶圆，当一晶圆被放置于晶圆匣中时，晶圆被插入第一侧壁1与第二侧壁2上两两对应的限位槽11中，位于第一侧壁1和第二侧壁2的底部分别设有底托5，底托5上开有槽口，槽口的位置与限位槽11相对应，当一晶圆被放置于晶圆匣中时，晶圆被插入第一侧壁1与第二侧壁2上两两对应的限位槽11中，晶圆底部被卡在槽口内，通过第一侧壁1、第二侧壁2以及底托5的限制，晶圆被盛放在黑晶匣，位于第一侧壁1和第二槽壁的外侧固定有把手6，把手6固定于第一侧壁1和第二侧壁2外侧，把手6设有握杆63，握杆63平行于限位槽11，底托5位于把手6的下方。

当晶圆匣内装满晶圆后，工作人员需要从两侧双手握住握杆63，搬运晶圆匣，为了防止晶圆从晶圆匣内滑落出来，工作人员需要保持限位槽11不偏离竖直方向，但是由于晶圆匣和晶圆具有重力，而工作人员仅仅通过手握住握杆63来抵消来自于重力的分力，没有其他地方给予手部支撑，工作人员经过长时间的握持后，手腕部会产生酸楚感，晶圆匣的限位槽11偏离竖直方向，导致晶圆在晶圆匣中容易错位滑动，甚至从晶圆匣中掉落出来，从而损坏晶圆。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种带有把手的晶圆匣，其具有减缓手部负荷，从而避免晶圆从晶圆匣内滑落出来的优点。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种带有把手的晶圆匣，包括相对设置的第一侧壁和第二侧壁，位于第一侧壁和第二侧壁之间设有挡板，远离挡板一侧的拐角处穿设有连接杆，挡板背离限位槽的一面设有把手，把手设有用于手握持的握杆，所述握杆平行于限位槽。

通过采用上述技术方案，工作人员在对晶圆匣进行搬运时，手握住把手的握杆，同时手指的关节处抵触在挡板上，手与挡板之间形成杠杆结构，从而有效减小了手部来自于晶圆匣的负荷，使得晶圆匣在搬运过程中更加平稳，避免了晶圆由于晶圆匣的倾斜而从晶圆匣内滑落出来。

进一步设置：所述挡板上可拆卸连接有把手盖板，所述把手盖板扣合在把手相对于握杆的侧边上，所述把手经把手盖板转动连接在挡板上。

通过采用上述技术方案，在需要使用把手时，工作人员将把手调整至垂直于侧板的状态，从而抓住把手；在不需要使用把手时，工作人员调整把手贴合在挡板上，节省了较大的空间。

进一步设置：所述把手分别设置第一侧壁和第二侧壁外侧面上，所述把手的握杆垂直于限位槽。

通过采用上述技术方案，把手横置在第一侧壁和第二侧壁的外侧，在晶圆沿着限位槽被放在晶圆匣内后，工作人员提拉把手，改变了搬运晶圆匣的施力方式，手壁呈竖直向下，晶圆匣的滑槽始终保持竖直方向，同时利用手臂的拉力抵消来自于晶圆和晶圆匣的重力，搬运过程减少了手腕处的负荷。

进一步设置：所述把手呈U形，其端部固定连接有滑块，所述第一侧壁和第二侧壁的外侧开有供滑块滑移的滑槽。

通过采用上述技术方案，把手与第一侧壁和第二侧壁之间可拆卸，在晶圆匣搬运至存储区域内后，工作人员将把手沿着滑槽滑出，从而减少了晶圆匣所占据的空间，提高了存储区域的空地利用率。

进一步设置：所述滑块为燕尾块，所述滑槽为与燕尾块相配合的燕尾槽。

通过采用上述技术方案，燕尾块和燕尾槽互相配合，能够使滑块被卡在滑槽内，限制了滑块的滑移方向。

进一步设置：所述滑块远离把手的端部开有U形槽口，所述滑槽的相对面上设有供U形槽口滑移的滑轨。

通过采用上述技术方案，U形槽口和滑轨配合，将滑块限制在滑槽内，滑轨同时具有导向作用，对滑块的滑移滑向起到引导作用。

进一步设置：所述滑槽下方开有用于将滑块置入滑槽内的放置口，所述放置口的尺寸大于滑块。

通过采用上述技术方案，滑块能够经过放置口滑入滑槽内，工作人员不用抬起晶圆匣后再将滑块滑入滑槽内，节省人力的同时节约了安装时间，更加方便快捷。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

