专利名称：感光性树脂组合物的制作方法
技术领域：
本发明涉及感光性树脂组合物，更详细地说，本发明涉及下述的感光性树脂组合物，该感光性树脂组合物的灵敏度、绝缘性等各种性能优异，特别是具有优异的耐热性，因而可以增加后工序中的可靠性和寿命；此外，可以利用本发明所涉及的一种感光性树脂组合物同时形成绝缘体(insulator)和隔离体(separator)这2种方式的图案，可以缩短工序时间，同时还显著地提高面板(panel)上的开口率，使其适用于PM-OLED、AM-OLED、AM-LCD、PDP基板的制造工序。
背景技术：
最近，PM-OLED制造工序中，为了扩大面板尺寸(panel size)而要求较高的分辨率，因此需要更多的线电极(line electrode)数，但是随之的开口率的减少成为问题。因此，要求解决用于改善该问题的材料。
此外，在AM-OLED、AM-LCD、PDP基板等其它的显示器(display)制造工序中也一直要求能够缩短工序时间的用于得到优异的开口率的光致抗蚀剂(photoresist)和工序的开发。
以往的PM-OLED制造工序中所使用的绝缘体含有PAC、粘合剂、溶剂等成分，作为上述粘合剂主要使用丙烯酸类，此外作为隔离体，使用含有PAG、酚醛树脂(novolac resin)、交联剂、溶剂等成分的负性光致抗蚀剂(negative photoresist)。
但是，以往在形成绝缘体和隔离体时，由于2种物质具有相互不同的特性，因而必须以2阶段(2-step)来进行工序。因此，由此导致工序时间较长。此外，在绝缘体上进行隔离体排列(separator Align)时，为了确保排列宽度(Align Margin)，而有可能导致开口率减少的问题。
由此，最近正在进行可以同时形成绝缘体和隔离体并增大开口率的研究，虽然已开发出了使用酚醛树脂的光致抗蚀剂，但是此时存在耐热性降低的问题。如此，材料的耐热性降低时，难以适用于OLED制造工序中的高温工序，因此，在后工序中，有可能在确保可靠性和寿命方面出现问题。
因此，目前的实际情况是，为了能够缩短适用于PM-OLED制造工序的绝缘体和隔离体形成工序的工序时间、确保优异的开口率、确保后工序中的可靠性和寿命等，必须进行进一步的研究。
发明内容
本发明是为了解决上述现有技术的问题而提出的，其目的在于，提供一种感光性树脂组合物、含有该感光性树脂组合物的固化物的显示器、和利用了上述感光性树脂组合物的显示器的图案的形成方法；所述感光性树脂组合物由于灵敏度、绝缘性等各种性能优异，特别是具有优异的耐热性，因而可以增加后工序中的可靠性和寿命。
本发明的其它目的在于，提供一种感光性树脂组合物、含有该感光性树脂组合物的固化物的显示器、和利用了该感光性树脂组合物的显示器的图案的形成方法；对于所述感光性树脂组合物来说，可利用其中的一种感光性树脂组合物同时形成绝缘体和隔离体这2种方式的图案，可以缩短工序时间，而且同时还显著地提高面板上的开口率，使其适用于PM-OLED、AM-OLED、AM-LCD、PDP基板的制造工序。
为了达成上述目的，本发明提供一种感光性树脂组合物，该感光性树脂组合物的特征在于，其含有a)下述化学式1所示的多羟基苯乙烯类树脂、b)1，2-二叠氮醌化合物、c)光酸发生剂、d)下述化学式2所示的三聚氰胺交联剂、和e)溶剂， 上述化学式1中，a、b表示各单体间的摩尔比(mole ratio)，a为1～10，b为0～9，并且a+b＝10；[化学式2] 上述化学式2中，R1～R3各自独立地表示碳原子数为1～4的烷基，R4～R6各自独立地表示氢基或碳原子数为1～4的烷基。
优选本发明的感光性树脂组合物含有100重量份的a)上述化学式1所示的多羟基苯乙烯类树脂、5重量份～50重量份的b)1，2-二叠氮醌化合物、1重量份～20重量份的c)光酸发生剂、1重量份～30重量份的d)上述化学式2所示的三聚氰胺交联剂、和使感光性树脂组合物内的全部固体成分含量为10重量％～50重量％的e)溶剂。
此外，本发明提供一种显示器，该显示器的特征在于，其含有上述感光性树脂组合物的固化物。
此外，本发明提供一种显示器的图案形成方法，该方法利用了上述的感光性树脂组合物。
本发明的感光性树脂组合物的灵敏度、绝缘性等各种性能优异，特别是具有优异的耐热性，可以增加后工序中的可靠性和寿命。此外，可以利用本发明中的一种感光性树脂组合物同时形成绝缘体和隔离体这2种方式的图案，可以缩短工序时间，同时显著地提高面板上的开口率，使其可以适用于PM-OLED、AM-OLED、AM-LCD、PDP基板的制造工序。
图1简要说明了在本发明的实施例和比较例中采用1阶段工序形成绝缘体和隔离体时对正向灵敏度进行测定的方法。
图2简要说明了在本发明的实施例和比较例中采用1阶段工序形成绝缘体和隔离体时对负向灵敏度进行测定的方法。
图3简要说明了在本发明的实施例和比较例中采用1阶段工序形成绝缘体和隔离体时对整片曝光(flood exposure)的灵敏度进行测定的方法。
图4是在本发明的实施例和比较例中采用1阶段工序形成绝缘体和隔离体时的正型和负型的最终截面。
具体实施例方式
下文对本发明进行详细的说明。
本发明的感光性树脂组合物的特征在于，其含有a)上述化学式1所示的多羟基苯乙烯类树脂；b)1，2-二叠氮醌化合物；c)光酸发生剂；d)上述化学式2所示的三聚氰胺交联剂；和e)溶剂。
本发明中，所使用的上述a)上述化学式1所示的多羟基苯乙烯类树脂为负型(negative type)时，在交联结合体的存在下形成交联键合而对于碱性显影液是不溶性的，在交联键合之前对于碱性显影液是可溶性的，可以形成图案。此外，为正型(positive type)时，通过1，2-二叠氮醌化合物的存在，对于碱性显影液是不溶性的，在曝光后，对于碱性显影液是可溶性的，可以形成图案。
