用于底层的芳香族树脂的制作方法

技术总结
芳香族树脂聚合物和含有其的组合物在半导体制造方法中适用作底层。

技术研发人员：S·山田;L·崔;C·吉尔摩;J·A·凯茨;S·刘;J·F·卡梅伦;S·M·科莱
受保护的技术使用者：罗门哈斯电子材料有限责任公司
技术研发日：2017.11.21
技术公布日：2018.06.12