]更换晶圆环60，待上述之挑选晶粒结束后，请配合参考第8图所示，座环41系上升至最初位置。于座环41的上升过程中，晶圆环60之蓝膜600仍与扩张环44保持接触的状态，直到晶圆环60位于系承接部431。座环41仍持续上升至最初位置，蓝膜600系与扩张环44相互分离。位于承接部431之晶圆环60的蓝膜600因为受到扩张环44与上压模块42的交互作用，并且晶粒601未位于蓝膜600的一面，故蓝膜600此时会呈现一松弛状态。
[0052]若如上述之支撑条430未缩回支撑模块43的内部，于座环42的上升过程中，并且晶圆环60回到支撑条430的位置时，支撑条430会缩回支撑模块43的内部，蓝膜600仍与扩张环44保持接触，直至晶圆环60位于系承接部431，蓝膜600才与扩张环44相互分离。
[0053]请配合参阅第9图所示，当已被挑选晶粒601之晶圆环60位于承接部431后，支撑条430系突出于支撑模块43的外部。
[0054]请配合参考第10图与第4图所示，上夹模块32系于晶舟盒中夹持出另一待挑选晶粒601之晶圆环60，上往复模块31系沿着上层件390的导引，以使上夹模块32朝向承载单元40方向移动。
[0055]下往复模块33系沿着下层件391的导引，以使下夹模块34朝向承载单元40方向移动。
[0056]如第10图与第5图所示，下夹模块34系夹持位于承接部431的晶圆环60。下夹模块34系再次沿着下层件391的导引，以使下夹模块34朝向承载模块40方向移动。晶圆环60的两侧系受到第二导道393与第四导道381的导引，以使晶圆环60位于承载模块40的上方。
[0057]加热模块36系对蓝膜600进行一加热的动作，而使已呈松弛状的蓝膜600受热后成为一平整状的蓝膜600。夹持单元30系再转动一设定角度，以使晶圆环6朝向所欲放入之晶舟盒501。下夹模块34再将具有已加热之蓝膜600的晶圆环60送入晶舟盒501中。于下夹模块34将晶圆环60送入晶舟盒501时，下夹模块34系再次受到下层件391的导引，晶圆环60亦再次受到第二导道393与第四导道381的导引。前述之加热与转动能够同时进行，或者先加热再转动，或者先转动再加热。
[0058]上夹模块32系将晶圆环60放置于支撑条430上。放置于支撑条430之晶圆环60系进行上述之扩张蓝膜600的步骤。前述之上夹模块32放置晶圆环60之动作与下夹模块34取出晶圆环60之动作系同时进行。
[0059]综合上述，本实施例晶圆环快速换料装置及其方法，其特点有三:
一为夹持单元具有一上夹模块与一下夹模块，上夹模块系用于将晶圆环送入承载单元，下夹模块系将晶圆环取出承载单元，前述之取出与送入晶圆环的动作系同步进行，故能无缝且缩短更换晶圆环的时间，所以本实施例能应用于各种尺寸之晶粒取放制程，特别是尺寸较大的晶粒；
二为承载单元之支撑模块所具有支撑条与承接部系使支撑模块具有一高度差，该高度差系能够供二晶圆环同时设置，一晶圆环系被放入承载单元，另一晶圆环系被取出承载单元，另外该高度差的设计亦能够避免位于下层且松弛的蓝膜损伤位于上层之蓝膜的晶粒；三为加热模块系设于夹持单元处，所以蓝膜系于晶圆环被取出承载单元后才被加热，故能缩短晶圆环取出的时间。
