着色感光性树脂组合物、滤色器及液晶显示装置的制作方法

专利名称：着色感光性树脂组合物、滤色器及液晶显示装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种着色感光性树脂组合物、滤色器及液晶显示装置。
背景技术：
通常，显示装置用滤色器为在玻璃等基板上将红色、绿色、蓝色的点状图像分别配置成矩阵状、用黑色矩阵等深色分隔壁区分其界限的结构。作为这样的滤色器的制造方法，目前已知有使用玻璃等基板作为支撑体、利用1)染色法、2)印刷法、3)由着色的感光性树脂液的涂布和曝光及显影的重复形成的着色感光性树脂液法(着色抗蚀剂法)、4)将在临时支撑体上形成的图像依次转印于最终或临时的支撑体上的方法、幻仅颜色的数量重复进行通过将预先着色的感光性树脂液涂布于临时支撑体上而形成着色层、依次直接将该感光性着色层转印到基板上、曝光并显影的方法等形成多色图像的方法(转印方式)。另外，也已知有使用喷墨法的方法。在这些方法中，着色抗蚀剂法虽然可以位置精度高地制作滤色器，但是，在感光性树脂液的涂布中损失多，在成本方面不能说是有利的。另一方面，喷墨法虽然感光性树脂液的损失少且在成本方面是有利的，但是，存在像素的位置精度差的问题。为了克服这些问题，也提出了用着色抗蚀剂法形成黑色矩阵、并用喷墨法制作RGB像素的滤色器制造法。与上述有关，已知有含有侧链上含(甲基)丙烯酰基的苯乙烯的感放射线性组合物。据此，即使以低曝光量也不产生图案边缘的缺损及底切(under cut)，且在显影时不会残存未溶解物或在图案边缘产生浮渣，可以形成微细图案(例如参照日本特开2008-181095 号公报)。另外，已知有含有苯乙酮系聚合引发剂的着色感光性组合物。据此，虽然使用着色物质，但是，可以形成相对于光为高灵敏度、且对玻璃基板的密合性高的黑色矩阵(例如，参照日本特开2006-276173号公报)。

发明内容
发明想要解决的问题但是，就日本特开2008-181095号公报及日本特开2006-276173号公报中记载的
感光性组合物而言，有时在黑色矩阵形成时产生像素缺损。因此，需要在RGB像素形成后进行混色或像素脱落的缺陷修正，有时生产效率降低。本发明的课题在于，提供一种显影时的图案形成性良好、可以形成微细图案的着色感光性树脂组合物及使用该着色感光性树脂组合物而形成的滤色器以及具有该滤色器的液晶显示装置。用于解决问题的方法用于解决上述课题的具体的方法如下所述。<1> 一种着色感光性树脂组合物，其包含含有黑色的色料的着色剂、碱可溶性树脂、具有3个以上聚合性基团的聚合性化合物、聚合引发剂或聚合引发体系、和溶剂，其中，在透明基板上以光学密度成为4. 0的方式形成含有所述着色感光性树脂组合物的感光性树脂层，从与所述感光性树脂层的和所述透明基板对置的面的相反面侧，隔着掩模将所述感光性树脂层进行曝光、显影处理而形成第1图案的线宽为W1，在该第1图案的线宽Wl相对于所述掩模的线宽W2之比W1/W2成为0. 7 1. 5的范围的曝光、显影条件下得到所述第1图案的膜厚为d2 ；以及从所述感光性树脂层的和所述透明基板对置的面侧，隔着掩模和所述透明基板在所述W1/W2成为0. 7 1. 5的范围的曝光、显影条件下将所述感光性树脂层进行曝光、显影处理而得到第2图案的膜厚为dl，dl与d2之比为0. 3以上。<2>如上述<1>所述的着色感光性树脂组合物，其中，在所述W1/W2成为0. 8 1. 2的范围的曝光、显影条件下的所述dl/d2为0. 3 0. 7的范围。<3>如上述<1>或<2>所述的着色感光性树脂组合物，其中，所述着色剂至少含有炭漂。<4>如上述<1> <3>中任一项所述的着色感光性树脂组合物，其中，所述聚合引发剂或聚合引发体系含有至少1种酰基膦氧化物系引发剂。<5>如上述<1> <4>中任一项所述的着色感光性树脂组合物，其中，所述具有3个以上聚合性基团的聚合性化合物为3官能的丙烯酸单体及4官能的丙烯酸单体中的至少1种。<6>—种感光性转印材料，其由上述<1> <5>中任一项所述的着色感光性树脂组合物形成的感光性树脂层设置在临时支撑体上而成。<7> 一种滤色器，其具有基板、和使用上述<1> <5>中任一项所述的着色感光性树脂组合物而形成并且配置在所述基板上的遮光部。<8>如上述<7>所述的滤色器，其中，所述遮光部是使用上述<6>所述的感光性转印材料而形成的。<9>如上述<7>或<8>所述的滤色器，其中，所述遮光部的光学密度为3. 5以上。<10>如上述<7> <9>中任一项所述的滤色器，其中，所述遮光部的膜厚为1. 5微米以上。<11> 一种液晶显示装置，其具有上述<7> <10>中任一项所述的滤色器。根据本发明，可以提供一种显影时的图案形成性良好、且可以形成微细图案的着色感光性树脂组合物及使用该着色感光性树脂组合物而形成的滤色器以及具有该滤色器的液晶显示装置。
具体实施例方式<着色感光性树脂组合物>本发明的着色感光性树脂组合物为包含至少含有黑色的色料的着色剂、碱可溶性树脂、具有3个以上聚合性基团的聚合性化合物、聚合引发剂或聚合引发体系、和溶剂的着色感光性树脂组合物。而且，其为如下的着色感光性树脂组合物在下述规定的曝光、显影条件下，将含有配置在透明基板上的所述着色感光性树脂组合物的感光性树脂层从与所述感光性树脂层的和所述透明基板对置的面的相反面侧，隔着掩模对所述感光性树脂层进行曝光、显影处理而形成第1图案的膜厚为d2 ；和从所述感光性树脂层的和所述透明基板对置的面侧，隔着掩模和所述透明基板对所述感光性树脂层进行曝光、显影处理而得到的第2图案的膜厚为dl，dl与d2之比为0. 3以上。当所述比值dl/d2小于0.3时，有时显影时的图案形成性不充分，不能形成微细图案。另外，在使用例如所述着色感光性树脂组合物形成黑色矩阵(分隔壁)时，有时产生像素缺损。所述规定的曝光、显影条件为以如下方式设定的曝光、显影条件，S卩，在透明基板上使用所述着色感光性树脂组合物以光学密度成为4. 