上述化学式1所示的多羟基苯乙烯类树脂优选以自由基聚合进行制造，此外也可以通过阴离子聚合等通常的方法进行共聚物的制造。
具体地说，通过自由基聚合方法制造上述化学式1所示的多羟基苯乙烯类树脂时，可以使乙酰氧基苯乙烯和苯乙烯在溶剂和聚合引发剂的存在下进行自由基聚合，并进行沉淀和过滤，通过真空干燥(vacuum drying)工序除去未反应单体后，溶解于甲醇中制成树脂溶液，在氨水和乙酸的存在下水解，再次进行沉淀和过滤，通过真空干燥工序制造最终的多羟基苯乙烯类树脂。
上述化学式1所示的多羟基苯乙烯类树脂优选聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)为3000～30000，进一步优选为5000～20000。上述多羟基苯乙烯类树脂的聚苯乙烯换算重均分子量小于3000时，对于正型，存在残膜率降低的问题，对于负型，存在感光速度(photospeed)降低的问题；超过30000时，对于正型，存在感光速度降低的问题；对于负型，存在可能产生膜渣(scum)的问题。
本发明中，所使用的上述b)1，2-二叠氮醌化合物在感光性树脂组合物内用作感光性化合物。
上述1，2-二叠氮醌化合物可以使用1，2-二叠氮醌-4-磺酸酯、1，2-二叠氮醌-5-磺酸酯或1，2-二叠氮醌-6-磺酸酯等。
上述二叠氮醌化合物，可以使萘醌二叠氮磺酰卤化物和酚化合物在弱碱下进行反应来制造。
作为上述酚化合物，可以使用2，3，4-三羟基二苯甲酮、2，4，6-三羟基二苯甲酮、2，2’-四羟基二苯甲酮、4，4’-四羟基二苯甲酮、2，3，4，3’-四羟基二苯甲酮、2，3，4，4’-四羟基二苯甲酮、2，3，4，2’-四羟基-4’-甲基二苯甲酮、2，3，4，4’-四羟基-3’-甲氧基二苯甲酮、2，3，4，2’-五羟基二苯甲酮、2，3，4，6’-五羟基二苯甲酮、2，4，6，3’-六羟基二苯甲酮、2，4，6，4’-六羟基二苯甲酮、2，4，6，5’-六羟基二苯甲酮、3，4，5，3’-六羟基二苯甲酮、3，4，5，4’-六羟基二苯甲酮、3，4，5，5’-六羟基二苯甲酮、二(2，4-二羟基苯基)甲烷、二(对羟基苯基)甲烷、三(对羟基苯基)甲烷、1，1，1-三(对羟基苯基)乙烷、二(2，3，4-三羟基苯基)甲烷、2，2-二(2，3，4-三羟基苯基)丙烷、1，1，3-三(2，5-二甲基-4-羟基苯基)-3-苯基丙烷、4，4’-[1-[4-[1-[4-羟基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亚乙基]双酚或二(2，5-二甲基-4-羟基苯基)-2-羟基苯基甲烷等，上述化合物可以单独或混合至少2种使用。
用上述酚化合物和萘醌二叠氮磺酰卤化物合成二叠氮醌化合物时，酯化度优选为50％～90％。上述酯化度小于50％时，残膜率有可能变差；超过90％时，存在在图案上产生膜渣的问题。
优选上述1，2-二叠氮醌化合物的含量相对于100重量份的a)多羟基苯乙烯类树脂为5重量份～50重量份，该含量进一步优选为10重量份～40重量份。其含量小于5重量份时，曝光部和非曝光部的溶解度差减小，难以形成图案；超过50重量份时，照射光的时间较短时，残留大量的未反应1，2-二叠氮醌化合物，在显影液的碱性水溶液中的溶解度过低，存在难以进行显影的问题。
本发明中所使用的上述c)光酸发生剂发挥下述作用通过曝光或曝光后烘焙形成酸并使该酸扩散，使得a)多羟基苯乙烯类树脂和d)三聚氰胺类交联剂产生交联反应，形成图案。
不言而喻地，上述光酸发生剂只要是通过光能够产生酸的化合物即可，可以使用任意的化合物，优选使用硫鎓盐、碘鎓盐等离子性光酸发生剂；磺酰基重氮甲烷类；N-磺酰氧基酰亚胺类；二苯乙醇酮磺酸酯类；硝基苄基磺酸酯类；砜类；乙二肟类；或三嗪类等。
具体地说，上述硫鎓盐是锍阳离子和磺酸酯(磺酸阴离子)的盐，上述锍阳离子有三苯酚锍、(4-叔丁氧基苯基)二苯基锍、二(4-叔丁氧基苯基)苯基锍、4-甲基苯基二苯基锍、三(4-甲基苯基锍)、4-叔丁基苯基二苯基锍、三(4-叔丁基苯基)锍、三(4-叔丁氧基苯基)锍、(3-叔丁氧基苯基)二苯基锍、二(3-叔丁氧基苯基)苯基锍、三(3-叔丁氧基苯基)锍、(3，4-二叔丁氧基苯基)二苯基锍、二(3，4-二叔丁氧基苯基)苯基锍、三(3，4-二叔丁氧基苯基)锍、二苯基(4-硫代苯氧基苯基)锍、(4-叔丁氧基羰基甲基氧代苯基)二苯基锍、三(4-叔丁氧基羰基甲基氧代苯基)锍、(4-叔丁氧基苯基)二(4-二甲基氨基苯基)锍、三(4-二甲基氨基苯基)锍、2-萘基二苯基锍、二甲基-2-萘基锍、4-羟基苯基二甲基锍、4-甲氧基苯基二甲基锍、三甲基锍、二苯基甲基锍、甲基-2-氧代丙基苯基锍、2-氧代环己基甲基锍、三萘基锍或三苄基锍等，上述磺酸酯有三氟甲烷磺酸酯、九氟丁烷磺酸酯、十七氟辛烷磺酸酯、2，2，2-三氟乙烷磺酸酯、五氟苯磺酸酯、4-三氟甲基苯磺酸酯、4-氟苯磺酸酯、甲苯磺酸酯、苯磺酸酯、萘磺酸酯、樟脑磺酸酯(カンポスルホネ一ト)、辛烷磺酸酯、十二烷基苯磺酸酯、丁烷磺酸酯或甲烷磺酸酯等。
上述碘鎓盐是碘鎓盐阳离子和磺酸酯(磺酸阴离子)的盐，上述碘鎓盐阳离子有二苯基碘鎓盐、二(4-叔丁基苯基)碘鎓盐、4-叔丁氧基苯基碘鎓盐或4-甲氧基苯基苯基碘鎓盐等，上述磺酸酯有三氟甲烷磺酸酯、九氟丁烷磺酸酯、十七氟辛烷磺酸酯、2，2，2-三氟乙烷磺酸酯、五氟苯磺酸酯、4-三氟甲基苯磺酸酯、4-氟苯磺酸酯、甲苯磺酸酯、苯磺酸酯、萘磺酸酯、樟脑磺酸酯、辛烷磺酸酯、十二烷基苯磺酸酯、丁烷磺酸酯或甲烷磺酸酯等。
