的大型反射镜的投影光学系统等。又，上述实施形态中，虽说明使用投影倍率为等倍系统者来作为投影光学系统PL，但并不限于此，投影光学系统亦可是放大系统及缩小系统的任一者。
[0154]又，上述各实施形态中，虽已说明曝光装置是扫描步进器的情形，但并不欲限于此，亦可将上述各实施形态适用于步进器等静止型曝光装置。又，亦可将上述各实施形态适用于合成照射区域与照射区域的步进接合方式的投影曝光装置。又，上述各实施形态，亦可适用于不使用投影光学系统的近接方式的曝光装置。
[0155]又，曝光装置用途并不限定于将液晶显示元件图案转印至矩形玻璃板的液晶显示元件用曝光装置，亦可广泛适用于用来制造例如半导体用的曝光装置、用于制造薄膜磁头、微型机器及DNA芯片等的曝光装置。又，除了用于制造半导体元件等的微型元件的曝光装置以外，为了制造用于光曝光装置、EUV曝光装置、X射线曝光装置及电子射线曝光装置等的掩膜或标线片，亦能将上述各实施形态适用于用以将电路图案转印至玻璃基板或硅晶圆等的曝光装置。此外，作为曝光对象的物体并不限玻璃板，亦可以是例如晶圆、陶瓷基板、膜构件、或者空白掩膜等其他物体。
[0156]此外，上述各实施形态相关的基板载台装置并不限适用于曝光装置，亦可适用于具备例如喷墨式机能性液体沉积装置的元件制造装置。
[0157]又，缘此用与至此为止的说明中所引用的曝光装置等相关的所有公报、PCT国际公开、美国发明专利申请公开说明书及美国发明专利说明书的揭示分别纳入在此作为参考。
[0158]元件制造方法:
[0159]接着，说明在光刻步骤使用上述各实施形态的曝光装置的微型元件的制造方法。上述各实施形态的曝光装置中，可通过在板体(玻璃基板)上形成既定图案(电路图案、电极图案等)而制得作为微型元件的液晶显示元件。
[0160]图案形成步骤:
[0161]首先，进行使用上述各实施形态的曝光装置将图案像形成于感光性基板(涂布有光阻之玻璃基板等)的所谓光光刻步骤。通过此光光刻步骤，在感光性基板上形成包含多数个电极等的既定图案。其后，经曝光的基板，通过经过显影步骤、刻蚀步骤、光阻剥离步骤等各步骤而于基板上形成既定图案。
[0162]彩色滤光片形成步骤:
[0163]其次，形成与R (红)、G (绿)、B (蓝)对应的三个点的组多数个排列成矩阵状、或将R、G、B的三条条纹的滤光器组多个排列于水平扫描线方向的彩色滤光片。
[0164]单元组装步骤:
[0165]接着，使用在图案形成步骤制得的具有既定图案的基板、以及在彩色滤光片形成步骤制得的彩色滤光片等来组装液晶面板(液晶单元)。例如于在图案形成步骤制得的具有既定图案的基板与在彩色滤光片形成步骤制得的彩色滤光片之间注入液晶，而制造液晶面板(液晶单元)。
[0166]模块组装步骤:
[0167]其后，安装用以进行已组装完成的液晶面板(液晶单元)的显示动作的电路、背光等各零件，而完成液晶显不兀件。
[0168]此时，在图案形成步骤中，由于使用上述各实施形态之的曝光装置而能以高产能且高精度进行板体的曝光，其结果能提升液晶显示元件的生产性。
[0169]实用性:
[0170]如以上所说明，本发明的物体移动装置适于沿既定二维平面导引平板状物体。又，本发明的物体处理装置适于对平板状物体进行既定处理。又，本发明的曝光装置适于使用能量束将物体曝光。又，本发明的物体检查装置适于检查平板状物体。又，本发明的元件制造方法适于生产微型元件。
【主权项】