0的方式形成感光性树脂层，从与所述感光性树脂层的和所述透明基板对置的面的相反面侧，隔着掩模对所述感光性树脂层进行曝光、显影处理而形成图案的线宽为W1，该图案的线宽Wl相对于所述掩模的线宽W2的比W1/W2成为0. 7 1. 5的范围。另外，作为在设定规定的曝光、显影条件时使用的所述透明基板，可以使用相对于350nm以上的光的透过率为70%以上的玻璃、合成树脂膜等。在本发明中，所述比值dl/d2为0. 3以上，优选为0. 3 0. 7，而且，在所述比值Wl/W2成为0. 8 1. 2的曝光、显影条件下，比值dl/d2更优选为0. 3 0. 7。通过所述比值W1/W2及比值dl/d2为所述的范围，由此显影时的图案形成性进一步提高，可以形成微细图案，更有效地抑制图案形成时的像素缺损的发生。通常，将在透明基板上形成的感光性树脂层从与和透明基板对置的面的相反面侧隔着掩模进行曝光、显影而得到的第1图案的膜厚为d2为某种曝光量以上且大致为一定，与形成感光性树脂层时的设定膜厚大致相等。另一方面，从与透明基板对置的面侧隔着掩模和透明基板对在透明基板上形成的感光性树脂层进行曝光、显影而得到的第2图案的膜厚为dl，其由曝光量引起的变动大，曝光量小时，dl小，在曝光量大时，dl变大。特别是在用光学密度成为4. 0那样的遮蔽性高的材料形成感光性树脂层的情况下，曝光光源的发光波长区域下的遮蔽能力也高，因此，在相同的曝光、显影条件下进行处理时，dl与d2相比为小的值。另一方面，通过使形成图案时的曝光量大于规定的曝光量，以d2为大致一定的值、且dl因曝光量而变大，因此，本发明中规定的dl/d2也变大。此时，不仅进行厚度方向的固化，而且也进行宽度方向的固化，因此，在这样的曝光条件下，图案的线宽Wl变大。其结果，从与感光性组合物的和透明基板对置的面的相反面侧隔着掩模进行曝光、显影而形成图案之后的、图案的线宽Wl和掩模线宽W2之比W1/W2大于1.5，不能得到所期望的图案。另外，图案的线宽Wl不仅受掩模线宽W2及曝光量影响，而且也受显影条件的影响，通过缓和显影条件，使Wl变大，另外，通过强化显影条件，也可以使Wl变小。但是，除调整的幅度小之外，对图案周边的残渣及所得的图案的缺损、形状的影响大。因此，仅使显影条件变化、实现所期望的W1/W2及dl/d2困难。另一方面，通过调整着色感光性树脂组合物中的原材料浓度(具体而言，例如提高引发剂浓度等)，可以使dl/d2增大。但是，上述同样地存在Wl增大的倾向，除此之外，图案形成后的烘焙时的膜收缩大，容易产生基板污染。因此，仅调整着色感光性树脂组合物中的原材料浓度，实现所期望的W1/W2及dl/d2困难。在本发明中，图案的线宽Wl和掩模线宽W2之比W1/W2在规定的范围时，优选比值dl/d2大于规定的值。因此，规定比值W1/W2成为0. 7 1. 5的范围的曝光、显影条件，此时，从与透明基板侧的相反面侧隔着掩模进行曝光之后进行显影而得到的第1图案的膜厚为d2，从透明基板侧隔着掩模曝光之后进行显影而得到的第2图案的膜厚为dl，使相对于第1图案的膜厚d2的第2图案的膜厚dl之比dl/d2为规定的范围的方式调整着色感光性树脂组合物的成分，由此构成显影时的图案形成性良好、可以形成微细图案的着色感光性树脂组合物。(着色剂)本发明的着色固化性组合物含有至少1种着色剂。作为用于本发明的着色剂，可以优选使用公知的着色剂(有机颜料、无机颜料、染料等)。具体而言，可以优选使用日本特开2005-17716号公报的段落编号W038] W054]中记载的颜料及染料、日本特开2004-361447号公报的段落编号W068] W072]中记载的颜料、日本特开2005-17521号公报的段落编号W080] W088]中记载的着色剂等。在本发明中，从光学密度的观点考虑，优选含有黑色着色剂。作为黑色着色剂，可列举例如炭黑、钛黑、氧化鉄、氧化钛、石墨等，其中，优选炭黑。另外，在本发明中，除黑色着色剂之外，可以使用红、蓝、绿色等颜料的混合物等。上述着色剂(优选颜料、更优选炭黑)优选作为分散液使用。该分散液可以通过将预先混合所述着色剂和颜料分散剂而得到的组合物添加在后述的有机溶剂(或载色剂)并使其分散来制备。所述载色剂是指在涂料处于液体状态时使颜料分散的介质的部分，包含为液状且与所述颜料键合而形成涂膜的成分(粘合剂)和将其进行溶解稀释的成分(有机溶剂)。作为使所述颜料分散时使用的分散机，没有特别限制，可列举例如朝仓邦造著、《颜料的事典(颜料O事典)》、第一版、朝仓书店、2000年，438项中所记载的捏合机、辊磨机、立式球磨机(attritor)、超级球磨机、高速分散机、均质器、混砂机等公知的分散机。而且，通过该文献310页记载的机械的磨碎，可以利用摩擦力进行微粉碎。从分散稳定性的观点考虑，本发明中使用的着色剂优选数均粒径0. 001 0. 1 μ m的着色剂，进一步优选0.01 0.08 μ m的着色剂。另外，在此所说的“粒径”是指将粒子的电子显微镜照片图像制成相同面积的圆时的直径，另外，“数均粒径”是指对多数的粒子求出上述的粒径、取其100个的平均值。作为本发明中的着色感光性树脂组合物的总固体成分中的着色剂的含有率，没有特别限制，从充分地缩短显影时间的观点考虑，优选为15 70质量％，更优选为20 60质量％，进一步优选为25 50质量％。另外，本说明书中所说的总固体成分是指从着色感光性树脂组合物除去了溶剂的不挥发性成分的总量。(碱可溶性树脂)本发明的着色感光性树脂组合物优选含有碱可溶性树脂的至少1种。由此，碱显影性更良好。作为本发明中的碱可溶性树脂(以下，有时简称为“粘合剂”)，优选主链或侧链上具有羧酸基或羧酸盐基等极性基团的聚合物。作为其实例，可以列举日本特开昭59-44615号公报、日本特公昭M-34327号公报、日本特公昭58-12577号公报、日本特公昭54-25957号公报、日本特开昭59-53836号公报及日本特开昭59-71048号公报中所记载的那样的甲基丙烯酸共聚物、丙烯酸共聚物、衣康酸共聚物、丁烯酸共聚物、马来酸共聚物、部分酯化马来酸共聚物等。