上述磺酰基重氮甲烷类光酸发生剂有二(乙基磺酰基)重氮甲烷、二(1-甲基丙基磺酰基)重氮甲烷、二(2-甲基丙基磺酰基)重氮甲烷、二(1，1-二甲基乙基磺酰基)重氮甲烷、二(环己基磺酰基)重氮甲烷、二(全氟异丙基磺酰基)重氮甲烷、二(苯基磺酰基)重氮甲烷、二(4-甲基苯基磺酰基)重氮甲烷、二(2，4-二甲基苯基磺酰基)重氮甲烷、二(2-萘基磺酰基)重氮甲烷、4-甲基苯基磺酰基苯甲酰基重氮甲烷、叔丁基羰基-4-甲基苯基磺酰基重氮甲烷、2-萘基磺酰基苯甲酰基重氮甲烷、4-甲基苯基磺酰基-2-萘甲酰基重氮甲烷、甲基磺酰基苯甲酰基重氮甲烷或叔丁氧基羰基-4-甲基苯基磺酰基重氮甲烷等二磺酰基重氮甲烷和磺酰基羰基重氮甲烷。
上述N-磺酰氧基酰亚胺类光酸发生剂有琥珀酰亚胺、萘二酰亚胺、酞酰亚胺、环己基二酰亚胺、5-降冰片烯-2，3-二酰亚胺或7-氧杂双环[2，2，1]-5-庚烯-2，3-二酰亚胺等酰亚胺骨架与三氟甲烷磺酸酯、九氟丁烷磺酸酯、十七氟辛烷磺酸酯、2，2，2-三氟乙烷磺酸酯、五氟苯磺酸酯、4-三氟甲基苯磺酸酯、4-氟苯磺酸酯、甲苯磺酸酯、苯磺酸酯、萘磺酸酯、樟脑磺酸酯、辛烷磺酸酯、十二烷基苯磺酸酯、丁烷磺酸酯或甲烷磺酸酯等相组合的化合物。
上述二苯乙醇酮磺酸酯类光酸发生剂有二苯乙醇酮甲苯磺酸酯、二苯乙醇酮甲磺酸酯或二苯乙醇酮丁烷磺酸酯等。
上述硝基苄基磺酸酯类光酸发生剂有2，4-二硝基苄基磺酸酯、2-硝基苄基磺酸酯或2，6-二硝基苄基磺酸酯等，上述磺酸酯有三氟甲烷磺酸酯、九氟丁烷磺酸酯、十七氟辛烷磺酸酯、2，2，2-三氟乙烷磺酸酯、五氟苯磺酸酯、4-三氟甲基苯磺酸酯、4-氟苯磺酸酯、甲苯磺酸酯、苯磺酸酯、萘磺酸酯、樟脑磺酸酯、辛烷磺酸酯、十二烷基苯磺酸酯、丁烷磺酸酯或甲烷磺酸酯等。此外，也可以使用苄基一侧的硝基被取代成三氟甲基而得到的化合物。
上述砜类光酸发生剂有二(苯基磺酰基)甲烷、二(4-甲基苯基磺酰基)甲烷、二(2-萘基磺酰基)甲烷、2，2-二(苯基磺酰基)丙烷、2，2-二(4-甲基苯基磺酰基)丙烷、2，2-二(2-萘基磺酰基)丙烷、2-甲基-2-(对甲苯磺酰基)丙酮(丙酮，プロピオネノン)、2-(环己基羰基)-2-(对甲苯磺酰基)丙烷或2，4-二甲基-2-(对甲苯磺酰基)戊烷-3-酮等。
上述乙二肟类光酸发生剂有二-邻(对甲苯磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-邻(对甲苯磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-邻(对甲苯磺酰基)-α-二环己基乙二肟、二-邻(对甲苯磺酰基)-2，3-戊二酮乙二肟、二-邻(对甲苯磺酰基)-2-甲基-3，4-戊二酮乙二肟、二-邻(正丁烷磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-邻(正丁烷磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-邻(正丁烷磺酰基)-α-二环己基乙二肟、二-邻(正丁烷磺酰基)-2，3-戊二酮乙二肟、二-邻(正丁烷磺酰基)-2-甲基-3，4-戊二酮乙二肟、二-邻(甲烷磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-邻(三氟甲烷磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-邻(1，1，1-三氟乙烷磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-邻(叔丁烷磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-邻(全氟辛烷磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-邻(环己基磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-邻(苯磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-邻(对氟苯磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-邻(对叔丁基苯磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-邻(二甲苯磺酰基)-α-二甲基乙二肟或二-邻(樟脑磺酰基)-α-二甲基乙二肟(樟脑磺酰基，カンポスルホニル)等。
上述三嗪类光酸发生剂有PDM-三嗪(PDM-Triazine)、WS-三嗪(WS-Triazine)、PDM-三嗪(PDM-Triazine)、二甲氧基-三嗪(Dimethoxy-Triazine)、MP-三嗪(MP-Triazine)、TFE-三嗪(TFE-Triazine)或TME-三嗪(TME-Triazine)(三和化学)等。
上述光酸发生剂的含量相对于100重量份的a)多羟基苯乙烯类树脂优选为1重量份～20重量份，进一步优选为1重量份～10重量份。其含量小于1重量份时，存在感光速度降低的问题，超过20重量份时，存在释气(outgassing)和保存稳定性有可能降低的问题。
本发明中所使用的上述d)上述化学式2所示的三聚氰胺交联剂与a)多羟基苯乙烯类树脂形成交联结构。
上述三聚氰胺交联剂的含量相对于100重量份的a)多羟基苯乙烯类树脂优选为1重量份～30重量份，进一步优选为1重量份～20重量份。其含量小于1重量份时，对于负型，存在感光速度降低的问题；超过30重量份时，存在保存稳定性有可能降低的问题。
本发明中所使用的上述e)溶剂发挥下述作用其使绝缘体和隔离体具有平坦性，并形成均一的图案轮廓(pattern profile)而不会产生涂层不均一。