1.一种物体移动装置，其使一平板状物体移动，该平板状物体沿包含彼此正交的第1及第2轴的一既定二维平面所配置，该物体移动装置具备: 一移动体，其保持前述物体的一端部并可沿前述二维平面移动； 一驱动装置，其将前述移动体驱动于前述二维平面内的至少一轴方向；以及 一非接触支承装置，其在前述移动体被前述驱动装置驱动时，使其支承面对向于前述物体的下面以从下方以非接触方式支承前述物体。2.如权利要求1所述的物体移动装置，其中，前述移动体具有沿前述物体的端部延伸设置的一框状构件所构成的一本体部。3.如权利要求2所述的物体移动装置，其中，前述移动体具有一从下方通过吸附以保持前述物体外周缘部的至少一部分的保持构件； 前述保持构件，可相对前述本体部在保持有前述物体的状态下位移于与前述二维平面正交的方向。4.如权利要求3所述的物体移动装置，其中，前述保持构件较前述物体下面更往下方突出设置，该突出量小于前述非接触支承装置的前述支承面与前述物体下面间的距离。5.如权利要求2至4中任一项所述的物体移动装置，其中，前述本体部具有一通过相对前述物体而在与前述二维平面平行的方向的相对移动而容许该物体通过的开口部。6.如权利要求2所述的物体移动装置，其中，前述移动体具有一按压装置，该按压装置通过从前述本体部的内壁面中彼此对向的一对对向面的一面往另一面按压前述物体，以使该物体保持于前述本体部。7.如权利要求2至6中任一项所述的物体移动装置，其进一步具备一光干涉仪系统，该光干涉仪系统通过分别对前述本体部的与前述第1轴正交的第1外侧面、以及与前述第2轴正交的第2外侧面照射测距光束且接收其反射光，以求出前述本体部在前述二维平面内的位置信息。8.如权利要求1至6中任一项所述的物体移动装置，其进一步具备一光干涉仪系统，该光干涉仪系统通过对设于前述移动体的反射面照射一测距光束且接收其反射光，以求出前述移动体在前述二维平面内的位置信息。9.如权利要求1至8中任一项所述的物体移动装置，其中，前述驱动装置包含一与前述第1轴平行延伸设置的第1导引构件、一在前述第1导引构件上移动于与前述第1轴平行的方向的第1移动构件、一与前述第2轴平行延伸设置且连接于前述第1移动构件的第2导引构件、以及一保持前述移动体并在前述第2导引构件上移动于与前述第2轴平行的方向的第2移动构件； 前述第1导引构件及前述第1移动构件配置于较前述既定二维平面更下方。10.如权利要求9所述的物体移动装置，其中，多个前述第1导引构件在与前述第2轴平行的方向以一既定间隔设置； 多个前述第1移动构件与前述多个第1导引构件对应地设置； 前述第2导引构件架设于前述多个第1移动构件之上。11.如权利要求9或10所述的物体移动装置，其中，前述第2导引构件配置于较前述非接触支承装置的前述支承面更上方，该第2导引构件的下面通过前述非接触支承装置以非接触状态支承。12.如权利要求9至11中任一项所述的物体移动装置，其中，前述第2移动构件以非接触方式支承于前述第2导引构件。13.如权利要求9至12中任一项所述的物体移动装置，其中，多个前述第2移动构件在与前述第2轴平行的方向以一既定间隔设置； 前述移动体的多个部位被前述多个第2移动构件保持。14.如权利要求9至13中任一项所述的物体移动装置，其中，前述移动体以非接触方式保持于前述第2移动构件。15.如权利要求14所述的物体移动装置，其中，前述驱动装置具备一将前述移动体相对前述第2移动构件在与前述二维平面平行的方向微幅驱动的微幅驱动装置。16.如权利要求9至15中任一项所述的物体移动装置，其中，前述第1移动构件在前述二维平面内的一轴方向分别设于前述移动体的一侧及另一侧； 前述第2导引构件及前述第2移动构件分别与前述一侧及前述另一侧的第1移动构件对应设置； 前述移动体在前述一轴方向的一侧及另一侧分别保持于前述一侧及前述另一侧的第2移动构件。17.如权利要求9至11中任一项所述的物体移动装置，其中，前述移动体通过一铰链装置连接于前述第2移动构件，该铰链装置一边限制该移动体与该第2移动构件在与前述二维平面平行的方向的相对移动，一边容许该移动体与该第2移动构件绕着与前述二维平面平行的轴线的旋转。18.