专利名称：加长型多功能液压控制真空溅射离子注入机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种注入机，尤其涉及一种加长型多功能液压控制真空溅射离子注入机，属于工业机械设备技术领域。
背景技术：
目前公知的真空溅射离子注入机多为整体结构，对超长管，大口径钢材内壁镀膜处理有很大困难，本人于2007年申报的专利号为200720115499.6的专利“大型多功能真空溅射离子注入机”，完全解决了这个问题，在近几年的实际应用中取得了很好效果，但经过使用发现一些不足，特别是炉体左、右扇开合方面，采用开合油缸开合，存在费时费力、复杂繁琐，在炉盖、炉底盘结构以及密封结构方面不尽人意，在工件旋转传动方面采用滚珠传动，存在定位精度差等诸多缺陷。
发明内容为了解决上述问题，本实用新型的目的在于提供一种加长型多功能液压控制真空溅射离子注入机，采用在轨道车上安装的液压机械抓手控制炉体左右扇开合，结构简单，方便实用。工件旋转传动方面采用推力轴承，使传动更加平稳，大大提高了镀膜质量。炉盖和炉底盘采用整体空心结构，中间加有梯形密封圈，提高密封效果，缩短生产时间，提高了生产效率。本实用新型解决其技术问题所采取的技术方案是:加长型多功能液压控制真空溅射离子注入机，它是由炉体上盖部分、可开合炉体部分、炉体下座部分、液压控制轨道车部分组成。炉体上盖部分与可开合炉体部分的连接是炉体上盖部分的炉盖通过其孔、炉盖密封圈用螺栓与可开合炉体部分的炉体左扇和炉体右扇的半圆连板连接。炉体上盖部分与炉体下座部分的连接是炉体上盖部分的靶芯和工件分别与炉体下座部分的连接轴和紧固螺栓连接。炉体下座部分与可开合炉体部分的连接是炉体下座部分的炉底盘通过其孔和底盘密封圈用螺栓与可开合炉体部分的炉体左扇和炉体右扇的半圆连板连接。可开合炉体部分与液压控制轨道车部分的连接是液压控制轨道车部分的液压机械抓手与可开合炉体部分的炉体左扇连接。所述的炉体上盖部分是由炉盖、球座、定位球体、靶芯紧固螺母、悬挂吊筒、连杆、连接圈、靶芯、工件、T型密封圈、梯形密封圈、吊装架、冷却进水管构成，在炉盖上分别连接有冷却进水管和吊装架，在炉盖的中心孔上通过梯形密封圈连接悬挂吊筒，悬挂吊筒下端通过连杆和连接圈连接有工件，悬挂吊筒的上端与靶芯的凸肩连接，靶芯的凸肩上端依次连接定位球体和T型密封圈并通过靶芯上端螺纹连接有靶芯紧固螺母，在悬挂吊筒外周连接的定位球体和炉盖之间连接有球座。所述的可开合炉体部分是由多节炉体左扇和多节炉体右扇连接构成,多节炉体左扇和多节炉体右扇自身相互连接是通过其半圆连板上的连接螺孔和半圆密封垫用螺栓连接起来，连接后的多节炉体左扇和多节炉体右扇的可开合连接是通过其连接立板上的开口连接孔和密封条用螺栓连接起来。所述的炉体左扇与炉体右扇结构相同，是由内壁、外壁、半圆连板、连接立板构成，内壁和外壁的上下端分别连接半圆连板，封口端连接有连接立板，在半圆连板上外圈设有连接螺孔，内圈设有冷却水通孔，在连接立板上设有开口连接孔。所述的炉体下座部分是由变速箱、小伞齿轮、大伞齿轮、炉底盘、紧固螺栓、支板、圆转盘、连接轴、推力轴承、梯形密封圈、炉体支脚、出水管构成，在炉底盘的下端分别连接有炉体支脚和出水管，在炉底盘的中心孔通过梯形密封圈连接有连接轴，连接轴下端通过大伞齿轮和小伞齿轮与变速箱连接，连接轴上端凹孔与靶芯连接，连接轴上端面与圆转盘连接，在炉底盘上面与圆转盘之间通过连接轴连接有推力轴承，在圆转盘上通过支板连接有紧固螺栓。