上述溶剂可以使用甲醇、乙醇、苯甲醇、己醇等烷醇类；乙二醇甲基醚乙酸酯、乙二醇乙基醚乙酸酯等乙二醇烷基醚乙酸酯类；乙二醇甲基醚丙酸酯、乙二醇乙基醚丙酸酯等乙二醇烷基醚丙酸酯类；乙二醇甲基醚、乙二醇乙基醚等乙二醇单烷基醚类；二乙二醇单甲基醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚等二乙二醇烷基醚类；丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇乙基醚乙酸酯、丙二醇丙基醚乙酸酯等丙二醇烷基醚乙酸酯类；丙二醇甲基醚丙酸酯、丙二醇乙基醚丙酸酯、丙二醇丙基醚丙酸酯等丙二醇烷基醚丙酸酯类；丙二醇甲基醚、丙二醇乙基醚、丙二醇丙基醚、丙二醇丁基醚等丙二醇单烷基醚类；二丙二醇二甲醚、二丙二醇二乙醚等二丙二醇烷基醚类；丁二醇单甲醚、丁二醇单乙醚等丁二醇单烷基醚类；或二丁二醇二甲醚、二丁二醇二乙醚等二丁二醇烷基醚类等。
优选含有上述溶剂以使全部感光性树脂组合物的固体成分的含量为10重量％～50重量％，进一步优选含有上述溶剂以使全部感光性树脂组合物的固体成分的含量为10重量％～40重量％。上述全部组合物的固体成分含量小于10重量％时，涂层厚度变薄，存在涂层平滑性降低的问题；超过50重量％时，涂层厚度变厚，进行涂布时存在有可能不适于涂布装备的问题。
含有上述成分的本发明的感光性树脂组合物，根据需要可以进一步追加含有f)表面活性剂。
上述表面活性剂发挥提高感光性树脂组合物的涂布性或显影性的作用。
上述表面活性剂可以使用聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚、F171、F172、F173(商品名大日本油墨化学工业株式会社)、FC430、FC431(商品名住友3M株式会社)或KP341(商品名信越化学工业株式会社)等。
上述表面性剂的含量相对于100重量份的上述a)多羟基苯乙烯类树脂优选为0.0001重量份～2重量份，其含量在上述范围内时，在提高感光性组合物的涂布性或显影性方面上进一步优异。
含有上述成分的本发明的感光性树脂组合物采用0.1μm～0.2μm的Millipore过滤器等过滤后使用为宜。
此外，本发明提供含有上述感光性树脂组合物的固化物的显示器(display)和利用上述感光性树脂组合物的显示器的图案形成方法，本发明的感光性树脂组合物不仅可以单独适用于PM-OLED中的绝缘体或柱状间隔物(column spacer)，还可以单独适用于AM-OLED、AM-LCD、和PDP基板中的绝缘体或柱状间隔物。
具体地说，本发明的PM-OLED基板中的图案形成方法是使用上述感光性树脂组合物同时形成绝缘体和隔离体从而形成PM-OLED基板的图案的方法，该方法的特征在于，其使用上述感光性树脂组合物。
作为更具体的例子，利用上述感光性树脂组合物形成PM-OLED基板的图案的方法如下所述。
首先，通过喷涂法、辊涂法、旋涂法等将本发明的感光性树脂组合物涂布于基板表面，通过前烘除去溶剂，形成涂布膜。此时，上述前烘优选在80℃～120℃的温度下实施1分钟～15分钟。
然后，将可见光线、紫外线、远紫外线、电子线、X线等通过预先准备的图案照射于上述形成的涂布膜，根据需要实施曝光后烘烤(PEB)和整片曝光(Flood Exposure)后，用显影液显影，除去不需要的部分，由此形成所规定的图案。
上述显影液使用碱水溶液为宜，具体地说，可以使用氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钾等无机碱类；乙胺、正丙胺等伯胺类；二乙胺、二正丙胺等仲胺类；三甲基胺、甲基二乙基胺、二甲基乙基胺、三乙基胺等叔胺类；二甲基乙醇胺、甲基二乙醇胺、三乙醇胺等烷醇胺类；或四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵等季铵盐的水溶液等。此时，上述显影液使用以0.1重量％～10重量％的浓度溶解的碱性化合物的溶液，也可以适当添加诸如甲醇、乙醇等水溶性有机溶剂和表面活性剂。
此外，用上述显影液显影后，用超纯水洗涤30秒～90秒除去不需要的部分，进行干燥形成图案，通过烤箱等加热装置在130℃～250℃的温度下对图案进行加热处理30分钟～90分钟，可以得到最终图案。
基于本发明的感光性树脂组合物的优点在于，其灵敏度、绝缘性等各种性能优异，特别是具有优异的耐热性，因而可以增加后工序中的可靠性和寿命。此外，可以利用本发明所涉及的一种感光性树脂组合物同时形成绝缘体和隔离体这2种方式的图案，可以缩短工序时间，同时显著地提高面板上的开口率，使其可适用于PM-OLED、AM-OLED、AM-LCD、PDP基板的制造工序。
下面，为了有助于本发明的理解，示出优选的实施例，但下述的实施例只不过是本发明的例子，本发明的范围不限于下述的实施例。
实施例1(多羟基苯乙烯类树脂的制造)在具有冷却管和顶置式搅拌机的烧瓶中，加入6重量份AIBN、400重量份四羟基呋喃、80重量份乙酰氧基苯乙烯和20重量份苯乙烯，进行氮气置换后缓慢搅拌。将上述反应溶液升温至65℃，在该温度维持28小时并同时制造含有乙酰氧基苯乙烯和苯乙烯共聚物的聚合物溶液。
然后，为了除去上述制造的含有乙酰氧基苯乙烯和苯乙烯共聚物的聚合物溶液中的未反应单体，以5000重量份的正己烷(hexane)作为相对于聚合物的不良溶剂(poor solvent)来沉淀500重量份的上述聚合物溶液。然后以利用筛网(mesh)的过滤(filtering)工序来除去溶解有未反应物的不良溶剂。然后，在40℃进行真空干燥，除去含有过滤工序之后残留的未反应单体的溶剂(solvent)，制造乙酰氧基苯乙烯和苯乙烯共聚物。
