半导体基板及半导体板制作方法与流程

文档序号:13032823阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及提供一种半导体基板及芯片制作方法,其中半导体基板包括:用于制作电路的半导体层、隔离层、和预留被消减厚度的辅助层;半导体层、隔离层、辅助层依次层叠设置,辅助层的厚度大于半导体层的厚度。采用所述的半导体基板的芯片制作方法,包括:电路制作过程,在所述半导体基板的半导体层上制作电路;降低厚度过程,对辅助层进行磨削或者蚀刻,消减辅助层的厚度,使半导体基板整体的厚度减小而获得电路基板;封装过程,电路基板进行封装获得芯片。在半导体层上制作电路时,辅助层为半导体层提供辅助支撑,半导体层不易变形,可以保证半导体电路的性能;不再需要辅助层做辅助支撑时,消减辅助层的厚度,使电路基板的厚度大幅下降。

技术研发人员:胡川
受保护的技术使用者:胡川
技术研发日:2016.05.19
技术公布日:2017.11.28
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