醋、 甲基丙締酸异冰片基氧己醋、丙締酸异冰片醋、甲基丙締酸异冰片醋、丙締酸-2-己基己 醋、甲基丙締酸-2-己基己醋、己基二甘醇丙締酸醋、己基二甘醇甲基丙締酸醋、叔辛基丙 締酷胺、叔辛基甲基丙締酷胺、二丙酬丙締酷胺、二丙酬甲基丙締酷胺、丙締酸二甲氨基醋、 甲基丙締酸二甲氨基醋、丙締酸十二烷基醋、甲基丙締酸十二烷基醋、丙締酸二环戊締氧 己醋、甲基丙締酸二环戊締氧己醋、丙締酸二环戊締醋、甲基丙締酸二环戊締醋、N，N-二 甲基丙締酷胺、N，N-二甲基甲基丙締酷胺、丙締酸四氯苯醋、甲基丙締酸四氯苯醋、丙締 酸-2-四氯苯氧基己醋、甲基丙締酸-2-四氯苯氧基己醋、丙締酸四氨慷醋、甲基丙締酸 四氨慷醋、丙締酸四漠苯醋、甲基丙締酸四漠苯醋、丙締酸-2-四漠苯氧基己醋、甲基丙締 酸-2-四漠苯氧基己醋、丙締酸-2-=氯苯氧基己醋、甲基丙締酸-2-=氯苯氧基己醋、 丙締酸S漠苯醋、甲基丙締酸S漠苯醋、丙締酸-2- S漠苯氧基己醋、甲基丙締酸-2- S 漠苯氧基己醋、丙締酸-2-哲己醋、甲基丙締酸-2-哲己醋、丙締酸-2-哲丙醋、甲基丙締 酸-2-哲丙醋、己締基己内酷胺、N-己締基皮酪烧酬、丙締酸苯氧基己醋、甲基丙締酸苯氧 基己醋、丙締酸五氯苯醋、甲基丙締酸五氯苯醋、丙締酸五漠苯醋、甲基丙締酸五漠苯醋、聚 单丙締酸己二醇醋、聚单甲基丙締酸己二醇醋、聚单丙締酸丙二醇醋、聚单甲基丙締酸丙二 醇醋、丙締酸冰片醋或甲基丙締酸冰片醋等。
[0117] 前述具有至少一个己締性不饱和基的不饱和化合物可单独一种或混合多种使用。
[0118] 该具有2个或2个W上己締性不饱和基的不饱和化合物包含但不限于己二醇二 丙締酸醋、己二醇二甲基丙締酸醋、二丙締酸二环戊締醋、二甲基丙締酸二环戊締醋、立甘 醇二丙締酸醋、四甘醇二丙締酸醋、四甘醇二甲基丙締酸醋、S (2-哲己基）异氯酸醋二丙 締酸醋、S (2-哲己基）异氯酸醋二甲基丙締酸醋、S (2-哲己基）异氯酸醋S丙締酸醋、 =(2-哲己基）异氯酸醋=甲基丙締酸醋、己内醋改质的=(2-哲己基）异氯酸醋=丙締 酸醋、己内醋改质的S (2-哲己基）异氯酸醋S甲基丙締酸醋、S丙締酸S哲甲基丙醋、S 甲基丙締酸S哲甲基丙醋、环氧己烧（W下简称E0)改质的S丙締酸S哲甲基丙醋、E0改 质的S甲基丙締酸S哲甲基丙醋、环氧丙烷（W下简称P0)改质的S丙締酸S哲甲基丙醋、 P0改质的S甲基丙締酸S哲甲基丙醋、S甘醇二丙締酸醋、S甘醇二甲基丙締酸醋、新戊二 醇二丙締酸醋、新戊二醇二甲基丙締酸醋、1，4-了二醇二丙締酸醋、1，4-了二醇二甲基丙 締酸醋、1,6-己二醇二丙締酸醋、1,6-己二醇二甲基丙締酸醋、季戊四醇S丙締酸醋、季戊 四醇S甲基丙締酸醋、季戊四醇四丙締酸醋、季戊四醇四甲基丙締酸醋、聚醋二丙締酸醋、 聚醋二甲基丙締酸醋、聚己二醇二丙締酸醋、聚己二醇二甲基丙締酸醋、二季戊四醇六丙締 酸醋（dipentaer}ftbitol hexaac巧late ;DPHA)、二季戊四醇六甲基丙締酸醋、二季戊四醇 五丙締酸醋、二季戊四醇五甲基丙締酸醋、二季戊四醇四丙締酸醋、二季戊四醇四甲基丙締 酸醋、己内醋改质的二季戊四醇六丙締酸醋、己内醋改质的二季戊四醇六甲基丙締酸醋、己 内醋改质的二季戊四醇五丙締酸醋、己内醋改质的二季戊四醇五甲基丙締酸醋、四丙締酸 