纳米氮化硅粉的制备方法与流程

技术特征：

技术总结
本发明提供一种纳米氮化硅的制备方法，包括：将重量比例为100：1‑100的硅粉与氮化硅粉的混合体及氮化硅球置于管式旋转加热炉里，在1100‑1600℃氮气氛围里氮化反应1‑20h，冷却后得到纳米氮化硅粉体。本发明纳米Si3N4粉体的制备方法的工艺简单、Si3N4粉体颗粒均匀纯度高。

技术研发人员：杨文伍;黄国文;陈祯祯;徐严;杨仁发;张昊阳
受保护的技术使用者：深圳市东川技术研究有限公司
技术研发日：2017.07.12
技术公布日：2017.10.24