衬底自动挟式石英舟的制作方法

文档序号:14590652发布日期:2018-06-02 06:40阅读:来源:国知局
衬底自动挟式石英舟的制作方法

技术特征:

1.一种衬底自动挟式石英舟,包括石英舟本体(1),其特征是:在所述石英舟本体(1)的两侧转动设置压紧摆臂(2),压紧摆臂(2)的上端设置压紧部(5),压紧部(5)位于石英舟本体(1)的上部,压紧摆臂(2)的下端延伸至石英舟本体(1)的下部。

2.如权利要求1所述的衬底自动挟式石英舟,其特征是:所述压紧摆臂(2)转动安装在石英舟本体(1)下侧部的安装座(4)上。

3.如权利要求1所述的衬底自动挟式石英舟,其特征是:所述压紧部(5)的表面呈圆弧形。

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