另外，也可以列举侧链上具有羧酸基的纤维素衍生物，另外，除此以外，也可以优选使用在具有羟基的聚合物上加成有环状酸酐而得到的物质。另外，作为特别优选的实例，可以列举美国专利第4139391号说明书中记载的(甲基)丙烯酸苄酯和(甲基)丙烯酸的共聚物、(甲基)丙烯酸苄酯和(甲基)丙烯酸和其它单体的多元共聚物。这些具有极性基团的粘合剂聚合物可以单独使用，或者可以在与通常的膜形成性的聚合物并用的组合物的状态下使用，相对于着色感光性树脂组合物的总固体成分的含量一般为20 50质量％，优选为25 45质量％。(聚合性化合物)本发明的着色感光性树脂组合物含有具有3个以上聚合性基团的聚合性化合物(以下，有时简称为“聚合性化合物”)中的至少1种。就所述聚合性化合物而言，只要是具有3个以上聚合性基团的化合物，就可以没有特别限制地使用通常所使用的聚合性化合物，优选为具有3 6个聚合性基团的化合物。其中，优选为具有3个以上烯属不饱和双键且沸点在常压下为100°C以上的化合物、并且通过光的照射进行加成聚合的单体或低聚物。作为这样的单体及低聚物，可以列举三羟甲基乙烷三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(丙烯酰氧基丙基)醚、三(丙烯酰氧基乙基)异氰酸酯、三(丙烯酰氧基乙基)氰酸酯、甘油三(甲基)丙烯酸酯；在三羟甲基丙烷或甘油等多官能醇上加成有环氧乙烷或环氧丙烷之后进行(甲基)丙烯酸酯化的物质等多官能丙烯酸酯或多官能甲基丙烯酸酯。另外，日本特公昭53-11314号公报中作为通式(1)及(2)所记载的在多官能醇上加成有环氧乙烷或环氧丙烷之后进行(甲基)丙烯酸酯化得到的化合物也作为优选的物质列举。还可以列举日本特公昭48-41708号公报、日本特公昭50-6034号公报中所记载的具有3个以上聚合性基团的聚氨酯丙烯酸酯类；日本特公昭53-24989号公报及日本特公昭52-30490号公报中所记载的聚酯丙烯酸酯类；作为环氧树脂和(甲基)丙烯酸的反应生成物的环氧丙烯酸酯类等多官能丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯。其中，优选三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、三(2-丙烯酰氧基乙基)异氰酸酯。此外，日本特开平11-133600号公报中记载的“3官能以上的(甲基)丙烯酸酯”也可以作为优选的物质列举。作为所述单体或低聚物，优选分子量200 1000的物质。在这些优选的化合物中，优选含有3 6官能的丙烯酸酯单体中的至少1种，更优选含有3官能或4官能的丙烯酸酯单体中的至少1种。具体而言，优选含有选自例如三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯及二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯中的至少1种，更优选含有选自三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯及季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯中的至少1种。这些单体或低聚物可以单独使用1种，也可以混合使用2种以上。另外，可以进一步并用具有1个聚合性基团的聚合性化合物及具有2个聚合性基团的聚合性化合物中的至少1种。相对于本发明的着色感光性树脂组合物的总固体成分，具有3个以上聚合性基团的聚合性化合物的含量通常为5 80质量％，优选为5 50质量％，更优选为10 40质量％。当其为所述优选的范围内时，更容易控制显影性。而且，所述含量为5质量％以上时，组合物的曝光部中的对碱显影液的耐性更良好。进而，当其为80质量％以下时，抑制作成着色感光性树脂组合物时的胶粘性的增加，操作性更良好。(聚合引发剂或聚合引发体系)本发明的着色感光性树脂组合物含有聚合引发剂及聚合引发体系中的至少1种。作为用于所述本发明的聚合引发剂及聚合引发体系，可以为使用热聚合引发剂的热聚合引发体系及使用光聚合引发剂的光聚合引发体系中的任一种，在本发明中，从固化后的图案形状的观点考虑，优选采用使用光聚合引发剂的光聚合引发体系。在此使用的光聚合引发剂为通过可见光线、紫外线、远紫外线、电子线、X射线等辐射线的照射(也称为曝光)、可以产生引发上述的具有3个以上聚合性基团的聚合性化合物的聚合的活性源的化合物，可以从公知的光聚合引发剂或光聚合引发体系中适当选择。具体而言，可以列举例如含三卤甲基的化合物、吖啶系化合物、苯乙酮系化合物、联咪唑系化合物、苯偶姻系化合物、二苯甲酮系化合物、α-二酮系化合物、多核醌系化合物、咕吨酮系化合物、重氮系化合物、酰基膦氧化物系化合物、茂钛系化合物、肟酯系化合物等。上述中，优选含有选自含三卤甲基的化合物、吖啶系化合物、苯乙酮系化合物、联咪唑系化合物、酰基膦氧化物系化合物及肟酯系化合物中的至少1种，更优选含有选自含三卤甲基的化合物及酰基膦氧化物系化合物中的至少1种，进一步优选含有选自酰基膦氧化物系化合物中的至少1种。含三卤甲基的化合物及酰基膦氧化物系化合物在具有通用性且为廉价方面也是有用的。作为含三卤甲基的化合物及酰基膦氧化物系化合物，具体列举日本特开2001-117230公报中记载的代替有三卤甲基的三卤甲基噁唑衍生物或s_三嗪衍生物、美国专利第4239850号说明书中记载的三卤甲基-S-三嗪化合物、美国专利第421四76号说明书中记载的三卤甲基噁二唑化合物等含三卤甲基的化合物；日本特开昭55-13794号公报、日本特开昭55-1M71号公报等中记载的酰基膦氧化物化合物。作为特别优选的化合物，作为含三卤甲基的化合物，可列举2-三氯甲基-5-(对苯乙烯基苯乙烯基)-1，3，4_噁二唑、2，4_双(三氯甲基)-6-[4，- (N, N-双(乙氧基羰基甲基)氨基_3，-溴苯基)-S-三嗪，作为酰基膦氧化物系化合物，可列举2，4，6_三甲基苯甲酰基-二苯基膦氧化物、双(2，4，6-三甲基苯甲酰基)-苯基膦氧化物等。