然后使上述乙酰氧基苯乙烯和苯乙烯共聚物溶解于甲醇中，制造20重量％的聚合物溶液，之后，相对于100重量份的上述20重量％的聚合物溶液，加入4.8重量份28重量％的NH3OH溶液和4.7重量份乙酸，于40℃搅拌8小时，进行水解(hydrolysis)。然后，利用超纯水作为不良溶剂进行纯化，于40℃真空干燥，制造出重均分子量为7000的多羟基苯乙烯类树脂。此时，重均分子量是利用GPC测定的聚苯乙烯换算平均分子量。
(1，2-二叠氮醌化合物的制造)使1摩尔4，4’-[1-[4-[1-[4-羟基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亚乙基]双酚和2摩尔1，2-萘醌二叠氮-5-磺酰氯化物进行缩合反应，制造4，4’-[1-[4-[1-[4-羟基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亚乙基]双酚1，2-萘醌二叠氮-5-磺酸酯。
(感光性树脂组合物的制造)将100重量份上述制造的多羟基苯乙烯类树脂、30重量份上述制造的4，4’-[1-[4-[1-[4-羟基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亚乙基]双酚1，2-萘醌二叠氮-5-磺酸酯、3重量份作为光酸发生剂的三嗪类TME-三嗪(TME-Triazine)和10重量份下述化学式3所示的三聚氰胺交联剂混合。然后，将上述混合物溶解于丙二醇甲基醚乙酸酯中以使固体成分的含量为30重量％，随后用0.2μm的Millipore过滤器过滤，制造感光性树脂组合物。
实施例2除了使用90重量份乙酰氧基苯乙烯和10重量份苯乙烯来替代上述实施例1中制造多羟基苯乙烯类树脂时作为单体的80重量份乙酰氧基苯乙烯和20重量份苯乙烯、并在水解时使用5.4重量份28重量％的NH3OH溶液和5.3重量份乙酸之外，实施与上述实施例1相同的方法来制造感光性树脂组合物。
实施例3除了使用70重量份乙酰氧基苯乙烯和30重量份苯乙烯来替代上述实施例1中制造多羟基苯乙烯类树脂时作为单体的80重量份乙酰氧基苯乙烯和20重量份苯乙烯、并在水解时使用4.2重量份28重量％的NH3OH溶液和4.1重量份乙酸之外，实施与上述实施例1相同的方法来制造感光性树脂组合物。
实施例4除了使用100重量份的乙酰氧基苯乙烯来替代上述实施例1中制造多羟基苯乙烯类树脂时作为单体的80重量份乙酰氧基苯乙烯和20重量份苯乙烯、并在水解时使用6.0重量份28重量％的NH3OH溶液和5.9重量份乙酸之外，实施与上述实施例1相同的方法来制造感光性树脂组合物。
实施例5在上述实施例1中制造多羟基苯乙烯类树脂时，使用5重量份的AIBN，除此之外，实施与上述实施例1相同的方法来制造感光性树脂组合物。
实施例6在上述实施例1中制造多羟基苯乙烯类树脂时，使用4重量份的AIBN，除此之外，实施与上述实施例1相同的方法来制造感光性树脂组合物。
实施例7除了使用二(乙基磺酰基)重氮甲烷来替代上述实施例1中制造感光性树脂组合物时作为光酸发生剂的三嗪类TME-三嗪之外，实施与上述实施例1相同的方法来制造感光性树脂组合物。
实施例8除了使用硝基苄基磺酸酯类2，4-二硝基苄基磺酸酯来替代上述实施例1中制造感光性树脂组合物时作为光酸发生剂的三嗪类TME-三嗪之外，实施与上述实施例1相同的方法来制造感光性树脂组合物。
比较例1(酚醛树脂的制造)将45g间甲酚、55g对甲酚、65g甲醛和0.5g草酸加入至顶置式搅拌机中进行搅拌，以制造均质混合物。于95℃加热上述均质混合物，在该温度维持4小时。将回流冷凝器换为蒸馏装置，使均质混合物在温度为110℃蒸馏2小时。于180℃真空蒸馏2小时以蒸馏除去残留单体，于室温下将熔融的酚醛树脂冷却。然后，用GPC测定重均分子量，获得重均分子量为3500的酚醛树脂。此时，重均分子量是使用GPC测定的聚苯乙烯换算平均分子量。
(感光性树脂组合物的制造)除了使用上述制造的酚醛树脂来替代上述实施例1中的多羟基苯乙烯类树脂之外，实施与上述实施例1相同的方法来制造感光性树脂组合物。
比较例2(酚醛树脂的制造)在上述比较例1中，使用100g的甲醛，于95℃加热反应混合物，并在该温度维持6小时，除此之外，实施与上述实施例1相同的方法来制造重均分子量为7000的酚醛树脂。
(感光性树脂组合物的制造)除了使用上述制造的酚醛树脂来替代上述实施例1中的多羟基苯乙烯类树脂之外，实施与上述实施例1相同的方法来制造感光性树脂组合物。
比较例3除了使用下述化学式4所示的聚酰亚胺类树脂来替代上述实施例1中制造感光性树脂组合物时的多羟基苯乙烯类树脂之外，实施与上述实施例1相同的方法来制造感光性树脂组合物。
比较例4-1(正型)除了使用上述化学式4所示的聚酰亚胺类树脂来替代上述实施例1中制造感光性树脂组合物时的多羟基苯乙烯类树脂、并且不使用光酸发生剂和三聚氰胺交联剂之外，实施与上述实施例1相同的方法来制造正型感光性树脂组合物。
比较例4-2(负型)除了使用由上述比较例2制造的酚醛树脂来替代上述实施例1中制造感光性树脂组合物时的多羟基苯乙烯类树脂、并且不使用4，4’-[1-[4-[1-[4-羟基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亚乙基]双酚1，2-萘醌二叠氮-5-磺酸酯以外，实施与上述实施例1相同的方法来制造负型感光性树脂组合物。
利用由上述实施例1～8和比较例1～3制造的感光性树脂组合物采用下述1阶段工序的方法形成膜，利用由比较例4制造的感光性树脂组合物采用下述2阶段工序的方法形成膜，以下述方法测定所得到的膜的耐热性、开口率和绝缘性，其结果如下述表1所示。
