三维电极材料及其制备方法、固体超级电容器与流程

文档序号:11099607阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种三维电极材料,其特征在于,包括:在铝箔上形成的Al纳米钉阵列;在所述Al纳米钉阵列上形成的镍层;在所述镍层上形成的MnOx纳米钉阵列。其制备方法包括:S101、采用阳极氧化工艺和刻蚀工艺在铝箔上生长Al纳米钉阵列;S102、采用磁控溅射工艺在所述Al纳米钉阵列生长一镍层;S103、采用三电极电沉积工艺在所述镍层上生长MnOx纳米钉阵列,获得三维电极材料。本发明还公开了一种固体超级电容器,其包括如上所述三维电极材料制备形成的电极。该电极材料应用于固体超级电容器中,提高了电容器的面积比电容,也提高了电容器的倍率特性和循环性能。

技术研发人员:张跃钢;侯远;丘勇才;李桂珠;杨洁;刘美男;周莉莎;李宛飞
受保护的技术使用者:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
文档号码:201510408772
技术研发日:2015.07.13
技术公布日:2017.05.10

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