所述聚合引发剂或聚合引发体系既可以单独使用1种，也可以并用2种以上。作为所述聚合弓I发剂或聚合弓I发体系的着色感光性树脂组合物中的总含有率，优选着色感光性树脂组合物的总固体成分(质量)的0. 1 20质量％，特别优选0. 5 10质量％。所述总含有率为0. 1质量％以上时，组合物的光固化的效率升高，可以缩短曝光时间。另外，当其为20质量％以下时，在显影时可以抑制所形成的图像图案的缺损或图案表面的龟裂的产生。所述聚合引发剂可以并用氢供给体。作为该氢供给体，在可以使灵敏度更良化方面考虑，优选以下定义的硫醇系化合物、胺系化合物等。在此的“氢供给体”是指可以对通过曝光从所述光聚合引发剂产生的自由基供给氢原子的化合物。所述硫醇系化合物为以苯环或杂环为母核、具有直接键合于该母核的巯基1个以上、优选1 3个、进一步优选1 2个的化合物(以下，称为“硫醇系氢供给体”)。另外，所述胺系化合物为以苯环或杂环为母核、具有直接键合于该母核的氨基1个以上、优选1 3个、进一步优选1 2个的化合物(以下，称为“胺系氢供给体”)。另外，这些氢供给体可以同时具有巯基和氨基。作为上述的硫醇系氢供给体的具体例，可列举2-巯基苯并噻唑、2-巯基苯并噁唑、2-巯基苯并咪唑、2，5- 二巯基-1，3，4-噻二唑等。其中，优选2-巯基苯并噻唑、2-巯基苯并噁唑，特别优选2-巯基苯并噻唑。作为上述的胺系氢供给体的具体例，可列举4，4’ -双(二甲基氨基)二苯甲酮、4，4’_双(二乙基氨基)二苯甲酮、4-二乙基氨基苯乙酮、4-二甲基氨基苯丙酮、乙基-4-二甲基氨基苯甲酸酯、4-二甲基氨基安息香酸、4-二甲基氨基苯腈等。其中，优选4，4’ -双(二甲基氨基)二苯甲酮、4，4’_双(二乙基氨基)二苯甲酮，特别优选4，4’_双(二乙基氨基)二苯甲酮。所述氢供给体可以单独使用1种或混合使用2种以上。从所形成的图像在显影时不易从永久支撑体上脱落且强度及灵敏度也可以提高方面考虑，优选组合使用1种以上的硫醇系氢供给体和1种以上的胺系氢供给体。作为所述硫醇系氢供给体和胺系氢供给体的组合的具体例，可列举2-巯基苯并噻唑/4，4’ -双(二甲基氨基)二苯甲酮、2-巯基苯并噻唑/4，4’ -双(二乙基氨基)二苯甲酮、2-巯基苯并噁唑/4，4’_双(二甲基氨基)二苯甲酮、2-巯基苯并噁唑/4，4’_双(二乙基氨基)二苯甲酮等。更优选的组合为2-巯基苯并噻唑/4，4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮、2-巯基苯并噁唑/4，4’ -双(二乙基氨基)二苯甲酮，特别优选的组合为2-巯基苯并噻唑/4，4’ -双(二乙基氨基)二苯甲酮。组合有所述硫醇系氢供给体和胺系氢供给体的情况的硫醇系氢供给体(M)和胺系氢供给体(A)的质量比(M A)通常优选1 1 1 4，更优选1 1 1 3。另外，作为所述氢供给体的着色感光性树脂组合物中的总量，优选着色感光性树脂组合物的总固体成分(质量)的0. 1 20质量％，特别优选0. 5 10质量％。(溶剂)本发明的着色感光性树脂组合物含有至少1种溶剂。作为所述溶剂，可以没有特别限制地使用通常所使用的溶剂。具体列举例如酯类、醚类、酮类、芳香族烃类等。另外，与US2005/^82073A1号说明书的段落编号W054]
中记载的Solvent同样的甲基乙基酮、丙二醇单甲醚、丙二醇单甲醚醋酸酯、环己酮、环己醇、甲基异丁酮、乳酸乙酯及乳酸甲酯等也可以在本发明中优选使用。这些溶剂中，优选使用3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙基溶纤剂醋酸酯、乳酸乙酯、醋酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、2-庚酮、环己酮、二乙二醇单乙醚醋酸酯(乙基卡必醇醋酸酯)、二乙二醇单丁醚醋酸酯(丁基卡必醇醋酸酯)、丙二醇甲醚醋酸酯及甲基乙基酮等作为本发明中的溶剂。这些溶剂可以单独使用1种，或者可以组合使用2种以上。另外，在本发明中，可以根据需要使用沸点为180°C 250°C的有机溶剂。作为这
9些高沸点溶剂，可列举二乙二醇单丁醚、二乙二醇单乙醚醋酸酯、二乙二醇单乙醚、3，5，5-三甲基-2-环己烯-1-酮、二丙二醇单甲醚醋酸酯、丙二醇二醋酸酯、丙二醇-正丙基醚醋酸酯、二乙二醇二乙醚、2-乙基己基醋酸酯、3-甲氧基-3-甲基丁基醋酸酯、Y-丁内酯、三丙二醇甲基乙基醋酸酯、二丙二醇-正丁基醋酸酯、丙二醇苯基醚醋酸酯、1，3_ 丁二醇二醋酸酯等。相对于着色感光性树脂组合物总量，本发明的着色感光性树脂组合物中的溶剂的含量，优选10 95质量％，更优选15 90质量％力5，特别优选20 85质量％。通过设定为所述溶剂的含量的范围，在可以稳定地涂布感光性组合物方面优选。本发明的着色感光性树脂组合物除上述的着色剂、碱可溶性树脂、具有3个以上聚合性基团的聚合性化合物、聚合引发剂或聚合引发体系、溶剂之外，可以根据需要更含有公知的添加剂、例如增塑剂、填充剂、稳定化剂、阻聚剂、表面活性剂、密合促进剂等。另外，所述着色感光性树脂组合物优选在至少150°C以下的温度下进行软化或变成粘合性，更优选为热塑性。从所述的观点考虑，优选进一步含有相容性良好的增塑剂。作为本发明的着色感光性树脂组合物，优选包含作为着色剂的炭黑20 60质量％、作为聚合性化合物的含有3个以上(甲基)丙烯酸酯基的化合物10 40质量％、和作为聚合引发剂的含三卤甲基的化合物或酰基膦氧化物系化合物0. 1 20质量％，更优选包含作为着色剂的炭黑25 50质量％、10 40质量％的作为聚合性化合物的选自季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯及三羟甲基丙烷三丙烯酸酯中的至少1种、和作为聚合引发剂的含三卤甲基的化合物或酰基膦氧化物系化合物0. 5 10质量％。本发明的着色感光性树脂组合物优选用于形成构成滤色器的图案。其中，适于形成构成滤色器的分隔壁(遮光部、黑色矩阵)。〈滤色器〉本发明的滤色器具有基板(以下，有时称为“永久支撑体”)和使用所述着色感光性树脂组合物而形成的配置在所述基板上的遮光部。在本发明中，就所述遮光部而言，其光学密度优选为3. 5以上，更优选为4. 0以上。另外，就所述遮光部而言，其膜厚优选为1. 5 μ m以上，更优选为1.7 2.5μπι。通过具有所述的遮光部，可以构成具有良好的特性的滤色
