一种硅片表面自动清洗装置的制作方法

文档序号:11707503阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅片表面自动清洗装置,包括:清洗槽和升降装置,所述升降装置设置在清洗槽内部,其特征在于,所述清洗槽中间设置有隔板,将清洗槽分隔成上层和下层,所述升降装置包括升降机、限位开关和密封箱体,所述升降机底端连接在下层底部,上端穿过隔板延伸到上层顶部,所述限位开关设置在下层侧壁上,所述密封箱体设置在升降机顶部,所述密封箱体内设置有振打装置,顶部设置有硅片存储机构,所述硅片存储机构通过螺栓与密封箱体相连接。

2.根据权利要求1所述的硅片表面自动清洗装置,其特征在于,所述隔板为带有中空结构的双层耐腐蚀钢板。

3.根据权利要求1所述的硅片表面自动清洗装置,其特征在于,所述硅片存储机构包括底部框架,所述底部框架两侧内壁设置有向下延伸的导向槽,所述导向槽底部设置有位于底部框架内的固定板。

4.根据权利要求3所述的硅片表面自动清洗装置,其特征在于,所述固定板上表面设置有与导向槽宽度相同的固定槽。

5.根据权利要求1所述的硅片表面自动清洗装置,其特征在于,所述振打装置包括驱动电机和连接在驱动电机上的凸轮。

6.根据权利要求1所述的硅片表面自动清洗装置,其特征在于,所述密封箱体内壁四周设置有与凸轮相对应振打锤。

7.根据权利要求6所述的硅片表面自动清洗装置,其特征在于,所述振打锤通过橡胶棒与密封箱体连接。

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