1)1阶段工序(1)正向灵敏度-使用旋涂机将由上述实施例1～8和比较例1～3制造的感光性树脂组合物涂布于ITO蒸镀的370mm×470mm玻璃(glass)基板上后，于110℃在加热板上前烘2分钟，形成厚度为6.0μm的膜。将435nm的强度为20mW/cm2的紫外线以50μm离析图案(Isolate Pattern)CD基准清除照射剂量(Dose to clear)通过规定的图案掩模(pattern mask)照射至上述形成的膜，然后用2.38重量％的四甲基氢氧化铵水溶液于23℃显影90秒，之后用超纯水洗涤1分钟，得到厚度为5.0μm的图案膜(图1)。图1中黑色所示的部分表示掩模，梯形形状表示显影后的感光性树脂。
(2)负向灵敏度-将435nm的强度为20mW/cm2的紫外线以25μm离析图案CD基准照射量(Dose)通过规定的图案掩模照射至上述(1)形成的膜，于110℃在加热板上曝光90秒后，进行曝光后烘烤(PEB)(图2)。图2中，黑色所示的部分表示2个掩模，梯形内的斜线所示的黑色部分表示在PEB工序后产生交联的部分，白色部分表示在PEB工序后即使进行交联后也未交联的部分。
(3)整片曝光灵敏度-如图3所示，在无掩模(Mask Free)状态下，对整片照射使绝缘膜部残存1.0μm的曝光量后，用2.38重量％的四甲基氢氧化铵水溶液于23℃显影100秒后，用超纯水洗涤1分钟。
如上所述，通过(1)～(3)阶段，获得间隔壁部的厚度为4.0μm、绝缘膜部的厚度为1.0μm、正向的角度(Angle)θ1为40度～50度、负向的角度θ2为60度～70度的图案膜(图4)。
通过上述方法用1种感光性树脂形成绝缘体和隔离体，与如下述2阶段工序那样用2种感光性树脂形成绝缘体和隔离体相比，宽度(margin)更优异。
2)2阶段工序2阶段工序中，不同时形成绝缘体和隔离体，因而必须经过2次工序形成它们。此外，形成绝缘体后，为了确保隔离体的排列宽度，必须使绝缘体CD比1阶段工序更大。
(1)绝缘体工序-首先，使用旋涂机将由上述比较例4-1制造的正型酰亚胺类感光性树脂组合物涂布于ITO蒸镀的370mm×470mm玻璃(glass)基板上后，于110℃在加热板上前烘2分钟，形成厚度为1.5μm的膜。将435nm的强度为20mW/cm2的紫外线以60μm离析图案CD基准清除照射剂量通过规定的图案掩模照射至上述形成的膜，然后用2.38重量％的四甲基氢氧化铵水溶液于23℃显影90秒，之后用超纯水洗涤1分钟。随后在烤箱中于230℃加热60分钟进行固化，得到60μm CD和1.0μm厚度的最终图案膜。
(2)隔离体工序-在由上述(1)的绝缘体形成工序中所形成的膜上，使用旋涂机涂布由上述比较例4-2制造的负型酚醛类感光性树脂组合物后，于110℃在加热板上前烘2分钟，形成厚度为5.0μm的膜。
在由上述(1)形成的60μm CD和1.0μm厚度的绝缘膜上排列规定的图案掩模后，将435nm的强度为20mW/cm2的紫外线以离析图案30μmCD基准照射量进行照射，然后于110℃在加热板上曝光90秒，随后进行烘烤。然后用2.38重量％的四甲基氢氧化铵水溶液于23℃显影60秒，用超纯水洗涤1分钟，获得4.0μm的图案膜。
3)耐热性将通过上述1阶段工序和2阶段工序得到的各个图案置于烤箱中于230℃加热60分钟进行固化，得到最终图案膜。
通常正型的角度θ1较低时有可能产生泄漏电流(Leakage Current)，负型的角度θ2较高时，在有机膜和金属的蒸镀时有可能成为问题。因此，将正型的角度θ1为30度～50度、负型的角度θ2为60度～75度时的情况表示为○，将正型的角度θ1小于30度、负型的角度θ2为75度以上时的情况表示为×。
4)开口率在制造OLED面板时，在ITO蒸镀的370mm×470mm玻璃基板上形成绝缘体和隔离体时，将除去绝缘体和隔离体的ITO面积作为开口率(％)进行评价。
5)绝缘性制造具有通过上述1)～4)的工序形成的厚度为1.0μm且面积相当于1mm2的绝缘膜的TFT元件，通过1-V曲线测定绝缘性。
通常对于PM-OLED，为了增大面板的尺寸，必须进行高电压驱动，此时的绝缘性是很重要的。因此，将测得的绝缘击穿电压(Breakdown Voltage)为2MV/cm以上时和测得的泄漏电流密度(Leakage Current Density)小于10-9A/cm2时的情况表示为○，将测得的绝缘击穿电压(Breakdown Voltage)小于2MV/cm时和测得的泄漏电流密度(Leakage Current Density)为10-9A/cm2以上时的情况表示为×。
由上述表1可知，与比较例1～4相比，根据本发明的实施例1～8制造的感光性树脂组合物的耐热性、开口率和绝缘性都优异，特别是与比较例1～4相比，可以确认到耐热性显著优异，因此将其应用于OLED制造工序时，基于本发明的感光性树脂组合物能得到更优异的结果。
与此相对地，比较例1～2的缺点在于，耐热性降低，在分离(separation)方面存在问题，绝缘性变差，显示器的寿命降低。此外，由上述表1可知，对于比较例3，不形成倒角(Reverse Angle)，对于比较例4，虽然在绝缘性方面无问题，但是导致开口率显著降低，难以进行显示器的大型化。
以上只是对本发明记载的具体例子进行了详细的说明，但是对于所属技术领域的技术人员来说，显然可以在本发明的技术思想范围内进行多种变形和修正，这种变形和修正也当然包含在所附的专利权利要求的范围内。
权利要求
1.一种感光性树脂组合物，该感光性树脂组合物的特征在于，其含有a)下述化学式1所示的多羟基苯乙烯类树脂、b)1，2-二叠氮醌化合物、c)光酸发生剂、d)下述化学式2所示的三聚氰胺交联剂、和e)溶剂，[化学式1] 上述化学式1中，a、b表示各单体间的摩尔比，a为1～10，b为0～9，并且a+b＝10；[化学式2] 上述化学式2中，R1～R3各自独立地表示碳原子数为1～4的烷基，R4～R6各自独立地表示氢基或碳原子数为1～4的烷基。
