衬底自动挟式石英舟的制作方法

技术总结
本发明涉及一种衬底自动挟式石英舟，包括石英舟本体，其特征是：在所述石英舟本体的两侧转动设置压紧摆臂，压紧摆臂的上端设置压紧部，压紧部位于石英舟本体的上部，压紧摆臂的下端延伸至石英舟本体的下部。本发明能够防止石英舟在运动过程中受到振动或者是气流吹动的影响导致衬底倾斜或者掉落的情况，保证沉积工艺的稳定及可靠。

技术研发人员：谢鹏飞;蒋健伟;孙正乾
受保护的技术使用者：无锡盈芯半导体科技有限公司
技术研发日：2018.01.25
技术公布日：2018.06.01