二S哲甲基丙醋、四甲基丙締酸二S哲甲基丙醋、E0改质的双酪A二丙締酸醋、E0改质的双 酪A二甲基丙締酸醋、P0改质的双酪A二丙締酸醋、P0改质的双酪A二甲基丙締酸醋、E0 改质的氨化双酪A二丙締酸醋、E0改质的氨化双酪A二甲基丙締酸醋、P0改质的氨化双酪 A二丙締酸醋、P0改质的氨化双酪A二甲基丙締酸醋、P0改质的甘油S丙酸醋、E0改质的 双酪F二丙締酸醋、E0改质的双酪F二甲基丙締酸醋、酪醒聚缩水甘油離丙締酸醋、酪醒聚 缩水甘油離甲基丙締酸醋，或者日本东亚合成株式会社制造，型号为T0-1382的商品等。
[0119] 该具有己締性不饱和基的化合物（C)较佳是选自于S丙締酸S哲甲基丙醋、E0改 质的S丙締酸S哲甲基丙醋、P0改质的S丙締酸S哲甲基丙醋、季戊四醇S丙締酸醋、季 戊四醇四丙締酸醋、二季戊四醇六丙締酸醋、二季戊四醇五丙締酸醋、二季戊四醇四丙締酸 醋、己内醋改质的二季戊四醇六丙締酸醋、四丙締酸二S哲甲基丙醋、P0改质的甘油S丙酸 醋或上述材料的任意组合。
[0120] 基于前述碱可溶性树脂炬）的总使用量为100重量份，该具有己締性不饱和基的 化合物（C)的使用量为60重量份至600重量份，较佳为80重量份至500重量份，更佳为 100重量份至400重量份。
[0121] 光起始剂值）
[0122] 本发明的光起始剂做可为0-酷基朽（oxime)化合物、S嗦（triazine)化 合物、苯己烧酬（aceto地enone)化合物、二咪挫化iimidazole)化合物或二苯甲酬 化enzo地enone)化合物等。该光起始剂值）可单独一种或混合多种使用。
[0123] 该0-酷基目亏化合物可包含但不限于1-[4-(苯基硫代）苯基]-庚烧-1，2-二 酬-2-(0-苯酷基朽）、1-[4-(苯基硫代）苯基]-辛烧-1，2-二酬-2-(0-苯酷基目亏）、 1-[4-(苯酷基）苯基]-庚烧-1，2-二酬-2-(0-苯酷基朽）、1-巧-己基-6-(2-甲基苯酷 基）-9H-巧挫-3-基]-己烧酬-1- (0-己酷基目亏）、1- [9-己基-6- (3-甲基苯酷基）-9H-巧 挫-3-基]-己烧酬1-(0-己酷基目亏）、1-巧-己基-6-苯酷基-9H-巧挫-3-基]-己烧 酬1-(0-己酷基目亏）、己烧酬-1-[9-己基-6-(2-甲基-4-四氨快喃基苯酷基）-9H-巧 挫-3-基]-1- (0-己酷基目亏）、己烧酬-1- [9-己基-6- (2-甲基-5-四氨化喃基苯酷 基）-9H-巧挫-3-基]-1-(0-己酷基朽）、己烧酬-1-[9-己基-6-(2-甲基-4-四氨快喃 基甲氧基苯酷基）-9H-巧挫-3-基]-1-(0-己酷基朽）、己烧酬-1-[9-己基-6-(2-甲 基-5-四氨快喃基甲氧基苯酷基）-9H-巧挫-3-基]-1-(0-己酷基目亏）、己烧酬-1-[9-己 基-6- {2-甲基-4- (2, 2-二甲基-1，3-二氧杂戊环基）苯酷基} -9H-巧挫-3-基]-1- (0-己 酷基朽），或己烧酬-1-[9-己基-6-{2-甲基-4-(2, 2-二甲基-1，3-二氧杂戊环基）甲氧 基苯酷基}-9H-巧挫-3-基]-1-(0-己酷基目亏）等。前述的0-酷基目亏化合物可单独一种 或混合多种使用。