2.如权利要求1所述的感光性树脂组合物，该感光性树脂组合物的特征在于，其含有100重量份的a)上述化学式1所示的多羟基苯乙烯类树脂、5重量份～50重量份的b)1，2-二叠氮醌化合物、1重量份～20重量份的c)光酸发生剂、1重量份～30重量份的d)上述化学式2所示的三聚氰胺交联剂、和使感光性树脂组合物内的全部固体成分含量为10重量％～50重量％的e)溶剂。
3.如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述a)化学式1所示的多羟基苯乙烯类树脂是通过自由基聚合方法进行制造的。
4.如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述a)化学式1所示的多羟基苯乙烯类树脂是如下制造的使乙酰氧基苯乙烯和苯乙烯在溶剂和聚合引发剂的存在下进行自由基聚合，并进行沉淀和过滤，通过真空干燥工序除去未反应单体后，溶解于甲醇中制成树脂溶液，在氨水和乙酸的存在下水解，再次进行沉淀和过滤，并进行真空干燥工序，由此制得所述多羟基苯乙烯类树脂。
5.如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述a)化学式1所示的多羟基苯乙烯类树脂的聚苯乙烯换算重均分子量Mw为3000～30000。
6.如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述b)1，2-二叠氮醌化合物为选自由1，2-二叠氮醌-4-磺酸酯、1，2-二叠氮醌-5-磺酸酯和1，2-二叠氮醌-6-磺酸酯组成的组中的至少1种。
7.如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述c)光酸发生剂为选自由硫鎓盐、碘鎓盐、磺酰基重氮甲烷类光酸发生剂、N-磺酰氧基酰亚胺类光酸发生剂、二苯乙醇酮磺酸酯类光酸发生剂、硝基苄基磺酸酯类光酸发生剂、砜类光酸发生剂、乙二肟类光酸发生剂和三嗪类光酸发生剂组成的组中的至少1种。
8.如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述c)光酸发生剂为选自由下述的硫鎓盐、碘鎓盐、磺酰基重氮甲烷类光酸发生剂、N-磺酰氧基酰亚胺类光酸发生剂、二苯乙醇酮磺酸酯类光酸发生剂、硝基苄基磺酸酯类光酸发生剂、砜类光酸发生剂、乙二肟类光酸发生剂和三嗪类光酸发生剂组成的组中的至少1种；所述硫鎓盐是锍阳离子和磺酸酯(磺酸阴离子)的盐，所述锍阳离子选自由三苯酚锍、(4-叔丁氧基苯基)二苯基锍、二(4-叔丁氧基苯基)苯基锍、4-甲基苯基二苯基锍、三(4-甲基苯基锍)、4-叔丁基苯基二苯基锍、三(4-叔丁基苯基)锍、三(4-叔丁氧基苯基)锍、(3-叔丁氧基苯基)二苯基锍、二(3-叔丁氧基苯基)苯基锍、三(3-叔丁氧基苯基)锍、(3，4-二叔丁氧基苯基)二苯基锍、二(3，4-二叔丁氧基苯基)苯基锍、三(3，4-二叔丁氧基苯基)锍、二苯基(4-硫代苯氧基苯基)锍、(4-叔丁氧基羰基甲基氧代苯基)二苯基锍、三(4-叔丁氧基羰基甲基氧代苯基)锍、(4-叔丁氧基苯基)二(4-二甲基氨基苯基)锍、三(4-二甲基氨基苯基)锍、2-萘基二苯基锍、二甲基-2-萘基锍、4-羟基苯基二甲基锍、4-甲氧基苯基二甲基锍、三甲基锍、二苯基甲基锍、甲基-2-氧代丙基苯基锍、2-氧代环己基甲基锍、三萘基锍和三苄基锍组成的组，所述磺酸酯(磺酸阴离子)选自由三氟甲烷磺酸酯、九氟丁烷磺酸酯、十七氟辛烷磺酸酯、2，2，2-三氟乙烷磺酸酯、五氟苯磺酸酯、4-三氟甲基苯磺酸酯、4-氟苯磺酸酯、甲苯磺酸酯、苯磺酸酯、萘磺酸酯、樟脑磺酸酯、辛烷磺酸酯、十二烷基苯磺酸酯、丁烷磺酸酯和甲烷磺酸酯组成的组；所述碘鎓盐是碘鎓盐阳离子和磺酸酯(磺酸阴离子)的盐，所述碘鎓盐阳离子选自由二苯基碘鎓盐、二(4-叔丁基苯基)碘鎓盐、4-叔丁氧基苯基碘鎓盐和4-甲氧基苯基碘鎓盐组成的组，所述磺酸酯(磺酸阴离子)选自由三氟甲烷磺酸酯、九氟丁烷磺酸酯、十七氟辛烷磺酸酯、2，2，2-三氟乙烷磺酸酯、五氟苯磺酸酯、4-三氟甲基苯磺酸酯、4-氟苯磺酸酯、甲苯磺酸酯、苯磺酸酯、萘磺酸酯、樟脑磺酸酯、辛烷磺酸酯、十二烷基苯磺酸酯、丁烷磺酸酯和甲烷磺酸酯组成的组；所述磺酰基重氮甲烷类光酸发生剂选自由二(乙基磺酰基)重氮甲烷、二(1-甲基丙基磺酰基)重氮甲烷、二(2-甲基丙基磺酰基)重氮甲烷、二(1，1-二甲基乙基磺酰基)重氮甲烷、二(环己基磺酰基)重氮甲烷、二(全氟异丙基磺酰基)重氮甲烷、二(苯基磺酰基)重氮甲烷、二(4-甲基苯基磺酰基)重氮甲烷、二(2，4-二甲基苯基磺酰基)重氮甲烷、二(2-萘基磺酰基)重氮甲烷、4-甲基苯基磺酰基苯甲酰基重氮甲烷、叔丁基羰基-4-甲基苯基磺酰基重氮甲烷、2-萘基磺酰基苯甲酰基重氮甲烷、4-甲基苯基磺酰基-2-萘甲酰基重氮甲烷、甲基磺酰基苯甲酰基重氮甲烷和叔丁氧基羰基-4-甲基苯基磺酰基重氮甲烷组成的组；所述N-磺酰氧基酰亚胺类光酸发生剂选自由琥珀酰亚胺、萘二酰亚胺、酞酰亚胺、环己基二酰亚胺、5-降冰片烯-2，3-二酰亚胺、7-氧杂双环[2，2，1]-5-庚烯-2，3-二酰亚胺、三氟甲烷磺酸酯、九氟丁烷磺酸酯、十七氟辛烷磺酸酯、2，2，2-三氟乙烷磺酸酯、五氟苯磺酸酯、4-三氟甲基苯磺酸酯、4-氟苯磺酸酯、甲苯磺酸酯、苯磺酸酯、萘磺酸酯、樟脑磺酸酯、辛烷磺酸酯、十二烷基苯磺酸酯、丁烷磺酸酯和甲烷磺酸酯组成的组；所述二苯乙醇酮磺酸酯类光酸发生剂选自由二苯乙醇酮甲苯磺酸酯、二苯乙醇酮甲磺酸酯和二苯乙醇酮丁烷磺酸酯组成的组；所述硝基苄基磺酸酯类光酸发生剂选自由2，4-二硝基苄基磺酸酯、2-硝基苄基磺酸酯、2，6-二硝基苄基磺