一种碳化硅溶液法中实时监测并调整固液界面高度的装置的制作方法

文档序号:12183637阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种碳化硅溶液法中实时监测并调整固液界面高度的装置,其特征在于:采用一种高精密度电流计并与晶体生长系统形成电流回路的感应装置,然后再通过PID反馈回路,自动调节固液界面的高度实现;

该感应装置结构如下:

包括生长装置(2),坩埚轴(7)及高精密度电流计(8),所述的生长装置(2)包括用于容纳熔融液(6)的石墨坩埚(5)和可伸入石墨坩埚(5)内部的籽晶轴(1);所述的籽晶轴(1)的下端为SiC籽晶基板(3);所述的石墨坩埚(5)的外侧包裹有绝热材料(4);所述的石墨坩埚(5)底部设置有用于支撑其的坩埚轴(7);所述的坩埚轴(7)与生长装置(2)之间通过高精密度电流计(8)电连接,其中导线正极连接籽晶轴(1),导线负极连接坩埚轴(7)。

2.根据权利要求1所述的碳化硅溶液法中实时监测并调整固液界面高度的装置,其特征在于:所述的籽晶轴(1)为石墨材料。

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