如权利要求1至17中任一项所述的物体移动装置，其中，前述非接触支承装置从前述支承面对前述物体喷出一气体而以非接触方式支承前述物体。19.如权利要求1至18中任一项所述的物体移动装置，其中，前述非接触支承装置的前述支承面涵盖在被前述驱动装置驱动时的前述物体的移动范围。20.如权利要求1至19中任一项所述的物体移动装置，其中，前述非接触支承装置的前述支承面的至少一部分设置成可移动于与前述二维平面交叉的方向，并且通过该支承面的至少一部分在与前述二维平面交叉的方向的移动，使前述物体从前述移动体分离而移动于与前述二维平面交叉的方向。21.如权利要求1至20中任一项所述的物体移动装置，其进一步具备一调整装置，该调整装置在前述二维平面内的位置为固定的，具有一较前述物体的面积狭小的保持面，从前述物体下方以非接触状态保持沿前述二维平面移动的前述物体中与前述保持面对向的部分，以调整该部分在与前述二维平面交叉的方向的位置。22.如权利要求21所述的物体移动装置，其中，前述调整装置从前述保持面对前述物体喷出一气体，且吸引前述保持面与前述物体之间的气体而以非接触方式保持前述物体。23.如权利要求22所述的物体移动装置，其中，前述调整装置使前述物体与前述保持面之间的气体的气压及流量的至少一方为可变的，以使前述物体与前述保持面的距离为一定的。24.如权利要求21至23中任一项所述的物体移动装置，其中，前述调整装置具有一将具有前述保持面的构件驱动于与前述二维平面交叉的方向的致动器。25.如权利要求24所述的物体移动装置，其中，前述致动器包含:一可动件，其设于具有前述保持面的构件；以及一固定件，其设于一与用以测量具有前述保持面的构件的位置信息的测量构件在振动上分离的构件。26.如权利要求21至25中任一项所述的物体移动装置，其中，前述调整装置具有用以抵销前述物体的重量的重量抵销装置。27.如权利要求21至26中任一项所述的物体移动装置，其中，具有前述保持面的构件与前述驱动装置在振动上分离。28.如权利要求21至27中任一项所述的物体移动装置，其中，前述调整装置的前述保持面与前述物体间的距离较前述非接触支承装置的前述支承面与前述物体间的距离短。29.—种物体处理装置，其具备:权利要求21至28中任一项的物体移动装置；以及 一执行装置，其为了进行与前述物体相关的既定处理，从与前述调整装置相反的侧对该物体中保持于前述调整装置的部分执行一既定动作。30.如权利要求29所述的物体处理装置，其中，前述执行装置包含一为了检查前述物体而拍摄该物体的一表面的影像的摄影装置。31.如权利要求29或30所述的物体处理装置，其中，前述物体是一用于一显示器装置的显示面板的基板。32.如权利要求29所述的物体处理装置，其中，前述执行装置通过使用一能量束使前述物体曝光而据以将一既定图案形成于该物体上的图案形成装置。33.一种元件制造方法，其包含: 使用如权利要求32所述的物体处理装置使前述物体曝光的动作；以及 使前述已曝光的物体显影的动作。34.一种曝光装置，其具备: 如权利要求1至20中任一项所述的物体移动装置；以及 使用能量束使前述物体曝光而据以将一既定图案形成于该物体上的图案形成装置。35.如权利要求34所述的曝光装置，其中，前述物体是一用于一显示器装置的显示面板的基板。36.一种物体检查装置，其具有: 如权利要求1至20中任一项所述的物体移动装置；以及 一为了检查前述物体而拍摄该物体表面的影像的摄影部。37.如权利要求36所述的物体检查装置，其中，前述物体是一用于一显示器装置的显示面板的基板。38.—种曝光装置，其通过使用一能量束使一物体曝光而据以将一既定图案形成于前述物体上，其具备: 一移动体，其保持沿包含彼此正交的第1及第2轴的一既定二维平面所配置的一平板状物体的一端部并可沿前述二维平面移动； 一驱动装置，其将前述移动体驱动于前述二维平面内的至少一轴方向；以及 一非接触支承装置，其在前述移动体被前述驱动装置驱动时，从下方以非接触方式支承前述物体。