[0060]上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种晶圆环快速换料装置，其特征在于:其包含有: 一夹持单元，其具有一上夹模块与一下夹模块，该上夹模块与该下夹模块形成为一双层模块； 一承载单元，其相邻于该夹持单元；以及 至少一供应单元，其相邻于该夹持单元，并且位于相邻该夹持单元且非与该承载单元相同的任一侧。2.根据权利要求1所述晶圆环快速换料装置，其特征在于:所述上夹模块系夹持一位于供应单元的晶圆环，并将该晶圆环移动至该承载单元；该下夹模块系夹持一位于该承载单元的晶圆环，并将该晶圆环移动至该供应单元。3.根据权利要求1所述晶圆环快速换料装置，其特征在于:所述夹持单元更具有一上往复模块与一下往复模块，该上往复模块系耦接该上夹模块，该下往复模块系耦接该下夹丰旲块。4.根据权利要求3所述晶圆环快速换料装置，其特征在于:所述上往复模块与该下往复模块系同时运作，并于运作时该上往复模块与该下往复模块无须互等。5.根据权利要求3所述晶圆环快速换料装置，其特征在于:所述夹持单元更具有一导引模块与一放置模块；该上往复模块与该下往复模块系设于该导引模块，该放置模块系设于该导引模块的底端。6.根据权利要求1所述晶圆环快速换料装置，其特征在于:所述承载单元具有一座环、一上压模块、一支撑模块与一扩张环，该上压模块系设于该座环的顶端；该支撑模块系设于该座环与该上压模块之间；该扩张环系位于该座环的下方。7.—种晶圆环快速换料方法，其特征在于:其步骤包含有: 提供一晶圆环，一上夹模块系将一晶圆环送至一承载模块中；该晶圆环具有一蓝膜，该蓝膜具有多个晶粒； 扩张该蓝膜，该承载模块系下降一设定距离，以使一扩张环与一上压模块交互作用于该蓝膜，以扩张该蓝膜，并将各晶粒的距离拉开； 挑选该晶粒，一取放单元系吸取位于该蓝膜之晶粒； 更换晶圆环，该承载装置系上升至一最初位置，该上夹模块系将另一晶圆环送入该承载单元中，一下夹模块系将已被吸取该晶粒之晶圆环由该承载单元中取出。8.根据权利要求7所述晶圆环快速换料方法，其特征在于:所述下夹模块将该已被吸取晶粒之晶圆环移动至一放置模块触处，一加热模块系加热该蓝膜，该下夹模块系将具有已被加热之蓝膜的晶圆环移动至一供应单元。9.根据权利要求7所述晶圆环快速换料方法，其特征在于:所述承载单元具有一支撑模块，该支撑模块具有至少一支撑条与至少一承接部，当晶圆环位于该承载单元中时，该晶圆环系位于该支撑条上，该承载单元系下降该设定距离，以使该扩张环接触该蓝膜的一面，该支撑条缩回该支撑模块的内部，该承载单元持续下降，该上压模块接触该蓝膜的另一面与该晶圆环的一面，以扩张该蓝膜。10.根据权利要求7所述晶圆环快速换料方法，其特征在于:所述承载单元具有一支撑模块，该支撑模块具有至少一支撑条与至少一承接部，当晶圆环位于该承载单元中时，该晶圆环系位于该支撑条上，该承载单元系下降该设定距离，以使该扩张环接触该蓝膜的一面，该支撑条未缩回该支撑模块的内部，该承载单元持续下降，该晶圆环离该支撑条，该上压模块接触该蓝膜的另一面与该晶圆环的一面，以扩张该蓝膜。
【专利摘要】一种晶圆环快速换料装置，其包含有：一夹持单元，其具有一上夹模块与一下夹模块，该上夹模块与该下夹模块系形成为一双层模块；一承载单元，其相邻于该夹持单元；以及至少一供应单元，其相邻于该夹持单元，并且位于相邻该夹持单元且非与该承载单元相同的任一侧。该上夹模块系夹持一位于供应单元之晶圆环，并将该晶圆环移动至该承载单元；该下夹模块系夹持一位于该承载单元之晶圆环，并将该晶圆环移动至该供应单元。前述之取出与送入晶圆环的动作系同步进行，故能无缝且缩短更换晶圆环的时间。
【IPC分类】H01L21/67, H01L21/677
【公开号】CN105280532
【申请号】CN201510719940
【发明人】石敦智, 陈世伟, 王建宏, 刘黄颂凯
【申请人】苏州均华精密机械有限公司
【公开日】2016年1月27日
【申请日】2015年10月30日