一种真空镀复合式聚对二甲苯功能膜的设备的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及电镀【技术领域】，尤其是指一种真空镀复合式聚对二甲苯功能膜的设备，包括有沉积室，所述沉积室至少连接一路蒸发裂解送料沉积单元和一路粉末雾化送料沉积单元；所述蒸发裂解送料沉积单元至少由蒸发室、裂解室及第一真空泵组成，裂解室的输出端连接沉积室；所述粉末雾化送料沉积单元至少由流化床和喷嘴组成，喷嘴设置在沉积室内，沉积室连通第二真空泵。本实用新型并列设计多路进料单元连接沉积室，不用对原料进行改性，产品直接在沉积室内通过抽吸式将纳米粉体复合在聚对二甲苯膜中，形成复合式聚对二甲苯功能膜，使其具有抗菌性能、远红外及耐侯功能等；结构简单，科学合理，制作容易，投资成本低，符合产业利用，适用面广。
【专利说明】一种真空镀复合式聚对二甲苯功能膜的设备
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及电镀【技术领域】，尤其是指一种聚对二甲苯功能膜沉积装置。
【背景技术】
[0002]聚对二甲苯(parylene)具有良好的防护性和绝缘性以及生物相容性，其在真空环境中完全包覆产品，形成一个完整的防护。对于目前的制程来说，形成聚对二甲苯薄膜的方法一般为化学气相沉积法。首先，将粉末状的聚对二甲苯置于蒸发室中，并加热到150°C以使粉末状的聚对二甲苯汽化。然后，将聚对二甲苯气体传送至裂解室，并加热到650°C以进行裂解。之后，将聚对二甲苯单体传送沉积室，并沉积在基板上。但传统高分子聚对二甲基苯沉积系统只有一个蒸发腔体，一般只能沉积一种分子结构的聚对二甲基苯膜，不能沉积复合聚对二甲基苯防水膜。目前常用的聚对二甲苯原料型号分为N型、C型和D型，这些各种类型的分子取代基不同，决定了其热稳定性能和绝缘性能等方面的不同，但是它们都不具备抗菌性能、远红外及耐侯功能。
[0003]随着应用领域的要求越来越严，具有功能性的聚对二甲苯膜成为一种趋势。为此人们进行了大量的研究，目前主要是通过对聚对二甲苯原料进行改性，使其带上特定的官能团，获得某种特性，但是这对原料制备提出苛刻的要求，研发成本极高且周期长。
[0004]为此，本 申请人:秉持着研究创新、精益求精之精神，利用其专业眼光和专业知识，研究出一种真空镀复合式聚对二甲苯功能膜的设备。
【发明内容】
[0005]本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种结构简单，易操作的真空镀复合式聚对二甲苯功能膜的设备，不用对原料进行改性，产品直接在沉积室内通过抽吸式将纳米粉体复合在聚对二甲苯膜中，形成复合式聚对二甲苯功能膜，使其具有抗菌性能、远红外及耐侯功能等。
[0006]为达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案:
[0007]—种真空镀复合式聚对二甲苯功能膜的设备，包括有沉积室，所述沉积室至少连接一路蒸发裂解送料沉积单元和一路粉末雾化送料沉积单元；所述蒸发裂解送料沉积单元至少由蒸发室、裂解室及第一真空泵组成，裂解室的输出端连接沉积室；所述粉末雾化送料沉积单元至少由流化床和喷嘴组成，喷嘴设置在沉积室内，沉积室连通第二真空泵。
[0008]上述方案进一步是:所述沉积室内设有转架，喷嘴固定分布在转架外周。
[0009]本实用新型并列设计多路进料单元连接沉积室，不用对原料进行改性，产品直接在沉积室内通过抽吸式将纳米粉体复合在聚对二甲苯膜中，形成复合式聚对二甲苯功能膜，使其具有抗菌性能、远红外及耐侯功能等。结构简单，科学合理，制作容易，投资成本低，使用简便，符合产业利用，适用面广。
[0010]【专利附图】
【附图说明】:
[0011]附图1为本实用新型较佳实施例结构示意图。
[0012]【具体实施方式】:
[0013]以下结合附图对本实用新型进一步说明:
[0014]参阅图1所示，本实用新型有关一种真空镀复合式聚对二甲苯功能膜的设备，包括有沉积室1，所述沉积室I至少连接一路蒸发裂解送料沉积单元2和一路粉末雾化送料沉积单元3 ;所述蒸发裂解送料沉积单元2至少由蒸发室21、裂解室22及第一真空泵23组成，裂解室22的输出端连接沉积室I ;所述粉末雾化送料沉积单元3至少由流化床31和喷嘴32组成，喷嘴32设置在沉积室I内，沉积室I连通第二真空泵4。在本实施例中，所述沉积室I内设有转架11，方便工件放置沉积加工，喷嘴32固定分布在转架11外周，获得多角度喷覆沉积，使工件表面沉积更均匀。
[0015]工作时，沉积室I通过第二真空泵4抽气获得真空状态，蒸发裂解送料沉积单元2的蒸发室21对相应的聚对二甲苯加热汽化蒸发；然后输送给裂解室22，裂解室22对汽化的聚对二甲苯进行裂解，之后，将聚对二甲苯单体传送沉积室I中沉积成膜，第一真空泵23则对蒸发室21及裂解室22抽真空，以在真空环境下工作。而粉末雾化送料沉积单元3是利用流化床31将纳米粉末颗粒汽态化，再通过喷嘴32喷出，沉积在工件表面上成膜。
[0016]本实用新型并列设计多路进料单元连接沉积室，不用对原料进行改性，产品直接在沉积室内通过抽吸式将纳米粉体复合在聚对二甲苯膜中，形成复合式聚对二甲苯功能膜，使其具有抗菌性能、远红外及耐侯功能等。结构简单，科学合理，制作容易，投资成本低，使用简便，符合产业利用，适用面广。
[0017]当然，以上结合实施方式对本实用新型做了详细说明，只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限定本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。
【权利要求】
1.一种真空镀复合式聚对二甲苯功能膜的设备，包括有沉积室(I)，其特征在于:所述沉积室(I)至少连接一路蒸发裂解送料沉积单元(2)和一路粉末雾化送料沉积单元(3);所述蒸发裂解送料沉积单元(2)至少由蒸发室(21)、裂解室(22)及第一真空泵(23)组成，裂解室(22 )的输出端连接沉积室(I);所述粉末雾化送料沉积单元(3 )至少由流化床(31)和喷嘴(32 )组成，喷嘴(32 )设置在沉积室(I)内，沉积室(I)连通第二真空泵(4 )。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀复合式聚对二甲苯功能膜的设备，其特征在于:所述沉积室(I)内设有转架(11)，喷嘴(32)固定分布在转架(11)外周。
【文档编号】C23C14/12GK203960318SQ201420343149
【公开日】2014年11月26日 申请日期:2014年6月26日 优先权日:2014年6月26日
【发明者】吴子豹 申请人:广东易能纳米科技有限公司