技术总结
用于使非晶硅(a‑Si)膜结晶的本发明系统配置有准连续波光纤激光源，该准连续波光纤激光源操作为发射膜照射脉冲光束。光纤激光源操作为发射入射在a‑Si上的多个非重复脉冲。具体地，光纤激光器操作为以突发重复率(BRR)发射膜照射光的多个分立分组，并且以高于BRR的脉冲重复率(PRR)在每个分组内发射多个脉冲。每个脉冲的脉冲能量、脉冲持续时间以及PRR被控制为使得每个分组具有期望的分组时间功率分布(W/cm2)和足以在膜的暴露于至少一个分组的每个位置处提供a‑Si到多晶硅(p‑Si)的转变的分组能量。
技术研发人员：尤里·叶罗欣;伊格尔·山马尔特瑟夫
受保护的技术使用者：IPG光子公司
文档号码：201580036440
技术研发日：2015.07.01
技术公布日：2017.05.10