技术总结
本实用新型公开了一种磷化铟多晶水平合成装置，所述磷化铟多晶水平合成装置包括：合成炉，所述合成炉内部设置合成炉加热体，所述合成炉加热体由多段加热区构成的；石英管，位于合成炉加热体内部，其特征在于：所述磷化铟多晶水平合成装置还包括充放气控制系统，用于控制合成炉体内压力，以及温度控制系统，用于控制合成炉炉体内温度。本实用新型磷化铟多晶水平合成装置通过控制温度进而控制石英管内部压力，通过充放气控制系统控制石英管外部压力，有效的控制反应过程中石英管内外的压力平衡，避免合成过程中出现的由于石英管内外压力不平衡“炸管”产生，提高磷化铟多晶合成的效率和成品率。
技术研发人员：赵有文;段满龙
受保护的技术使用者：珠海鼎泰芯源晶体有限公司
文档号码：201621447365
技术研发日：2016.12.27
技术公布日：2018.01.23