酸酯以及上述物质的苄基一侧的硝基被取代成三氟甲基而得到的化合物所组成的组，上述物质中，作为磺酸酯为三氟甲烷磺酸酯、九氟丁烷磺酸酯、十七氟辛烷磺酸酯、2，2，2-三氟乙烷磺酸酯、五氟苯磺酸酯、4-三氟甲基苯磺酸酯、4-氟苯磺酸酯、甲苯磺酸酯、苯磺酸酯、萘磺酸酯、樟脑磺酸酯、辛烷磺酸酯、十二烷基苯磺酸酯、丁烷磺酸酯或甲烷磺酸酯；所述砜类光酸发生剂为选自由二(苯基磺酰基)甲烷、二(4-甲基苯基磺酰基)甲烷、二(2-萘基磺酰基)甲烷、2，2-二(苯基磺酰基)丙烷、2，2-二(4-甲基苯基磺酰基)丙烷、2，2-二(2-萘基磺酰基)丙烷、2-甲基-2-(对甲苯磺酰基)丙酮、2-(环己基羰基)-2-(对甲苯磺酰基)丙烷和2，4-二甲基-2-(对甲苯磺酰基)戊烷-3-酮组成的组中的至少1种；所述乙二肟类光酸发生剂为选自由二-邻(对甲苯磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-邻(对甲苯磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-邻(对甲苯磺酰基)-α-二环己基乙二肟、二-邻(对甲苯磺酰基)-2，3-戊二酮乙二肟、二-邻(对甲苯磺酰基)-2-甲基-3，4-戊二酮乙二肟、二-邻(正丁烷磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-邻(正丁烷磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-邻(正丁烷磺酰基)-α-二环己基乙二肟、二-邻(正丁烷磺酰基)-2，3-戊二酮乙二肟、二-邻(正丁烷磺酰基)-2-甲基-3，4-戊二酮乙二肟、二-邻(甲烷磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-邻(三氟甲烷磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-邻(1，1，1-三氟乙烷磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-邻(叔丁烷磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-邻(全氟辛烷磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-邻(环己基磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-邻(苯磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-邻(对氟苯磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-邻(对叔丁基苯磺酰基)-α-二甲基乙二肟、二-邻(二甲苯磺酰基)-α-二甲基乙二肟和二-邻(樟脑磺酰基)-α-二甲基乙二肟组成的组中的至少1种；所述三嗪类光酸发生剂为选自由PDM-三嗪、WS-三嗪、PDM-三嗪、二甲氧基-三嗪、MP-三嗪、TFE-三嗪和TME-三嗪组成的组中的至少1种。
9.如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述e)溶剂为选自由甲醇、乙醇、苯甲醇、己醇、乙二醇甲基醚乙酸酯、乙二醇乙基醚乙酸酯、乙二醇甲基醚丙酸酯、乙二醇乙基醚丙酸酯、乙二醇甲基醚、乙二醇乙基醚、二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚、丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇乙基醚乙酸酯、丙二醇丙基醚乙酸酯、丙二醇甲基醚丙酸酯、丙二醇乙基醚丙酸酯、丙二醇丙基醚丙酸酯、丙二醇甲基醚、丙二醇乙基醚、丙二醇丙基醚、丙二醇丁基醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇二乙醚、丁二醇单甲醚、丁二醇单乙醚、二丁二醇二甲醚和二丁二醇二乙醚组成的组中的至少1种。
10.一种显示器，该显示器的特征在于，其含有权利要求1～9任意一项所述的感光性树脂组合物的固化物。
11.如权利要求10所述的显示器，其特征在于，所述显示器为PM-OLED、AM-OLED、AM-LCD或PDP基板。
12.一种显示器的图案形成方法，该形成方法利用了权利要求1～9任意一项所述的感光性树脂组合物。
13.如权利要求12所述的显示器的图案形成方法，其特征在于，所述显示器为PM-OLED、AM-OLED、AM-LCD或PDP基板。
全文摘要
本发明提供一种感光性树脂组合物，该感光性树脂组合物的灵敏度、绝缘性等各种性能优异，特别是具有优异的耐热性，因而可以增加后工序中的可靠性和寿命；此外，可以利用本发明所涉及的一种感光性树脂组合物同时形成绝缘体和隔离体这2种方式的图案，可以缩短工序时间，同时还显著地提高面板上的开口率，使其适用于PM－OLED、AM－OLED、AM－LCD、PDP基板的制造工序。本发明所涉及的感光性树脂组合物的特征在于，其含有a)多羟基苯乙烯类树脂、b)1，2－二叠氮醌化合物、c)光酸发生剂、d)三聚氰胺交联剂、和e)溶剂。
文档编号G03F7/004GK101034260SQ20071008607
公开日2007年9月12日 申请日期2007年3月8日 优先权日2006年3月8日
发明者吕泰勳, 尹赫敏, 李浩真, 尹柱豹, 丘冀赫, 郑义澈, 金东明, 崔相角, 申洪大, 李东赫, 金柄郁, 金成卓, 崔守延, 曺东镐, 郑大众 申请人:东进世美肯株式会社