专利名称:感光性树脂组合物、图案形成方法、滤色器、和显示装置的制作方法
技术领域:
本发明涉及感光性树脂组合物、使用了该感光性树脂组合物的图案形成方法、使用该感光性树脂组合物而形成的滤色器、和使用了该滤色器的显示装置。
背景技术:
负型感光性树脂组合物具有因紫外线等电磁波的照射而固化的特性。对于该感光性树脂组合物而言,由于可以通过使照射了电磁 波的部分固化而得到所需的形状的图案,因此被广泛地用于显示装置、半导体装置、电子部件、微电子机械系统(MEMS)等各种用途中。例如在显示装置中,可以作为液晶显示器、有机EL显示器等中的滤色器、黑矩阵等的材料使用。但是,近年来,在液晶显示器、有机EL显示器的制造时,进行了提高黑矩阵的遮光性,从而进一步提高显示对比度的尝试。因此,需要在用于形成黑矩阵的感光性树脂组合物中大量地含有遮光剂。但是,如果像这样在感光性树脂组合物中大量地含有遮光剂,则灵敏度就会降低,从而会存在图案形成中所需的曝光量增加的问题。另外,由于越是靠近基板的部分,固化越难以推进,因此会存在在显影中图案从基板上剥落、或者边缘的部分受到侵蚀而使图案的直行性降低的问题。专利文献专利文献1:日本特开2011-052214号公报
发明内容
因此,本发明的目的在于,提供虽然含有遮光剂却仍能够以低曝光量形成直行性 密合性优异的图案的感光性树脂组合物、使用了该感光性树脂组合物的图案形成方法、使用该感光性树脂组合物而形成的滤色器、和使用了该滤色器的显示装置。本发明人等为了达成上述目的,反复进行了深入研究。结果发现,通过使感光性树脂组合物中含有特定的化合物,可以解决上述问题,从而完成了本发明。具体来说,本发明提供如下所示的内容。本发明的第一方式是一种感光性树脂组合物,其含有光聚合性化合物、光聚合引发剂、下式(I)表示的化合物、和遮光剂。
权利要求
1.一种感光性树脂组合物,其含有光聚合性化合物、光聚合引发剂、下式(I)表示的化合物、和遮光剂,
2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中,相对于所述光聚合引发剂100质量份,所述式(I)表示的化合物的含量为35 200质量份。
3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其中,所述光聚合性化合物含有具有Cardo结构的树脂。
4.一种图案形成方法,其中,使用权利要求1 3中任一项所述的感光性树脂组合物来形成涂膜或成形体,对所述涂膜或成形体以规定图案状照射电磁波,进行显影。
5.一种滤色器,其是使用权利要求1 3中任一项所述的感光性树脂组合物而形成的。
6.一种显示装置,其使用了权利要求5所述的滤色器。
全文摘要
本发明提供一种虽然含有遮光剂却仍能够以低曝光量形成直行性·密合性优异的图案的感光性树脂组合物、使用了该感光性树脂组合物的图案形成方法、使用该感光性树脂组合物而形成的滤色器、和使用了该滤色器的显示装置。本发明的感光性树脂组合物含有光聚合性化合物、光聚合引发剂、下式(1)表示的化合物、和遮光剂。式中,R1和R2各自独立地表示氢原子或有机基团,但是至少一个表示有机基团。R1和R2可以是它们键合而形成环状结构,也可以包含杂原子键。R3表示单键或有机基团。R4~R9各自独立地表示氢原子、有机基团等,但是没有R6和R7为羟基的情况。R10表示氢原子或有机基团。
文档编号G02B5/20GK103019033SQ201210358639
公开日2013年4月3日 申请日期2012年9月24日 优先权日2011年9月22日
发明者盐田大, 黑子麻祐美, 野田国宏, 石川达郎 申请人:东京应化工业株式会社