一种集成电流传感器的SiC晶体管器件的制作方法

本实用新型属于半导体领域，具体涉及一种集成电流传感器的SiC晶体管器件。

背景技术：

SiC MOSFET、JFET、BJT、IGBT等晶体管器件经过多年的研究，已经有一些厂商率先推出了商业化产品，并且已经在工业上进行了广泛的应用。

在很多的应用情况，为了更好的保护系统甚至保护器件，以及使器件在系统中更加可靠地工作，往往需要实时监控芯片的结温和电流。在通常的情况下，系统中监控器件的电流往往通过霍尔传感器的方法，通过感应电流或磁场来判断电流的大小。这种方法需要增加额外的系统。一种更好的方法是直接在芯片上引出传感电流，通过监控外部串联电阻的电压得到传感电流，并根据传感电流与芯片电流之间比较稳定的比例得到芯片电流大小。这种监控芯片电流的方法可以得到实时的、非常准确的数据。以利于系统进行及时的控制保护。

一般地，在SiC芯片上集成电流传感器的方法是在器件的靠近边缘部分，如图1a和1b所示。选取一些原胞组成的区域作为传感器，根据这个区域的面积与整个有源区其他区域的面积比或者内部原胞数量与所有其他原胞数量的比估算得到传感电流与芯片电流的比例，再通过测试校准。这种方法虽能实时地监控芯片的电流，但是传感器的原胞集中在芯片的边缘，并不能很好的反应整个芯片。特别在芯片工作状态下，芯片内部结温升高，整个芯片的结温在瞬间并不一致，边缘的原胞电流与芯片电流的比例并不能很好的保持一致。另外，整个晶圆的掺杂浓度、厚度的不均匀会导致不同晶圆区域的芯片的传感电流比例不一致，传感电流比例不均匀，从而影响器件的使用。

技术实现要素：

针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种集成电流传感器的SiC晶体管器件，其有效解决了现有技术中存在的问题。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种集成电流传感器的SiC晶体管器件，所述SiC晶体管器件的源极一侧、有源区内按设定比例均匀选取若干个原胞作为源传感器，其他的原胞作为器件源极的原胞，即主原胞；同时采用源极的多层布线方式使源极压块金属与所述源传感器的压块金属处于一个平面上；所述源传感器的栅极与SiC晶体管器件的栅极都是相连的，共用栅极压块金属，并且共用漏极。

进一步，所述源传感器独立的引出源电极，源传感器电极与SiC晶体管器件的源极之间由介质进行隔离。

进一步，每个源传感器原胞均被多个所述主原胞所包围。

一种制备集成电流传感器的SiC晶体管器件的方法，所述方法包括如下步骤：

1)在SiC晶体管器件的有源区内每个原胞的源欧姆接触、栅极欧姆接触或栅多晶硅或栅金属，以及栅极和源极隔离介质都完成后，做上第一互连金属层；通过所述第一互连金属层实现各主原胞源极间的互连，其中在栅压块金属与源压块金属隔离区和比源传感器源极区大的区域没有金属，即保持栅与源的隔离和芯片源极与传感器源极的隔离；同时把各原胞的栅极与栅极压块区域实现互连；

2)淀积第一层间介质，并在所述第一层间介质上选择性的刻孔，刻孔的位置是源传感器原胞的位置，大小与源传感器原胞的源栅隔离介质间的欧姆区域相等或小；

3)做上第二互连金属层，所述第二互连金属层把所有传感器原胞的源极互连在一起，实现电连通；并且在比栅极压块区域和各主原胞源极区域稍大的区域无金属分布，形成传感器原胞的源极与芯片源极和栅极的隔离；

4)淀积第二层间介质层，并在所述第二层间介质层上选择性的刻孔；刻孔区域包括三部分，一部分是所有主原胞的源极区，通孔穿过第二、第一层间介质，到达各主原胞的第一互连金属层；另一部分是源传感器的金属压块区，通孔穿过第二层间介质，达到第二互连金属层；第三部分是栅极金属压块区，通孔穿过第二层间介质和第一层间介质，达到第一互连金属层；