ο在本发明中，所述遮光部构成例如滤色器的分隔壁。(分隔壁)用喷墨法制作RGB像素的滤色器制造中的滤色器各像素的分隔壁优选使用所述着色感光性树脂组合物形成。分隔壁是对2个以上的像素组进行分隔的构件，一般大多为黑色，但并不限定于黑色。分隔壁优选通过将使用所述着色感光性树脂组合物形成的感光性树脂层在缺氧氛围下进行曝光、其后进行显影来形成。对感光性树脂层的形成方法没有特别限制，可以在基板上涂布所述着色感光性树脂组合物而形成，还可以使用后述的感光性转印材料而形成。作为涂布所述着色感光性树脂组合物的方法，可以没有特别限制地使用通常所使用的涂布方法。例如，可以使用具有狭缝喷嘴的涂布装置或旋涂机形成感光性树脂层。另外，将使用所述着色感光性树脂组合物形成的感光性树脂层进行光固化时的缺氧氛围下是指惰性气体下、减压下及能够阻断氧的保护层下，这些情况详细而言如下所述。所述惰性气体是指N2、H2、CO2等一般的气体或He、Ne、Ar等稀有气体类。其中，从安全性或得到的容易程度、成本的问题方面考虑，优选利用N2。所述减压下是指500证￡1以下、优选lOOhl^a以下的状态。另外，所述能够阻断氧的保护层可列举例如日本特开昭46-2121号或日本特公昭56-408M号的各公报中记载的、含有聚乙烯基醚/马来酸酐聚合物、羧基烷基纤维素的水溶性盐、水溶性纤维素醚类、羧基烷基淀粉的水溶性盐、聚乙烯醇、聚乙烯基吡咯烷酮、各种聚丙烯酰胺类、各种水溶性聚酰胺、聚丙烯酸的水溶性盐、明胶、环氧乙烷聚合物、由各种淀粉及其类似物构成的组中的水溶性盐、苯乙烯/马来酸的共聚物、马来酸酯树脂及组合这些物质的2种以上等的树脂层。其中，特别优选聚乙烯醇和聚乙烯基吡咯烷酮的组合。进一步优选聚乙烯醇的皂化率为80%以上，聚乙烯基吡咯烷酮的含量优选树脂层固体成分的1 75质量％，更优选1 50质量％，进一步优选为10 40质量％。另外，作为能够阻断氧的保护层，也可以使用各种薄膜。例如，也可以优选使用以PET为代表的聚酯类、以尼龙为代表的聚酰胺类、乙烯-醋酸乙烯酯共聚物(EVA类)。这些薄膜可以根据需要进行拉伸，厚度为5 300 μ m是适合的，优选为20 150 μ m。另外，使用下述感光性转印材料制作分隔壁时，也可以适当使用在下述记载的设置在临时支撑体上的能够阻断氧的层。这样制作的能够阻断氧的保护层的氧透过系数优选2000cm3/(m2 · day · atm)以下，更优选为IOOcm3/(m2 · day · atm)以下，最优选为50cm3/(m2 · day · atm)以下。氧透过率大于2000cm3/(m2 May -atm)时，不能有效地阻断氧，因此，有时难以控制分隔壁的形状。(感光性转印材料)作为容易且以低成本实现所述分隔壁的方法，有如下方法将在临时支撑体上至少依次具有氧阻断层和由着色感光性树脂组合物构成的层的感光性转印材料转印于永久支撑体上，依次形成永久支撑体、由着色感光性树脂组合物构成的层、氧阻断层而使用的方法。使用这种材料的情况下，由着色感光性树脂组合物构成的层被氧阻断层保护，因此，自动地成为缺氧氛围下。因此，具有如下优点不需要在惰性气体下或减压下进行曝光工序，所以可以直接利用现有的工序。另外，也可以将在临时支撑体上至少具有由着色感光性树脂组合物构成的层的感光性转印材料转印于永久支撑体上，依次形成永久支撑体、由着色感光性树脂组合物构成的层、临时支撑体，并将该临时支撑体用作“能够阻断氧的保护层”。此时，不需要设置上述氧阻断层，可以减少工序数。上述感光性转印材料可以根据需要具有热塑性树脂层。所述的热塑性树脂层为碱可溶性且至少含有树脂成分而构成。该树脂成分优选为实质的软化点为80°C以下的碱可溶性的热塑性树脂。通过设置这样的热塑性树脂层，可以在后述的分隔壁形成方法中发挥与永久支撑体的良好的密合性。作为软化点为80°C以下的碱可溶性的热塑性树脂，可列举乙烯和丙烯酸酯共聚物的皂化物、苯乙烯和(甲基)丙烯酸酯共聚物的皂化物、乙烯基甲苯和(甲基)丙烯酸酯共聚物的皂化物、聚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸丁酯和醋酸乙烯酯等(甲基)丙烯酸酯共聚物等的皂化物等。
就热塑性树脂层而言，可以适当选择使用上述热塑性树脂中的至少1种，还可以使用基于《塑料性能便览》(日本塑料工业联盟、全日本塑料成形工业联合会编著、工业调查会发行、1968年10月25日发行)的在软化点约为80°C以下的有机高分子中的可溶于碱水溶液的热塑性树脂。另外，关于软化点为80°C以上的有机高分子物质，通过在该有机高分子物质中添加与该高分子物质具有相容性的各种增塑剂，也可以将实质的软化点下降到80°C以下来使用。另外，为了调节与临时支撑体的粘接力，也可以在这些有机高分子物质中，在实质的软化点不超过80°C的范围内添加各种聚合物或过冷却物质、密合改良剂或表面活性剂、脱模剂等。作为优选的增塑剂的具体例，可以列举聚丙二醇、聚乙二醇、邻苯二甲酸二辛酯、邻苯二甲酸二庚酯、邻苯二甲酸二丁酯、磷酸三甲苯酯、磷酸甲苯二苯酯、磷酸联苯二苯酯。作为上述感光性转印材料中的临时支撑体，可以从化学稳定及热稳定的且由挠性的物质构成的临时支撑体中适当选择。具体而言，优选TEFLON(注册商标)、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚乙烯、聚丙烯、聚酯等薄的片材或它们的层压体。