专利名称：一种标准具结构的制作方法
技术领域：
本发明涉及光学与激光领域的一种元器件，尤其是一种标准具结构。
背景技术：
标准具广泛用于光谱超精细结构、同位素位移谱线轮廊与宽度及塞曼效应的观测；激光模式观测和选模、选频；光通信中作为滤波器用于波分复用等。传统的法布里-珀罗标准具(F-P)由两块平面板和两块隔离块组成的空气隙腔， 在两块平面板的相对位置、即空气腔侧面镀制部分反射膜来实现多束干涉，利用多束干涉原理产生非常细锐的条纹，比较稳定，可以选择特定的波长高透过通过，其余的高损耗。传统法布里-珀罗标准具的加工难点在于难于准确控制FSR值，在控制FSR值的过程中，需要反复的光胶、测试和抛光，FSR对两块隔离块厚度的精度要求非常之高，精度在 0. 1微米以下。如果FSR值不一样，隔离块的厚度也不一样，需要重新加工两块隔离块，加工繁琐。
发明内容
标准具的FSR值计算公式为
η为腔体的折射率，d为腔体的厚度，C为光速，&为入射角。由上式，传统的空气隙标准具，需要严格控制厚度，才能控制准确的FSR ；FSR对应唯一的空气腔厚度，需要加工不同的两块隔离块形成空气腔，而且厚度对FSR值影响之大， 加工时需要反复的加工、光胶、测试，直到合格，稍有不慎，尺寸就变小导致FSR值不合格， 又需要重新下料加工。本发明提出了一种新的标准具结构。为了解决上述传统空气隙标准具的问题，本发明提供技术方案为一种标准具结构，包括两片基板、一片侧面带小孔的环形隔离块、折射率匹配液。两片基板抛光、一面镀部分反射膜和另一面镀增透膜；隔离块侧面带有小孔，并双面抛光，厚度只需要按照正常窗片加工方式，将环形隔离块光胶或深化光胶在两片基板中间形成空气腔，然后从小孔向空气腔内注入配制好的折射率匹配液，封胶固化。本发明专利采用配制折射率的方法改变FSR值，十分简单、加工方便，并且不同的 FSR值，并不需要像传统的方法去再下料加工隔离块。利用本发明只需要配置不同的折射率匹配液即可。
图1为本发明的一种激光标准具结构。 具体实施例如图1，是本发明的一种标准具结构，包括两片基板101和102、一片环形隔离块 103、折射率匹配液105。两片基板双面抛光、一面镀部分反射膜和另一面镀增透膜；隔离块 103侧面带有小孔104，并双面抛光，将环形隔离块103光胶或深化光胶在两片基板101和 102的中间形成空气腔，然后从小孔104向空气腔内注入配制好的折射率匹配液105，在小孔104处采用紫外胶水封胶固化。
权利要求
1.一种标准具结构，包括两片基板、一片侧面带小孔的环形隔离块、折射率匹配液，其特征在于环形隔离块光胶或深化光胶在两片基板中间形成空气腔。
2.根据权力要求1所述的一种标准具结构，其特征在于所述两片基板抛光、一面镀部分反射膜和另一面镀增透膜。
3.根据权力要求1所述的一种标准具结构，其特征在于所述隔离块侧面带有小孔，并双面抛光。
4.根据权力要求1所述的一种标准具结构，其特征在于所述空气腔内注入与标准具 FSR值匹配的折射率匹配液。
5.根据权利要求1所述的一种标准具结构，其特征在于标准具所用材料为低膨胀系数玻璃石英玻璃、ULE、ZER0DURE。
6.根据权利要求1所述的一种标准具结构，其特征在于填充标准具腔体的折射率可以是一种折射率匹配液，也可以是多种折射率匹配液组合而成。
全文摘要
本发明公开了一种标准具结构，所述的标准具结构包括标准具的两片基板、一个侧面带小孔的圆环隔离快和折射率匹配液，两片基板镀有部分反射膜和增透膜，两片基板中间光胶或深化光胶圆环隔离快，从侧壁孔向腔体内注入折射率匹配液，然后用胶水固化封装。标准具的FSR值可以通过调节折射率匹配液改变折射率来达到。根据不同FSR值需求，配制不同的折射率匹配液，容易调节，而且加工方便，易于控制，适于批量生产。
文档编号G02B5/28GK102331597SQ201110282209
公开日2012年1月25日 申请日期2011年9月22日 优先权日2011年9月22日
发明者吴季, 朱一村, 黄楚弘 申请人:福建福晶科技股份有限公司