一种切单晶硅材料的切割工装的制作方法

文档序号:11463842阅读:444来源:国知局
一种切单晶硅材料的切割工装的制造方法与工艺

本实用新型涉及单晶硅切割设备技术领域,具体为一种切单晶硅材料的切割工装。



背景技术:

硅的单晶体。具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999%,甚至达到99.9999999%以上。用于制造半导体器件、太阳能电池等。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。单晶硅是一种比较活泼的非金属元素,是晶体材料的重要组成部分,处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势,近三十年来,太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展,成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。但是,现有单晶硅切割机在对单晶硅进行切割时,单晶硅棒从切割台上拆卸或者安装比较麻烦,同时考虑到同一根单晶硅棒在切割过程中还需要进行调头等操作,因此传统的切割工装会直接影响单晶硅棒的切片效率。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种切单晶硅材料的切割工装,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种切单晶硅材料的切割工装,包括工作台面,所述工作台面上固定安装有单晶硅载物台,且单晶硅载物台内设置有电加热膜组件,所述单晶硅载物台上设置有硅胶粘合层,且硅胶粘合层上设置有电磁铁装置,所述工作台面上固定安装有控制箱,且控制箱外壳表壁设置有操作面板,所述控制箱上方设置有安装台面,且安装台面上设置有切割升降台,所述切割升降台内安装有升降管,且升降管通过连接器与切割装置固定连接,所述切割装置上连接有控制杆,且控制杆通过转轴与切割刀片相连接,所述切割升降台内设置有插槽,且插槽内设有插销。

优选的,所述工作台面底部四个拐角处分别安装有支撑柱。

优选的,所述硅胶粘合层由硅胶材料压制而成,且硅胶粘合层中间设有固定环。

优选的,所述操作面板上设置有启动开关和控制按钮。

优选的,所述切割刀片是由金刚石材料构件打磨制成。

优选的,所述转轴通过导线与控制按钮相连接。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型安装有电磁铁装置,当上述结构的切割工装在单晶硅切割机上具体使用时,操作人员打开电源便可以将粘接有单晶硅棒的单晶硅载物台方便的通过磁力吸合在切割升降台上,待上一根单晶硅棒切片完成后,只要切断上述中原本保持通电状态的电磁铁装置的电源,那么整个单晶硅载物台边可以方便地取下;可以通过电加热膜组件产生的热量将残留在单晶硅载物台上的硅胶残留物加热融化,然后方便清除;该设备解决了单晶硅在切割机的切割升降台上方便进行固定的技术问题,在单晶硅切割机上具体使用后,能够很大程度上简化切割机上单晶硅棒的拆装工序,提升切割机对单晶硅片切割效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图;

图2为本实用新型的硅胶粘合层结构示意图;

图3为本实用新型的切割升降台结构示意图;

图4为本实用新型的操作面板结构示意图。

图中:1-升降管;2-切割升降台;3-安装台面;4-控制箱;5-操作面板;6-工作台面;7-支撑柱;8-连接器;9-切割装置;10-控制杆;11-转轴;12-切割刀片;13-单晶硅载物台;14-电加热膜组件;15-电磁铁装置;16-固定环;17-硅胶粘合层;18-插销;19-插槽;20-启动开关;21-控制按钮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4,本实用新型提供的一种实施例:一种切单晶硅材料的切割工装,包括工作台面6,工作台面6上固定安装有单晶硅载物台13,且单晶硅载物台13内设置有电加热膜组件14,单晶硅载物台13上设置有硅胶粘合层17,且硅胶粘合层17上设置有电磁铁装置15,工作台面6上固定安装有控制箱4,且控制箱4外壳表壁设置有操作面板5,控制箱4上方设置有安装台面3,且安装台面3上设置有切割升降台2,切割升降台2内安装有升降管1,且升降管1通过连接器8与切割装置9固定连接,切割装置9上连接有控制杆10,且控制杆10通过转轴11与切割刀片12相连接,切割升降台2内设置有插槽19,且插槽19内设有插销18,工作台面6底部四个拐角处分别安装有支撑柱7,硅胶粘合层17由硅胶材料压制而成,且硅胶粘合层17中间设有固定环16,操作面板5上设置有启动开关20和控制按钮21,切割刀片12是由金刚石材料构件打磨制成,转轴11通过导线与控制按钮21相连接。

本实用新型在使用时,工作台面6上固定安装有单晶硅载物台13,单晶硅载物台13内设置有电加热膜组件14,单晶硅载物台13上设置有硅胶粘合层17,硅胶粘合层17上设置有电磁铁装置15,在该电磁铁装置15的下方通过磁力吸合有单晶硅载物台13,在该单晶硅载物台13的底表面上设有用于固定待切割单晶硅的硅胶粘合层17,当上述的电磁铁装置15处于失电消磁状态时,该电磁铁装置15与单晶硅载物台13两者脱开,操作人员打开操作面板5上的启动开关20便可以将粘接有单晶硅的单晶硅载物台13方便的通过磁力吸合在切割升降台2上,随后切割刀片12对单晶硅进行切割,通过转轴11来控制切割的角度,达到最精确的切割工序,电加热膜组件14产生的热量将残留在单晶硅载物台13上的硅胶残留物加热融化,然后方便清除,该设备解决了单晶硅在切割机的切割升降台上方便进行固定的技术问题,在单晶硅切割机上具体使用后,能够很大程度上简化切割机上单晶硅棒的拆装工序,提升切割机对单晶硅片切割效率。

对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

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