作为所述临时支撑体的厚度，适合为5 300 μ m,优选为20 150 μ m。该厚度小于5 μ m时，在剥离临时支撑体时有容易破裂的倾向，另外，隔着临时支撑体进行曝光的情况下，超过300 μ m时，分辨率有降低的倾向。在上述具体例中，特别优选双轴拉伸聚对苯二甲酸乙二醇酯膜。(基板)作为构成本发明的滤色器的基板(永久支撑体)，可以使用金属性支撑体、金属胶粘支撑体、玻璃、陶瓷、合成树脂薄膜等。特别优选列举为透明性且尺寸稳定性良好的玻璃或合成树脂薄膜。(分隔壁形成方法)以下，对使用所述感光性转印材料在基板上形成分隔壁时的一例进行说明。准备在临时支撑体上设有氧阻断层、着色感光性组合物层、进而在该着色感光性组合物层上设有覆盖用片材的感光性转印材料。首先，剥离除去覆盖用片材之后，将露出的着色感光性组合物层的表面贴合在永久支撑体(基板)上，通过层压机等进行加热、加压并进行层叠(层叠体)。就层压机而言，可以使用从现有公知的层压机、真空层压机等中适当选择的层压机，为了进一步提高生产率，也可以使用自动切割层压机。然后，在临时支撑体和氧阻断层之间进行剥离，除去临时支撑体。接着，在除去临时支撑体后的除去面的上方，在垂直地立起所期望的光掩模(例如石英曝光掩模)的状态下，适当地设定曝光掩模面和该氧阻断层之间的距离(例如200 μ m)，并进行曝光。接着，曝光后，使用规定的处理液进行显影处理，得到图案形成图像，继续根据需要进行水洗处理，得到分隔壁。另外，使用临时支撑体作为能够阻断氧的保护层的情况，在残留临时支撑体(不剥离)的状态，且在该临时支撑体的上方垂直地立起所期望的光掩模(例如石英曝光掩模)的状态下，适当地设定曝光掩模面和该临时支撑体之间的距离(例如200 μ m)，并进行曝光。
接着，除去临时支撑体，使用规定的处理液进行显影处理，得到图案形成图像，继续根据需要进行水洗处理，得到分隔壁。作为用于光照射(曝光)的光源，可列举中压 超高压水银灯、氙灯、金属卤化物灯等。具体而言，用例如具有超高压水银灯的接近式曝光机(例如日立高新技术电子工程株式会社制)等进行，作为曝光量，可以适当选择(例如300mJ/cm2)。在本发明中，优选使用所述着色感光性树脂组合物形成膜厚1. 5 2. 5 μ m的感光性树脂层，用具有超高压水银灯的接近式曝光机，在缺氧氛围下，以40 300mJ/cm2进行曝光处理，更优选形成膜厚1. 7 2. 5μπι的感光性树脂层，用具有超高压水银灯的接近式曝光机，在缺氧氛围下，以50 150mJ/cm2进行曝光处理。曝光后，使用规定的处理液(显影液)进行显影处理。作为用于显影处理的显影液，虽然可以使用碱性物质的稀水溶液，但也可以是进一步少量添加有与水具有混和性的有机溶剂的显影液。另外，在所述显影之前，优选用喷淋喷嘴等喷雾纯水，使该着色感光性组合物层的表面均勻地润湿。作为处理液中所含的碱性物质，可列举碱金属氢氧化物类(例如氢氧化钠、氢氧化钾)、碱金属碳酸盐类(例如碳酸钠、碳酸钾)、碱金属碳酸氢盐类(例如碳酸氢钠、碳酸氢钾)、碱金属硅酸盐类(例如硅酸钠、硅酸钾)、碱金属偏硅酸盐类(例如偏硅酸钠、偏硅酸钾)、三乙醇胺、二乙醇胺、单乙醇胺、吗啉、四烷基氢氧化铵类(例如四甲基氢氧化铵)、
磷酸三钠等。碱性物质的浓度优选0. 01 30质量％，pH优选8 14。作为所述“与水具有混和性的有机溶剂”，优选列举例如甲醇、乙醇、2-丙醇、1-丙醇、丁醇、二丙酮醇、乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单正丁醚、苄醇、丙酮、甲基乙基酮、环己酮、ε-己内酯、Y-丁内酯、二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、六甲基磷酰胺、乳酸乙酯、乳酸甲酯、ε -己内酰胺、N-甲基吡咯烷酮等。处理液中的与水具有混和性的有机溶剂的浓度优选0. 1 30质量％。而且，也可以在处理液中添加公知的表面活性剂，作为该表面活性剂的浓度，优选0. 01 10质量％。所述显影液作成浴液，或者作成喷雾液都可以使用。除去感光性树脂层的未固化部分时，可以组合在显影液中用旋转刷或润湿海绵进行擦拭等的方法。另外，显影液的液体温度通常优选室温附近至40°C。就显影时间而言，依赖于感光性树脂层的组成、显影液的碱性或温度，在添加有机溶剂的情况下，依赖于其种类和浓度等，通常为10秒 2分钟左右。当其过短时，有时非曝光部的显影不充分，当其过长时，有时曝光部也被蚀刻。无论在任一种情况下，将分隔壁形状做成适合的形状都困难。也可以在显影处理之后进入水洗工序。(后固化工序)在本发明中，优选如上述那样形成分隔壁之后，进行进一步将分隔壁的形状固定化的后固化处理。作为将分隔壁的形状固定化的方法，没有特别限定，可列举如下的方法。
1)显影处理后，进行再曝光(以下，有时称为“后曝光”)。2)显影后，在比较低的温度下进行加热处理(以下，有时称为“后烘焙”)。在本发明中，优选进行后曝光及后烘焙的至少一方，更优选依次进行两者。在此，在进行所述后曝光的情况下，就其曝光量而言，只要为大气下，则为500 8000mJ/cm2，优选为1000 5000mJ/cm2，在为缺氧氛围下的情况下，也可以以比其低的曝光量进行曝光。另外，所述后曝光既可以从与所述感光性树脂层的和所述透明基板对置的面的相反面侧进行，也可以从所述感光性树脂层的和所述透明基板对置的面侧进行，还可以进一步从两面进行。另外，所述加热处理是指将形成有分隔壁的基板在电气炉、干燥器等中进行加热、或照射红外线灯。就加热温度而言，优选在120 250°C下加热10分钟 120分钟。可以通过将温度设定为120°C以上而有效地进行分隔壁的固化，并赋予充分的耐溶剂性、耐碱性。(防水处理)在本发明中，优选通过对如上述那样形成的分隔壁实施防水处理而设定为该分隔壁的至少一部分带有防水性的状态。由此，在其后用喷墨等对该分隔壁间赋予着色液体组合物的液滴时，可以抑制油墨越过该分隔壁而与相邻的颜色混色等不良状况。