隔绝层4达到一预定厚度(在本实施例中，在坩祸2内壁面上堆栈形成10至14层的隔绝层4即可达到上述预定厚度)；或者，对另一坩祸(图略)实施上述喷涂步骤(S102~S106)。
[0038]反之，当实际差值未落入预设差值范围时，即表示隔绝层4的厚度值与均匀度产生问题的机率颇高，故处理单元11将传输一调整信号至喷涂单元13，以变更预设喷涂手段(如:单位时间的浆料喷涂量、浆料喷涂压力、及浆料喷涂距离)，以实时反馈修正喷涂单元13。举例来说，确认预设喷涂手段的单位时间的浆料喷涂量、浆料喷涂压力、及浆料喷涂距离是否超出原设定范围，若确认是超出原设定范围，则将单位时间的浆料喷涂量、浆料喷涂压力、及浆料喷涂距离调整回原设定值。或者是说，当实际差值低于预设差值范围时，表示浆料附着于坩祸2内壁面21的量可能过少，因而通过调整信号提高喷枪132的单位时间的浆料喷涂量；当实际差值高于预设差值范围时，表示浆料附着于坩祸2内壁面21的量可能过多，因而通过调整信号降低喷枪132的单位时间的浆料喷涂量。
[0039]步骤S107:当多个坩祸2成形其隔绝层4之后，以处理单元11将落入预设差值范围内的所述实际差值计算出一标准差，并判断所述标准差是否超出一预设标准差。须说明的是，当喷涂装置I运作一段时间后，除步骤S106的实时回馈修正外，也须定时监控喷涂装置I是否产生异常。
[0040]具体而言，纵使在多个坩祸2成形隔绝层4时，各个实际差值皆落入预设差值范围，但由于预设差值范围是属于一种区间范围，所以上述各个实际差值也可能会产生波动。再者，经由反复的实际测试，得知通过所述实际差值所计算出的标准差大于2°C时，所述成形有隔绝层4的坩祸2应用于生产硅晶锭所产生崩裂的机率，其相较于标准差小于或等于2°C的情形高出54%。因此，先在计算机111中设定预设标准差为2°C，当所述标准差大于预设标准差时，则代表喷涂装置I可能处于一异常状态，需要进行检测；当标准差小于或等于预设标准差时，则代表喷涂装置I处于一正常状态，可继续执行喷涂作业。
[0041]综上所述，本发明实施例所提供的坩祸隔绝层的制造方法及其所应用的喷涂装置，通过侦测坩祸喷涂前后的温度所计算而得的实际差值，并判断实际差值是否落入预设差值范围，而能实时得知喷涂作业是否产生问题，以经由变更预设喷涂手段，来达到回馈修正的效果。
[0042]再者，当本发明实施例所提供的喷涂装置运作一段时间后，通过将落入预设差值范围内的所述实际差值计算出标准差，并判断所述标准差是否超出预设标准差，以达到定时监控喷涂装置是否产生异常的效果。
[0043]以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种坩祸隔绝层的制造方法，其特征在于，包括如下步骤:一准备步骤:提供一喷涂装置，以供喷涂步骤使用；其中，所述喷涂装置包含一处理单元、一电连接于所述处理单元的测温单元、及一电连接于所述处理单元的喷涂单元；以及多个喷涂步骤，所述喷涂步骤包括:A)将一坩祸设置在一预设位置上；B)加热所述坩祸，并采用所述测温单元测量所述坩祸内壁面的温度，以得到一喷涂前温度；C)采用所述喷涂单元依照一预设喷涂手段将一浆料朝向所述坩祸内壁面进行喷涂，以成形一隔绝层；D)采用所述测温单元测量所述坩祸内壁面上的所述隔绝层，以得到一喷涂后温度；及E)采用所述处理单元计算所述喷涂前温度以及所述喷涂后温度，以取得所述坩祸在喷涂前后温度的一实际差值，并判断所述实际差值是否落入一预设差值范围；其中，所述预设差值范围为6°C至12°C，当所述实际差值未落入所述预设差值范围，则所述处理单元传输一调整信号至所述喷涂单元，以变更所述预设喷涂手段；当所述实际差值落入所述预设差值范围，则对所述坩祸重复上述喷涂步骤C) ~E)，直到所述坩祸内壁面上堆栈形成的所述隔绝层达到一预定厚度。