[0124] 该S嗦化合物可包含但不限于2,4-双氯甲基）-6-(对-甲氧基）苯己締 基-S- S 嗦[2, 4-Bis(trichloromethyl)-6-(p-methoxy)styryl-s-triazine]、2,4-双 (S氯甲基对-二甲基氨基苯基-1，3- 了二締基）-s- S嗦巧，4-Bis(trichlo romethyl)-6-(l-p-dimethylaminophenyl-l, 3-butadienyl)-s-triazine]或 2- S 氯甲 基-4-氨基-6-对-甲氧基苯己締基-s-;嗦[2-trichloromethyl-4-amin0-6-(p-metho xy)styiTl-s-t;riazine]等。前述的S嗦化合物可单独一种或混合多种使用。
[01巧]该苯己烧酬化合物可包含但不限于对二甲胺苯己烧酬、a，a '-二甲氧基氧化偶 氮苯己烧酬、2, 2'-二甲基-2-苯基苯己烧酬、对-甲氧基苯己烧酬、2-甲基-1-(4-甲基硫 代苯基）-2-吗咐-1-丙酬或2-苄基-2-N，N-二甲胺-1-(4-吗咐苯基）-1- 了酬等。前述 的苯己烧酬化合物可单独一种或混合多种使用。
[0126] 该二咪挫化合物可包含但不限于2,2' -双（邻-氯苯基）-4,4'，5,5' -四苯 基二咪挫、2, 2' -双（邻-氣苯基）-4,4'，5, 5' -四苯基二咪挫、2, 2' -双（邻-甲基苯 基）-4,4'，5,5' -四苯基二咪挫、2,2' -双（邻-甲氧基苯基）-4,4'，5,5' -四苯基二 咪挫、2, 2' -双（邻-己基苯基）-4,4'，5, 5' -四苯基二咪挫、2, 2' -双（对-甲氧基苯 基）-4,4'，5, 5' -四苯基二咪挫、2, 2' -双（2, 2'，4, 4' -四甲氧基苯基）-4,4'，5, 5' -四 苯基二咪挫、2, 2' -双（2-氯苯基）-4, 4'，5, 5' -四苯基二咪挫或2, 2' -双化4-二氯苯 基）-4, 4'，5, 5' -四苯基二咪挫等。前述的二咪挫化合物可单独一种或混合多种使用。
[0127] 该二苯甲酬化合物可包含但不限于唾吨酬、2, 4-二己基唾吨酬、唾吨酬-4-讽、二 苯甲酬、4, 4' -双（二甲胺）二苯甲酬或4, 4' -双（二己胺）二苯甲酬等。前述的二苯甲 酬化合物可单独一种或混合多种使用。
[0128]该光起始剂值）较佳可为1- [4-(苯基硫代）苯基]-辛烧-1，2-二酬-2- (0-苯酷 基月亏）、1-巧-己基-6-(2-甲基苯酷基）-9H-巧挫-3-基]-己烧酬-1-(0-己酷基朽）、己 烧酬-1-[9-己基-6-(2-甲基-4-四氨快喃基甲氧基苯酷基）-9H-巧挫-3-基]-1-(0-己 酷基朽）、己烧酬-1-[9-己基-6-{2-甲基-4-(2, 2-二甲基-1，3-二氧杂戊环基）甲氧基 苯酷基} -9H-巧挫-3-基]-1- (0-己酷基朽）、2, 4-双（S氯甲基）-6-(对-甲氧基）苯 己締基-S-二嗦、2-苄基-2-N, N-二甲胺-1-(4-吗咐苯基）-1- 了酬、2, 2'-双化4-二氯 苯基）-4, 4', 5, 5'-四苯基二咪挫[2, 2' -bis 化 4-dichloro地en}d) -4, 4', 5, 5' -tetraph en^-l, 2' -biimidazole]、4, 4' -双（二己胺）二苯甲酬或上述材料的任意组合。