作为防水处理，可列举在分隔壁上面涂布防水材料的方法、重新设置防水层的方法、利用等离子体处理赋予防水性的方法、将防水性物质掺入分隔壁的方法、利用光催化剂赋予防水性的方法等。在该防水处理之前或之后，为了提高支撑体上的黑色矩阵开口部中的油墨的湿润扩展性，可以实施氧灰化(ashing)等亲油墨处理。另外，关于防水处理的详细情况，可以在本发明中也优选应用日本特开2006-154804号公报等中记载的事项。(像素的形成)接着，相对于由上述显影工序形成的分隔壁间的凹部，赋予用于形成RGB各像素的着色液体组合物。作为对分隔壁空隙赋予着色液体组合物的方法，可以使用喷墨法或stripe GUsser涂布法等公知的方法，从生产率方面考虑，优选喷墨法。关于喷墨法，进行后述。对分隔壁间的凹部赋予着色液体组合物形成着色层。该着色层成为构成滤色器的黄色(Y)、红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)等着色像素。就着色层的形成而言，可以对被如已述那样在基板上形成的分隔壁包围的凹部赋予用于形成着色像素(例如YRGB四色的像素图案)的喷墨油墨、以由二色以上的多个像素构成的方式形成。关于滤色器图案的形状，没有特别限定，可以为作为黑色矩阵形状的一般的条纹状，也可以为格子状，还可以为三角型排列状。所述着色液体组合物可以利用使着色液体组合物进行热固化或光固化的方法、预先在基板上形成透明的显影层后赋予着色液体组合物的方法等公知的方法作成着色层。在本发明中，优选设置对分隔壁间的凹部赋予着色液体组合物而形成各像素之后进行加热处理(所谓的烘焙处理)的加热工序。即，将赋予有着色液体组合物的基板在电气炉、干燥器等中进行加热、或用红外线灯照射红外线。加热的温度及时间依赖于着色液体组合物的组成及所形成的层的厚度，一般而言，从获得充分的耐溶剂性、耐碱性及紫外线吸光度的观点考虑，优选在约120°C 约250°C下加热约10分钟 约120分钟。(喷墨法)作为用于本发明的喷墨法，可以采用连续地喷射带电的油墨且由电场进行控制的方法、使用压电元件间歇地喷射油墨的方法、将油墨进行加热且利用其发泡间歇地喷射的方法等各种方法。就使用的油墨而言，无论是油性、水性，都可以使用。另外，该油墨中所含的着色料可以与染料、颜料同时使用，从耐久性方面考虑，更优选使用颜料。另外，也可以使用用于公知的滤色器制作的涂布方式的着色油墨(着色树脂组合物、例如记载于日本特开2005-3861号公报

)或日本特开平10-195358号公报W009] W026]中记载的喷墨用组合物。考虑着色后的工序，也可以在本发明中的油墨中添加通过加热进行固化的或利用紫外线等能量射线进行固化的成分。作为通过加热进行固化的成分，可以没有特别限制地使用各种热固化性树脂。在本发明中，除热固化性树脂之外，也可以使用至少含有粘合剂及2官能或3官能的含环氧基单体的滤色器用热固化性油墨作为优选的物质。另外，作为利用能量射线进行固化的成分，可以例示例如在丙烯酸酯衍生物或甲基丙烯酸酯衍生物中添加有光反应引发剂的物质。特别是考虑耐热性，更优选分子内具有多个丙烯酰基、甲基丙烯酰基的物质。这些丙烯酸酯衍生物、甲基丙烯酸酯衍生物可以优选使用水溶性的物质。另外，即使为在水中难溶性的物质，也可以进行乳胶化等而使用。此时，可以将含有在上述着色感光性树脂组合物的项中列举的颜料等着色剂的着色感光性树脂组合物用作优选的物质。本发明中的滤色器优选为以喷墨方式形成像素的滤色器，优选赋予RGB三色的油墨而形成三色的滤色器。该滤色器与液晶显示元件、电泳显示元件、电致发光显示元件、PLZT等组合作为显示元件使用。另外，也可以用于使用彩色照相机或其它滤色器的用途中。(覆盖层)滤色器的制作后，为了在滤色器的整个面上提高耐性，还可以设置覆盖层。覆盖层虽然可以保护各像素(例如、R、G、B)的固化层，同时使表面为平坦，但从工序数增加的观点考虑，优选不设置。作为形成覆盖层的树脂(0C剂)，可列举丙烯酸系树脂组合物、环氧树脂组合物、聚酰亚胺树脂组合物等。其中，由于可见光区域内的透明性优异，另外滤色器用光固化性组合物的树脂成分通常以丙烯酸系树脂为主要成分、且密合性优异，所以优选丙烯酸系树脂组合物。作为覆盖层的实例，可列举日本特开2003487618号公报的段落编号0018 00 中记载的覆盖层、作为覆盖剂的市售品、JSR社制“才卜7 — SS6699G”)。[显示装置]作为本发明的显示装置，是指液晶显示装置、等离子体显示器显示装置、EL显示装置、CRT显示装置等显示装置等。显示装置的定义及各显示装置的说明记载于例如“电子显示器设备(佐々木昭夫著、(株)工业调查会1990年发行)”、“显示器设备(伊吹顺章著、产业图书(株)平成元年发行)”等。本发明的显示装置中，特别优选液晶显示装置。关于液晶显示装置，记载于例如“下一代液晶显示器技术(内田龙男编集、(株)工业调查会1994年发行)”。对于可以应用本发明的液晶显示装置没有特别限制，可以应用于例如上述的“下一代液晶显示器技术”中所记载的各种方式的液晶显示装置。其中，本发明尤其是对彩色TFT方式的液晶显示装置是有效的。关于彩色TFT方式的液晶显示装置，记载于例如“彩色TFT液晶显示器(共立出版(株)1996年发行)”。而且，本发明当然也可以应用于IPS等横电场驱动方式、MVA等像素分割方式等视场角进行了放大的液晶显示装置中。关于这些方式，例如记载于“EL、PDP、LCD显示器-技术和市场的最新动向-(Toray研究中心调查研究部门2001年发行)，，的43页中。除滤色器之外，液晶显示装置由电极基板、偏振膜、相位差膜、背光灯、隔板、视场角保障膜等各种构件构成。本发明的滤色器可以应用于由这些公知的构件构成的液晶显示装置中。关于这些构件，例如记载于“’ 94液晶显示器周边材料、化学的市场(岛健太郎(株)CMC 1994年发行)”、“2003液晶相关市场的现状和将来展望(下卷)(表良吉(株)富士凯美莱综研2003年发行)”。