一种硅片制绒的传动装置的制作方法

文档序号:11921783阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅片制绒的传动装置,其特征在于,包括在制绒机的硅片承载面的上方设置的可旋转的传送带,所述传送带的表面设置有叶片,所述叶片在所述传送带的旋转带动下移至所述硅片承载面上方时,所述叶片底端所在的高度低于放置于所述硅片承载面上的硅片的上表面的高度。

2.根据权利要求1所述的硅片制绒的传动装置,其特征在于,所述叶片与所述传送带插接或卡接。

3.根据权利要求2所述的硅片制绒的传动装置,其特征在于,所述传送带上设置有多个所述叶片,且相邻的所述叶片的间距不小于待处理硅片的边长或直径。

4.根据权利要求3所述的硅片制绒的传动装置,其特征在于,所述叶片为聚四氟乙烯叶片或者聚乙烯叶片。

5.根据权利要求1-4任一项所述的硅片制绒的传动装置,其特征在于,所述叶片垂直于所述传送带的表面。

6.根据权利要求5所述的硅片制绒的传动装置,其特征在于,所述叶片的形状为M型。

7.根据权利要求5所述的硅片制绒的传动装置,其特征在于,所述叶片具有镂空部。

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