2.如权利要求1所述的坩祸隔绝层的制造方法，其特征在于，所述坩祸内壁面包含有一环侧面与一相连于所述环侧面一端的底面，所述环侧面另一端定义有一开口，所述环侧面定义有至少一测温位置，以供所述测温单元对应于所述测温位置而能测得所述喷涂前温度与所述喷涂后温度。3.如权利要求2所述的坩祸隔绝层的制造方法，其特征在于，所述坩祸的测温位置位于所述坩祸用以容纳一硅熔汤的最高液面所对应的所述环侧面位置。4.如权利要求2所述的坩祸隔绝层的制造方法，其特征在于，所述坩祸的测温位置离所述底面的距离大于所述环侧面另一端离所述底面的距离的80%。5.如权利要求1所述的坩祸隔绝层的制造方法，其特征在于，所述预设喷涂手段包含有多个可调整的参数，所述参数包含一单位时间的浆料喷涂量、一浆料喷涂压力、及一浆料喷涂距离。6.如权利要求5所述的坩祸隔绝层的制造方法，其特征在于，所述喷涂后温度低于所述喷涂前温度；并且当所述实际差值低于所述预设差值范围时，提高所述单位时间的浆料喷涂量；当所述实际差值高于所述预设差值范围时，降低所述单位时间的浆料喷涂量。7.如权利要求5所述的坩祸隔绝层的制造方法，其特征在于，所述单位时间的浆料喷涂量为25至60毫升/秒、所述浆料喷涂压力为50至90镑/英寸2、所述浆料喷涂距离为15至45厘米。8.如权利要求1至7任一项所述的坩祸隔绝层的制造方法，其特征在于，当多个坩祸形成隔绝层之后，采用所述处理单元根据落入所述预设差值范围内的所述实际差值计算出一标准差，并判断所述标准差是否超出一预设标准差；当所述标准差大于所述预设标准差时，则代表所述喷涂装置处于一异常状态；当所述标准差小于或等于所述预设标准差时，则代表所述喷涂装置处于一正常状态。9.如权利要求8所述的坩祸隔绝层的制造方法，其特征在于，所述预设标准差为2°C。10.一种应用于如权利要求2所述的坩祸隔绝层的制造方法的喷涂装置，其特征在于，包括:所述处理单元，包含一计算机，用以对所述坩祸的内壁面设定所述测温位置以及设定所述喷涂单元所需依照的所述预设喷涂手段；所述测温单元，具有一第一机械手臂及安装于所述第一机械手臂的一温度传感器，所述第一机械手臂与所述温度传感器皆电连接于所述计算机，以接收所述计算机传来的信号而能受所述计算机驱动；其中，所述第一机械手臂能被所述计算机驱动以使所述温度传感器被移动至对应所述坩祸的测温位置，而所述温度传感器能用以侦测所述坩祸的温度并回传其所测得的温度至所述计算机；以及所述喷涂单元，具有一第二机械手臂及安装于所述第二机械手臂的一喷枪，所述第二机械手臂与所述喷枪皆电连接于所述计算机，以接收所述计算机传来的信号而能受所述计算机驱动；其中，所述第二机械手臂能被所述计算机驱动以使所述喷枪依照所述预设喷涂手段移动，并且所述喷枪能用以依照所述预设喷涂手段将所述浆料喷涂在所述坩祸内壁面。
【专利摘要】本发明提供一种坩埚隔绝层的制造方法及其所应用的喷涂装置，所述方法包括如下步骤：提供喷涂装置，以供下述喷涂步骤使用；加热坩埚并测量其温度，以得到喷涂前温度；采用喷涂单元依照预设喷涂手段将浆料喷涂在坩埚内壁面，以在坩埚内壁面成形隔绝层；测量隔绝层以得到喷涂后温度；取得坩埚在喷涂前后温度的实际差值，并判断实际差值是否落入预设差值范围，其中，预设差值范围为6℃至12℃，当实际差值未落入预设差值范围，则变更预设喷涂手段；当实际差值落入预设差值范围，则对该坩埚重复上述的喷涂步骤。
【IPC分类】C04B41/50
【公开号】CN104909824
【申请号】CN201510103363
【发明人】周鸿升, 李立伟, 余文怀, 许松林, 范俊一, 徐文庆
【申请人】昆山中辰矽晶有限公司
【公开日】2015年9月16日
【申请日】2015年3月10日
【公告号】US20150259820