1、通过给予手部支撑点，形成杠杆结构，缓解了手腕部的负荷，从而使晶圆匣在搬运过程中更加平稳，晶圆匣不会由于倾斜而使其内部的晶圆滑落出来；

2、通过在第一侧壁和第二侧壁的外侧面横置把手，工作人员提拉晶圆匣，改变了搬运晶圆匣的施力方向，同时利用手臂的拉力抵消来自于晶圆和晶圆匣的重力，搬运过程减少了手腕处的负荷。

附图说明

图1是用于体现背景技术中晶圆匣的结构示意图；

图2是实施例1中用于体现晶圆匣的结构示意图；

图3是实施例2中用于体现晶圆匣的结构示意图；

图4是实施例2中用于体现把手的结构示意图；

图5是实施例3中用于体现晶圆匣的结构示意图；

图6是实施例3中用于体现把手的结构示意图；

图7是用于体现图5中A部的放大图。

图中，1、第一侧壁；2、第二侧壁；11、限位槽；12、滑槽；121、滑轨；13、放置口；3、连接杆；4、挡板；5、底托；6、把手；61、把手盖板；62、滑块；621、U形槽口；63、握杆。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

实施例1：一种带有把手的晶圆匣，参照图2，晶圆匣包括第一侧壁1和第二侧壁2，第一侧壁1和第二侧壁2相对设置，两者相对面上开有两两对应的限位槽11，第一侧壁1和第二侧壁2之间固定有连接杆3，连接杆3和挡板4分别固定在第一侧壁1和第二侧壁2的竖向边沿处，两者相对设置，通过挡板4和连接杆3的设置，第一侧壁1和第二侧壁2之间的距离得到确定。

晶圆置于第一侧壁1和第二侧壁2之间且被限制在限位槽11内，第一侧壁1和第二侧壁2的底部设有底托5，底托5开有与滑槽12相配合的槽口，晶圆通过第一侧壁1、第一侧壁1和底托5的配合，被限制在晶圆匣内，实现对晶圆的盛放。

参照图2，盛放满晶圆的晶圆匣需要从工作台上搬离，因此为了搬运方便，在晶圆匣的侧面设有把手6。

参照图2，把手6设置在挡板4上，把手6呈矩形，其一条较长边作为抓握的握杆63，握杆63平行于限位槽11，挡板4上还可拆卸连接有把手盖板61，把手盖板61扣合在把手6平行于握杆63的另一条长边上，把手6通过把手盖板61实现在挡板4上的转动连接。

晶圆匣装满后，工作人员握住把手6的握杆，在握住握杆63的同时，手的指关节处抵触在挡板4上，挡板4与手之间形成杠杆结构，减小了手抓握杆63时的力度，同时依靠杠杆结构，晶圆匣在搬运过程中更加平稳，避免晶圆匣产生倾斜，使晶圆滑落出来。

实施例2：一种带有把手的晶圆匣，与实施例1的不同之处在于第一侧壁1和第二侧壁2之间的间隔采用在四角插设连接杆3进行固定和限制，同时把手6的位置较之于实施例1也有不同。

参照图3，把手6呈U形，把手6的端部固定连接有滑块62（参照图4），滑块62设置为燕尾块，在第一侧壁1和第二侧壁2的外侧开有与滑块62相配合的滑槽12，滑槽12呈竖向开设，滑槽12开为燕尾槽，燕尾块与燕尾槽配合，能够有效将滑块62限制在滑槽12内，从而限制滑块62在滑槽12内的滑移方向。

参照图3，滑槽12向上延伸至靠近第一侧壁1和第二侧壁2的上边沿处，但是未贯通，靠近于第一侧壁1和第二侧壁2的底部且位于滑槽12的下方开有放置口13，放置口13的尺寸大于滑块62。

在晶圆盛满晶圆匣后，工作人员将把手6经过放置口13滑入滑槽12内，把手6在滑入滑槽12后，呈水平状，工作人员提拉晶圆匣，施力方向沿着手臂，减轻了手腕处的负荷，同时本实施例中采用提拉的方式搬运晶圆匣，晶圆匣始终竖直向上，有效防止晶圆匣产生倾斜现象，从而避免了在运输过程中，晶圆从晶圆匣内滑落出来。

实施例3，一种带有把手的晶圆匣,与实施例2的不同之处在于，滑块62与滑槽12之间的配合方式不同。

参照图6，滑块62远离把手6的端部开有U形槽口621，滑槽12的相对面上设有与U形槽口621相配合的滑轨121（参照图7），滑轨121的设置一方面能够将滑块62限制在滑槽12内，另一方面能够对滑块62的滑移起到导向作用。

上述的实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。