[对象用途]本发明的滤色器可以没有特别限制地应用于电视机、笔记本电脑、液晶投影仪、游戏机、便携电话等便携末端、数字照相机、导航系统等用途中。日本申请2009-2M959号的公开将其全部引用于本说明书中。就本说明书中所记载的全部的文献、专利申请及技术规格而言，各个文献、专利申请及技术规格通过参照被引入，与具体的且各记载的情况同程度地，通过参照被引入到本说明书中。实施例以下，列举实施例进一步具体地说明本发明。以下的实施例中所示的材料、试剂、比例、设备、操作等，只要不脱离本发明的精神，可以适当变更。因此，本发明的范围并不限定于以下所示的具体例。需要说明的是，在以下的实施例中，只要没有特殊说明，“％”及“份”表示“质量％”及“质量份”，分子量表示重均分子量。〈实施例1>[着色感光性树脂组合物的制备](K颜料分散物1的制备)以成为下述K颜料分散物1的组成的方式将炭黑、分散剂、聚合物及溶剂进行混合，使用3辊磨和珠磨机得到K颜料分散物1。
黑色组合物Kl (着色感光性树脂组合物)通过如下方法来得到，首先，量取表1中记载的量的K颜料分散物1、丙二醇单甲醚醋酸酯(MMPGAc)，在温度(士2°C)下进行混合，以150RPM搅拌10分钟，接着，量取表1中记载的量的甲基乙基酮、环己酮、粘合剂2、吩噻嗪、单体液1、聚合引发剂1、表面活性剂1，在温度25°C (士2°C)下依次进行添加，在温度(士2°C )下，以150RPM搅拌30分钟。需要说明的是，表1中记载的量为质量基准的份数。另外，各成分详细而言为以下的组成。(K颜料分散物1) 炭黑(德固赛公司制Nipex35):13. 1% 下述分散剂1:0.65% 聚合物6.72%(甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸=72/28摩尔比的无规共聚物、分子量3.7万) 丙二醇单甲醚醋酸酯79.53%[化1]
CONHC3H6N(C2H5)2
分散剂1
CONHC3HbN(C2H5)2
粘合剂2)
聚合物27%
甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸=78/22摩尔比的无规共聚物、分子量3. 8万)丙二醇单甲醚醋酸酯73%
单体液1)
季戊四醇四丙烯酸酯75%
NK ESTER A-TMMT、新中村化学工业制)甲基乙基酮25%
聚合引发剂1)
2，4_双(三氯甲基)-6-[4，- (N, N-双(乙氧基羰基甲基)氨基_3，-溴苯
基]"S"三嗪 100%(表面活性剂1)商品名MEGAFACE F_780F(大日本油墨制)·下述结构物1:30%
·甲基乙基酮70%[化2]
权利要求
1.一种着色感光性树脂组合物，其包含含有黑色的色料的着色剂、碱可溶性树脂、具有3个以上聚合性基团的聚合性化合物、聚合引发剂或聚合引发体系、和溶剂，其中，在透明基板上以光学密度成为4. 0的方式形成含有所述着色感光性树脂组合物的感光性树脂层，从与所述感光性树脂层的和所述透明基板对置的面相反的面侧，隔着掩模对所述感光性树脂层进行曝光、显影处理而形成的在第1图案的线宽为W1，并在该第1图案的线宽Wl相对于所述掩模的线宽W2之比W1/W2成为0. 7 1. 5的范围的曝光、显影条件下得到的所述第1图案的膜厚为d2，从所述感光性树脂层的和所述透明基板对置的面侧，隔着掩模和所述透明基板在所述W1/W2成为0. 7 1. 5的范围的曝光、显影条件下对所述感光性树脂层进行曝光、显影处理而得到的第2图案的膜厚为dl，dl与d2之比为0. 3以上。
2.如权利要求1所述的着色感光性树脂组合物，其中，在所述W1/W2成为0.8 1. 2的范围的曝光、显影条件下的所述dl/d2为0. 3 0. 7的范围。
3.如权利要求1或权利要求2所述的着色感光性树脂组合物，其中，所述着色剂至少含有炭黑。
4.如权利要求1 权利要求3中任一项所述的着色感光性树脂组合物，其中，所述聚合引发剂或聚合引发体系含有至少1种酰基膦氧化物系引发剂。
5.如权利要求1 权利要求4中任一项所述的着色感光性树脂组合物，其中，所述具有3个以上聚合性基团的聚合性化合物为3官能的丙烯酸单体及4官能的丙烯酸单体中的至少1种。
6.一种感光性转印材料，其由权利要求1 权利要求5中任一项所述的着色感光性树脂组合物形成的感光性树脂层设置在临时支撑体上而构成。
7.一种滤色器，其具有基板、和使用权利要求1 权利要求5中任一项所述的着色感光性树脂组合物而形成并且配置在所述基板上的遮光部。
8.如权利要求7所述的滤色器，其中，所述遮光部是使用权利要求6所述的感光性转印材料而形成的。
9.如权利要求7或权利要求8所述的滤色器，其中，所述遮光部的光学密度为3.5以上。
10.如权利要求7 权利要求9中任一项所述的滤色器，其中，所述遮光部的膜厚为1. 5 μ m以上。
11.一种液晶显示装置，其具有权利要求7 权利要求10中任一项所述的滤色器。
全文摘要
本发明提供一种显影时的图案形成性良好、可以形成微细图案的着色感光性树脂组合物。该着色感光性树脂组合物包含含有黑色材料的着色剂、碱可溶性树脂、具有3个以上聚合性基团的聚合性化合物、聚合引发剂或聚合引发体系、和溶剂而构成，在透明基板上形成含有光学密度成为4.0的着色感光性树脂组合物的感光性树脂层，将从与感光性树脂层的透明基板侧相反的面侧，隔着掩模对感光性树脂层进行曝光、显影处理而形成的第1图案的线宽为W1，在该第1图案的线宽W1相对于掩模的线宽W2之比W1/W2成为0.7～1.5的范围的曝光、显影条件下得到的第1图案的膜厚为d2；和从感光性树脂层的透明基板侧的面侧，隔着掩模和所述透明基板在所述曝光、显影条件下对感光性树脂层进行曝光、显影处理而得到的第2图案的膜厚为d1，d1与d2之比设定为0.3以上。
文档编号G03F7/029GK102576190SQ201080043288
公开日2012年7月11日 申请日期2010年5月17日 优先权日2009年9月29日
发明者儿玉知启, 柏木大助 申请人:富士胶片株式会社