化学机械抛光机用助力机械手的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种化学机械抛光机用助力机械手，包括硬臂式支撑装置、T型支架和数个真空吸盘，硬臂式支撑装置具有刚性臂杆，T型支架安装在该刚性臂杆的端部，数个真空吸盘安装在T型支架上。本实用新型的助力机械手通过合理的设计实现一次吸吊两块以上陶瓷板，在不损失抛光机设备效率的前提下，减少了人力。
【专利说明】化学机械抛光机用助力机械手
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种化学机械抛光机用助力机械手，属于化学机械抛光机【技术领域】。
【背景技术】
[0002]硅片的化学机械抛光工艺一般采用多步抛光，每个贴有硅片的陶瓷板需要依次在三到四台抛光机上抛光。传统的陶瓷板移动方式一般为人工手动，特点是需要付出较多人力，但抛光机效率较高。为了节约人力还有的设备原配有机械手，采用该种设备那个陶瓷板时，一次只能移动一块陶瓷板，虽然实现了全自动，用人少，但时抛光机效率较低。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的在于提供一种化学机械抛光机用助力机械手，采用该助力机械手可以在不损失抛光机设备效率的前提下，减少了人员数量。
[0004]为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案:
[0005]一种化学机械抛光机用助力机械手，包括硬臂式支撑装置、T型支架和数个真空吸盘，硬臂式支撑装置具有刚性臂杆，T型支架安装在该刚性臂杆的端部，数个真空吸盘安装在T型支架上。
[0006]所述真空吸盘的数量为2个，分别安装在T型支架头部的两侧端。
[0007]所述T型支架上设有一定位栓，该定位栓与抛光机上的定位槽相匹配，用于定位真空吸盘相对于抛光机上陶瓷板的位置。
[0008]本实用新型的优点在于:
[0009]本实用新型的助力机械手通过合理的设计实现一次吸吊两块以上陶瓷板，在不损失抛光机设备效率的前提下，减少了人力。
【专利附图】
【附图说明】
[0010]图1为本实用新型的结构示意图。
[0011]图2为采用该助力机械手在两台抛光机之间搬运陶瓷板的结构示意图。
【具体实施方式】
[0012]以下结合附图对本实用新型作进一步说明。
[0013]如图1所示，本实用新型的化学机械抛光用助力机械手包括硬臂式支撑装置1、T型支架2和真空吸盘3，硬臂式支撑装置I具有刚性臂杆4，T型支架2安装在该刚性臂杆4的端部，数个真空吸盘3安装在T型支架2上。
[0014]真空吸盘的数量可以为2个，分别安装在T型支架头部的两侧端，T型支架的另一头安装有把手6。T型支架上还设有一定位栓5，该定位栓与抛光机上的定位槽相匹配，用于定位真空吸盘相对于抛光机上陶瓷板的位置。[0015]其中硬臂式支撑装置具有全行程“漂浮”功能，当工件重心远离臂悬挂点时，具有全程重力平衡的优点。通过控制刚性臂杆气动升降可以控制T型支架的高度。
[0016]如图2所示，采用该助力机械手在两台抛光机A、B之间搬运陶瓷板，手动将硬臂式支撑装置移动到位置C处固定，握住T型支架上的把手，使定位栓进入抛光机A的定位槽内，此时两个真空吸盘分别对准抛光机A上陶瓷板的位置A1、A2，将刚性臂杆气动下降使真空吸盘吸住陶瓷板。然后气动上升刚性臂杆，手动转动刚性臂杆至另一抛光机B的合适位置，使定位栓进入抛光机B的定位槽内，此时两个真空吸盘分别对准抛光机上陶瓷板的位置B1、B2。气动下降刚性臂杆，释放陶瓷板，从而完成陶瓷板的搬运过程。
[0017]采用本实用新型可实现一次搬运两块以上陶瓷板，在不损失抛光机设备效率的前提下，减少了人力，提局了效率。
【权利要求】
1.一种化学机械抛光机用助力机械手，其特征在于，包括硬臂式支撑装置、T型支架和数个真空吸盘，硬臂式支撑装置具有刚性臂杆，T型支架安装在该刚性臂杆的端部，数个真空吸盘安装在T型支架上。
2.根据权利要求1所述的化学机械抛光机用助力机械手，其特征在于，所述真空吸盘的数量为2个，分别安装在T型支架头部的两侧端。
3.根据权利要求1或2所述的化学机械抛光机用助力机械手，其特征在于，所述T型支架上设有一定位栓，该定位栓与抛光机上的定位槽相匹配，用于定位真空吸盘相对于抛光机上陶瓷板的位置。
【文档编号】B25J15/06GK203600232SQ201320739613
【公开日】2014年5月21日 申请日期:2013年11月20日 优先权日:2013年11月20日
【发明者】郝玉清, 程凤伶, 蔡丽艳, 李耀东, 陈信, 任凯峰, 张建, 李奇, 白鸽玲 申请人:有研半导体材料股份有限公司