39.如权利要求38所述的曝光装置，其进一步具备一调整装置，该调整装置在前述二维平面内的位置为固定的，具有一较前述物体的面积狭小的保持面，从前述物体下方以非接触状态保持沿前述二维平面移动的前述物体中与前述保持面对向的部分，以调整该部分在与前述二维平面交叉的方向的位置。40.一种曝光装置，其通过使用一能量束使一物体曝光而据以将一既定图案形成于前述物体上，其具备: 一光学系统，其对与水平面平行的一既定二维平面内的一部分区域经由前述图案照射前述能量束； 一驱动装置，其将一沿前述二维平面配置的平板状物体在一包含前述二维平面内的前述部分区域的既定区域内驱动于至少一轴方向；以及 一定点载台，其在前述物体被前述驱动装置驱动时，从前述物体下方以非接触状态保持前述物体的包含被照射前述能量束的部分区域的部分，以调整前述部分在与前述二维平面交叉的方向的位置。41.如权利要求40所述的曝光装置，其进一步具备一非接触支承装置，其使支承面对向于前述物体的被前述定点载台保持的部分以外的其他区域，以从下方以非接触方式支承前述物体。42.如权利要求40或41所述的曝光装置，其进一步具备一面位置测量系统，其在前述既定区域的一部分内测量前述物体上面在与前述二维平面垂直的方向的面位置分布。43.如权利要求38至42中任一项所述的曝光装置，其中，前述物体是尺寸不小于500mm的基板。44.一种元件制造方法，其包含使用如权利要求34、35、38至43中任一项所述的曝光装置使前述物体曝光的动作；以及 使前述已曝光的物体显影的动作。45.一种平面面板显示器制造方法，其包含使用如权利要求34、35、38至43中任一项所述的曝光装置使一平面面板显示器用的基板曝光的动作；以及 使已曝光的前述基板显影的动作。46.一种曝光方法，其通过使用一能量束使一物体曝光而据以将一既定图案形成于前述物体上，其包含: 在与水平面平行的一既定二维平面内的一既定区域内将沿前述二维平面配置的一平板状物体驱动于至少一轴方向的动作；该二维平面包含经由前述图案的前述能量束被光学系统所照射的一部分区域；以及 在前述物体被驱动时，从前述物体下方以非接触状态保持前述物体的包含被照射前述能量束的一部分区域的部分，以调整前述部分在与前述二维平面交叉的方向的位置的动作。47.如权利要求46所述的曝光方法，其进一步包含从下方以非接触方式支承前述物体的前述部分以外的其他区域的动作。48.一种元件制造方法，其包含使用如权利要求46或47所述的曝光方法使前述物体曝光的动作；以及 使已曝光的前述物体显影的动作。
【专利摘要】本发明是关于一种物体移动装置、物体处理装置、曝光装置、物体检查装置及元件制造方法。其中，基板(P)通过形成为框状的轻量基板保持框(60)所吸附保持，基板保持框(60)通过包含线性马达的驱动单元(70)沿水平面被驱动。在基板保持框(60)下方，配置有对基板(P)下面喷出空气而以非接触方式悬浮支承该基板(P)成大致水平的空气悬浮单元(50)。由于多个空气悬浮单元(50)涵盖基板保持框(60)的移动范围，因此驱动单元(70)能以高速且高精度将基板保持框(60)(基板(P))沿水平面导引。
【IPC分类】B65G49/06, G03F7/20, H01L21/68
【公开号】CN105388710
【申请号】CN201510574172
【发明人】青木保夫, 滨田智秀, 白数广, 户口学
【申请人】株式会社尼康
【公开日】2016年3月9日
【申请日】2010年8月17日
【公告号】CN102483579A, CN102483579B, US8699001, US20110043784, WO2011021709A1