5)淀积压块金属，压块金属包括芯片的源极和电流传感器的源极的压块金属和栅极的压块金属，且三个区域互相隔离；

6)淀积钝化层，同时在器件源极、传感器源极和共用的栅极压块金属上分别开窗口。

进一步，所述第一互连金属层为Ti/Al、Ti/AlCu、Ti/AlSi、Ti/Cu或TiW/AlSiCu。

进一步，所述第一层间介质的厚度大于0.5μm，第一层间介质为SiO₂层、Si₃N₄层、SiON层，或两层、多层的混合层。

进一步，所述第二互连金属层为Ti/Al、Ti/AlCu、Ti/AlSi、Ti/Cu或TiW/AlSiCu；第二互连金属层的厚度大于0.5μm。

进一步，所述第二层间介质层的厚度大于0.5μm；第二层间介质层为SiO₂层、Si₃N₄层、SiON层，或两层、多层的混合层。

进一步，所述压块金属为Ti/Al、Ti/AlCu、Ti/AlSi、Ti/Cu或TiW/AlSiCu。

本实用新型具有以下有益技术效果：

本申请不仅可以实时地监控芯片的电流，而且能够全面地反应整个芯片内的电流状况；可以得到实时的、非常准确的数据；以利于系统进行及时的控制保护。

附图说明

图1a为现有技术中SiC晶体管器件上集成电流传感器的结构的平面俯视图(浅虚线表示是电极下面的原胞结构，粗虚线部分表示是传感器原胞的源极部分)；

图1b为现有技术中SiC晶体管器件上集成电流传感器的截面结构示意图(以MOSFET为例)；

图2为本实用新型的SiC晶体管器件上集成电流传感器的截面结构示意图(以MOSFET为例)；

图3为本实用新型实施例的集成电流传感器的SiC晶体管器件的平面视图(虚线表示是电极下面的原胞结构，其中粗黑线部分表示是传感器原胞的源极部分)；

图4为本实用新型实施例的集成电流传感器的SiC晶体管器件制备过程中做上第一互连金属层后的平面视图(虚线表示内部无金属)；

图5为本实用新型实施例的集成电流传感器的SiC晶体管器件制备过程中第一层间介质刻孔后的平面视图(虚线表示内部是孔)；

图6为本实用新型实施例的集成电流传感器的SiC晶体管器件制备过程中做上第二互连金属层后的平面视图(虚线表示内部无金属)；

图7为本实用新型实施例的集成电流传感器的SiC晶体管器件制备过程中第二层间介质刻孔后的平面视图(虚线表示内部是孔)；

图8为本实用新型实施例的集成电流传感器的SiC晶体管器件制备过程中淀积公共栅、源电极、传感器源电极压块金属后的平面视图。

具体实施方式

下面，参考附图，对本实用新型进行更全面的说明，附图中示出了本实用新型的示例性实施例。然而，本实用新型可以体现为多种不同形式，并不应理解为局限于这里叙述的示例性实施例。而是，提供这些实施例，从而使本实用新型全面和完整，并将本实用新型的范围完全地传达给本领域的普通技术人员。

如图2-3所示，本实用新型了提供了一种集成电流传感器的SiC晶体管器件，该SiC晶体管器件的源极(或发射极)一侧、有源区内按设定比例均匀选取若干个原胞作为源传感器，使传感器电流与源极电流形成比较均匀和稳定的比例，其他的原胞作为器件源极的原胞，即主原胞；同时采用源极的多层布线方式使源极压块金属与所述源传感器的压块金属处于一个平面上；所述源传感器的栅极与SiC晶体管器件的栅极都是相连的，共用栅极压块金属，并且共用漏极(或集电极)。