所述的液压控制轨道车部分是由轨道、轨道轮、轨道车、液压控制机构、液压机械抓手构成，在轨道车下端连接轨道轮，轨道轮与轨道连接，在轨道车内设有液压控制机构，液压控制机构连接有液压机械抓手。所述的炉盖和炉底盘结构相同，均为空心结构并设有进水孔和出水孔。本实用新型的有益效果是:可开合炉体部分是由多节炉体左扇和多节炉体右扇连接构成，适合加工长型和超长型工件，炉体左扇和炉体右扇采用在轨道车上安装的液压机械抓手控制开合，结构简单，方便实用。工件旋转传动方面采用推力轴承，炉盖和炉底盘采用整体空心结构，中间加有梯形密封圈。整机具有传动平稳，密封效果好，提高了镀膜质量，缩短了生产时间，提高了生产效率。
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型做进一步说明。
图1是本实用新型加长型多功能液压控制真空溅射离子注入机结构示意图。图2是
图1的炉体上盖部分结构示意图。图3是
图1的炉体左扇结构示意图。图4是
图1的炉体右扇结构示意图。图5是
图1的炉体下座部分结构示意图。图中标号1、炉盖 2、球座 3、定位球体 4、靶芯紧固螺母5、悬挂吊筒 6、连杆 7、连接圈 8、靶芯 9、工件11、轨道12、轨道轮13、轨道车14、液压控制机构15、液压机械抓手21、炉体左扇 22、炉体右扇 23、内壁 24、外壁25、半圆连板26、连接立板 27、连接螺孔 28、冷却水通孔 29、开口连接孔31、变速箱32、小伞齿轮33、大伞齿轮34、炉底盘35、紧固螺栓 36、支板 37、圆转盘 38、连接轴 39、推力轴承41、炉盖密封圈 42、T型密封圈 43、梯形密封圈 44、底盘密封圈45、半圆密封垫 46、密封条 51、吊装架 52、炉体支脚53、冷却进水管54、出水管。
具体实施方式
请参阅
图1至图5，加长型多功能液压控制真空溅射离子注入机，它是由炉体上盖部分、可开合炉体部分、炉体下座部分、液压控制轨道车部分组成。炉体上盖部分与可开合炉体部分的连接是炉体上盖部分的炉盖I通过其孔、炉盖密封圈41用螺栓与可开合炉体部分的炉体左扇21和炉体右扇22的半圆连板25连接。炉体上盖部分与炉体下座部分的连接是炉体上盖部分的靶芯8和工件9分别与炉体下座部分的连接轴38和紧固螺栓35连接。炉体下座部分与可开合炉体部分的连接是炉体下座部分的炉底盘34通过其孔和底盘密封圈44用螺栓与可开合炉体部分的炉体左扇21和炉体右扇22的半圆连板25连接。可开合炉体部分与液压控制轨道车部分的连接是液压控制轨道车部分的液压机械抓手15与可开合炉体部分的炉体左扇21连接。所述的炉体上盖部分是由炉盖1、球座2、定位球体3、靶芯紧固螺母4、悬挂吊筒5、连杆6、连接圈7、靶芯8、工件9、T型密封圈42、梯形密封圈43、吊装架51、冷却进水管53构成，在炉盖I上分别连接有冷却进水管53和吊装架51，在炉盖I的中心孔上通过梯形密封圈43连接悬挂吊筒5，悬挂吊筒5下端通过连杆6和连接圈7连接有工件9，悬挂吊筒5的上端与靶芯8的凸肩连接，靶芯8的凸肩上端依次连接定位球体3和T型密封圈42并通过靶芯8上端螺纹连接有靶芯紧固螺母4，在悬挂吊筒5外周连接的定位球体3和炉盖I之间连接有球座2。