[0129] 在不影响感光性树脂组合物的物性下，本发明的感光性树脂组合物可进一步添加 该光起始剂值）W外的起始剂。该起始剂的具体例，如；a -二酬（a -d化etone)化合物、酬 醇（acyloin)化合物、酬醇離（acyloin ether)化合物、酷麟氧化物（acyl地osphineoxide) 化合物、酿（quinone)化合物、具有面素的化合物或过氧化物等。
[0130] 该a -二酬化合物可包含但不限于苯偶酷化enzil)或己酷基（acetyl)是化合物 等。前述的a-二酬化合物可单独一种或混合多种使用。
[0131] 该酬醇化合物可包含但不限于二苯己醇酬化enzoin)等。前述的酬醇化合物可单 独一种或混合多种使用。
[0132] 该酬醇離化合物可包含但不限于二苯己醇酬甲離化enzoin methylether)、二苯 己醇酬己離化enzoin eth}dethe;r)或二苯己醇酬异丙離化enzoin isoprop}^ ether)等。 前述的酬醇離化合物可单独一种或混合多种使用。
[0133] 该酷麟氧化物化合物可包含但不限于2, 4,6-S甲基苯酷二苯基麟氧化 物（2, 4, 6-trimeth5d-benz〇5d diphenylphosphineoxide)或双- (2, 6-二甲氧基苯 酷）-2, 4, 4- S甲基苯基麟氧化物比is-(2, 6-dimethoxy-benz〇}d)-2, 4, 4-trimethy化enz yl phosphineoxide]等。前述的酷麟氧化物化合物可单独一种或混合多种使用。
[0134] 该酿类化合物可包含但不限于慈酿（anthraquinone)、1, 4-蒙酿 (1,4-naphthoquinone)等。前述的酿类化合物可单独一种或混合多种使用。
[01巧]该具有面素的化合物可包含但不限于苯酷甲基氯（phenacyl chloride)、S漠甲 基苯讽（tribromomethyl phenylsulfone)或S ( S氯甲基）-s-;嗦[tris (trichlorome thyl)-s-triazine]等。前述具有面素的化合物可单独一种或混合多种使用。
[0136] 该过氧化物可包含但不限于二-叔了基过氧化物（di-tedbutylperoxide)等。前 述的过氧化物可单独一种或混合多种使用。
[0137] 基于前述碱可溶性树脂炬）的总使用量为100重量份，该光起始剂值）的使用量 为10重量份至100重量份，较佳为15重量份至90重量份，更佳为20重量份至80重量份。
[0138] 有机溶剂巧）
[0139] 本发明的有机溶剂巧）可包含但不限于己二醇甲離、己二醇己離、二甘醇甲離、二 甘醇己離、二甘醇正丙離、二甘醇正了離、S甘醇甲離、S甘醇己離、丙二醇甲離、丙二醇己 離、一缩二丙二醇甲離、一缩二丙二醇己離、一缩二丙二醇正丙離、一缩二丙二醇正了離、二 缩=丙二醇甲離或二缩=丙二醇己離等的（聚）亚烷基二醇单烧離类溶剂；己二醇甲離醋 酸醋、己二醇己離醋酸醋、丙二醇甲離醋酸醋（propylene glycol meth}d ether acetate; PGMEA)或丙二醇己離醋酸醋等的（聚）亚烷基二醇单烧離醋酸醋类溶剂；二甘醇二甲離、 二甘醇甲己離、二甘醇二