源传感器独立的引出源电极，源传感器电极与SiC晶体管器件的源极之间由介质进行隔离。

源传感器原胞选择的方法是，根据传感电流与源极电流的比例，在整个芯片中均匀、有序的选择一些数量的原胞作为源传感器原胞，每个源传感器原胞均匀的被多个主原胞所包围。

本实用新型在在SiC晶体管芯片上集成电流传感器的结构和方法，可以用到SiC的多种晶体管，如MOSFET、JFET、BJT、IGBT等。同时本实用新型的方法也不仅仅能应用于SiC晶体管，同时也可以用于其他材料的晶体管器件，如GaN、Ga₂O₃、GaAs、Si等各种半导体材料器件。

本实用新型还提供了一种制备集成电流传感器的SiC晶体管器件的方法，下面结合附图对该方法进行详细说明：

如图4所示，在每个原胞的源欧姆接触，栅极欧姆接触(如JFET、BJT)或栅多晶硅或栅金属(如MOSFET、IGBT等)，栅极和源极隔离介质都完成后，做上第一互连金属层。第一互连金属实现各主原胞源极间的互连，其中在栅压块金属与源压块金属隔离区和比源传感器源极区稍大的区域没有金属(保持栅与源的隔离和芯片源极与传感器源极的隔离)。同时把各原胞的栅极与栅极压块区域实现互连。第一互连金属层可以是Ti/Al,Ti/AlCu，Ti/AlSi,Ti/Cu,TiW/AlSiCu等，即第一层金属相对较薄，作为互连和阻挡层的作用。

如图5所示，淀积第一层间介质，厚度大于0.5μm，并在第一层间介质上选择性的刻孔，刻孔的位置是源传感器原胞的位置，大小比源传感器原胞的源栅隔离介质间的欧姆区域相等或稍小。第一层间介质可以是SiO₂、Si₃N₄、SiON，或两层或多层混合等。

如图6所示，做上第二互连金属层，第二互连金属层可以是Ti/Al,Ti/AlCu，Ti/AlSi,Ti/Cu,TiW/AlSiCu等，第一层金属相对较薄，作为互连和阻挡层的作用，第二层金属相对较厚，一般大于0.5μm，起导电作用。第二互连金属层把所有传感器原胞的源极互连在一起，实现电连通。分别在比栅极压块区域和各主原胞源极区域稍大的区域无金属分布，形成与芯片源极和栅极隔离。

如图7所示，淀积第二层间介质层，厚度大于0.5μm，并在第二层间介质上选择性的刻孔。第二层间介质可以是SiO₂、Si₃N₄、SiON，或两层或多层混合等。开孔区域包括三部分，一部分是所有主原胞的源极区，通孔穿过第二、第一层间介质，到达各主原胞的第一互连金属层；另一部分是源传感器的金属压块区，通孔穿过第二层间介质，达到第二互连金属层；第三部分是栅极金属压块区，通孔穿过第二层间介质和第一层间介质，达到第一互连金属层。

如图8所示，淀积压块金属，压块金属包括芯片的源极和电流传感器的源极的压块金属和栅极的压块金属，三个区域互相隔离。压块金属层可以是Ti/Al,Ti/AlCu，Ti/AlSi,Ti/Cu,TiW/AlSiCu等，即第一层金属相对较薄，作为互连和阻挡层的作用，可以是Ti，TiW等，第二层金属相对较厚，可以是Al，AlCu，AlSi,Cu,AlSiCu，Ag，Au等低电阻率金属，厚度一般大于2μm，起导电和焊接作用。

传感器源极压块金属与共同栅压块金属在器件平面俯视图上的布局可以在器件设计时根据利于芯片封装的原则进行。

最后是最终的钝化层，同时在器件源极、传感器源极和共用的栅极压块金属上分别开窗口。

上面所述只是为了说明本实用新型，应该理解为本实用新型并不局限于以上实施例，符合本实用新型思想的各种变通形式均在本实用新型的保护范围之内。