所述的可开合炉体部分是由多节炉体左扇21和多节炉体右扇22连接构成，多节炉体左扇21和多节炉体右扇22自身相互连接是通过其半圆连板25上的连接螺孔27和半圆密封垫45用螺栓连接起来，连接后的多节炉体左扇21和多节炉体右扇22的可开合连接是通过其连接立板26上的开口连接孔29和密封条46用螺栓连接起来。所述的炉体左扇21与炉体右扇22结构相同，是由内壁23、外壁24、半圆连板25、连接立板26构成，内壁23和外壁24的上下端分别连接半圆连板25，封口端连接有连接立板26，在半圆连板25上外圈设有连接螺孔27，内圈设有冷却水通孔28，在连接立板26上设有开口连接孔29。所述的炉体下座部分是由变速箱31、小伞齿轮32、大伞齿轮33、炉底盘34、紧固螺栓35、支板36、圆转盘37、连接轴38、推力轴承39、梯形密封圈43、炉体支脚52、出水管54构成，在炉底盘34的下端分别连接有炉体支脚52和出水管54，在炉底盘34的中心孔通过梯形密封圈43连接有连接轴38，连接轴38下端通过大伞齿轮33和小伞齿轮32与变速箱31连接，连接轴38上端凹孔与靶芯8连接，连接轴38上端面与圆转盘37连接，在炉底盘34上面与圆转盘37之间通过连接轴38连接有推力轴承39，在圆转盘37上通过支板36连接有紧固螺栓35。所述的液压控制轨道车部分是由轨道11、轨道轮12、轨道车13、液压控制机构14、液压机械抓手15构成，在轨道车13下端连接轨道轮12，轨道轮12与轨道11连接，在轨道车13内设有液压控制机构14，液压控制机构14连接有液压机械抓手15。所述的炉盖I和炉底盘34结构相同，均为空心结构并设有进水孔和出水孔。
权利要求1.一种加长型多功能液压控制真空溅射离子注入机，它是由炉体上盖部分、可开合炉体部分、炉体下座部分、液压控制轨道车部分组成；其特征在于:炉体上盖部分与可开合炉体部分的连接是炉体上盖部分的炉盖(I)通过其孔、炉盖密封圈(41)用螺栓与可开合炉体部分的炉体左扇(21)和炉体右扇(22)的半圆连板(25)连接；炉体上盖部分与炉体下座部分的连接是炉体上盖部分的靶芯(8)和工件(9)分别与炉体下座部分的连接轴(38)和紧固螺栓(35)连接；炉体下座部分与可开合炉体部分的连接是炉体下座部分的炉底盘(34)通过其孔和底盘密封圈(44)用螺栓与可开合炉体部分的炉体左扇(21)和炉体右扇(22)的半圆连板(25)连接；可开合炉体部分与液压控制轨道车部分的连接是液压控制轨道车部分的液压机械抓手(15)与可开合炉体部分的炉体左扇(21)连接。
2.根据权利要求1所述的加长型多功能液压控制真空溅射离子注入机，其特征在于:所述的炉体上盖部分是由炉盖(I)、球座(2)、定位球体(3)、靶芯紧固螺母(4)、悬挂吊筒(5)、连杆(6)、连接圈(7)、靶芯(8)、工件(9)、T型密封圈(42)、梯形密封圈(43)、吊装架(51)、冷却进水管(53)构成，在炉盖(I)上分别连接有冷却进水管(53)和吊装架(51)，在炉盖(I)的中心孔上通过梯形密封圈(43)连接悬挂吊筒(5)，悬挂吊筒(5)下端通过连杆(6)和连接圈(7)连接有工件(9)，悬挂吊筒(5)的上端与靶芯(8)的凸肩连接，靶芯(8)的凸肩上端依次连接定位球体(3)和T型密封圈(42)并通过靶芯(8)上端螺纹连接有靶芯紧固螺母(4)，在悬挂吊筒(5)外周连接的定位球体(3)和炉盖(I)之间连接有球座(2)。
3.根据权利要求1所述的加长型多功能液压控制真空溅射离子注入机，其特征在于:所述的可开合炉体部分是由多节炉体左扇(21)和多节炉体右扇(22)连接构成，多节炉体左扇(21)和多节炉体右扇(22)自身相互连接是通过其半圆连板(25)上的连接螺孔(27)和半圆密封垫(45 )用螺栓连接起来，连接后的多节炉体左扇(21)和多节炉体右扇(22 )的可开合连接是通过其连接立板(26 )上的开口连接孔(29 )和密封条(46 )用螺栓连接起来；所述的炉体左扇(21)与炉体右扇(22)结构相同，是由内壁(23)、外壁(24)、半圆连板(25)、连接立板(26)构成，内壁(23)和外`壁(24)的上下端分别连接半圆连板(25)，封口端连接有连接立板(26 )，在半圆连板(25 )上外圈设有连接螺孔(27 )，内圈设有冷却水通孔(28 )，在连接立板(26)上设有开口连接孔(29)。
4.根据权利要求1所述的加长型多功能液压控制真空溅射离子注入机，其特征在于:所述的炉体下座部分是由变速箱(31)、小伞齿轮(32)、大伞齿轮(33)、炉底盘(34)、紧固螺栓(35)、支板(36)、圆转盘(37)、连接轴(38)、推力轴承(39)、梯形密封圈(43)、炉体支脚(52)、出水管(54)构成，在炉底盘(34)的下端分别连接有炉体支脚(52)和出水管(54)，在炉底盘(34 )的中心孔通过梯形密封圈(43 )连接有连接轴(38 )，连接轴(38 )下端通过大伞齿轮(33 )和小伞齿轮(32 )与变速箱(31)连接，连接轴(38 )上端凹孔与靶芯(8 )连接，连接轴(38)上端面与圆转盘(37)连接，在炉底盘(34)上面与圆转盘(37)之间通过连接轴(38)连接有推力轴承(39)，在圆转盘(37)上通过支板(36)连接有紧固螺栓(35)。
5.根据权利要求1所述的加长型多功能液压控制真空溅射离子注入机，其特征在于:所述的液压控制轨道车部分是由轨道(11)、轨道轮(12)、轨道车(13)、液压控制机构(14)、液压机械抓手(15)构成，在轨道车(13)下端连接轨道轮(12)，轨道轮(12)与轨道(11)连接，在轨道车(13)内设有液压控制机构(14)，液压控制机构(14)连接有液压机械抓手(15)。
6.根据权利要求1所述的加长型多功能液压控制真空溅射离子注入机，其特征在于:所述的炉盖(I)和炉底盘( 34)结构相同，均为空心结构并设有进水孔和出水孔。
专利摘要本实用新型公开了一种加长型多功能液压控制真空溅射离子注入机，炉体上盖部分与可开合炉体部分的连接是炉体上盖部分的炉盖通过其孔、炉盖密封圈用螺栓与可开合炉体部分的炉体左扇和炉体右扇的半圆连板连接。炉体上盖部分与炉体下座部分的连接是炉体上盖部分的靶芯和工件分别与炉体下座部分的连接轴和紧固螺栓连接。炉体下座部分与可开合炉体部分的连接是炉体下座部分的炉底盘通过其孔和底盘密封圈用螺栓与可开合炉体部分的炉体左扇和炉体右扇的半圆连板连接。可开合炉体部分与液压控制轨道车部分的连接是液压控制轨道车部分的液压机械抓手与可开合炉体部分的炉体左扇连接。炉体部分由多节炉体左扇和多节炉体右扇连接构成，适合加工长型和超长型工件。
文档编号C23C14/48GK202925092SQ20122061745
公开日2013年5月8日 申请日期2012年11月21日 优先权日2012年11月21日
发明者李忠河, 李智远 申请人:李忠河