技术总结
本发明公开一种蒸镀坩埚，其包括：坩埚锅体、坩埚盖及加热组件，所述坩埚锅体用于储存蒸镀材料，所述坩埚盖盖合于所述坩埚锅体上，所述坩埚盖具有若干喷孔，所述喷孔用于使汽化后的蒸镀材料分子飞出，所述加热组件设于所述坩埚盖上，且所述加热组件不覆盖所述喷孔，所述加热组件独立地对所述坩埚盖进行加热。本发明还公开一种该蒸镀坩埚的蒸镀方法。本发明在蒸镀过程中以及蒸镀结束过程中，坩埚盖的温度一直保持在材料蒸发温度，并且整个坩埚盖的温度均匀，这样在汽化材料分子通过喷孔时不会在喷孔处凝固，从而避免堵孔现象。
技术研发人员：唐凡;陈永胜
受保护的技术使用者：武汉华星光电技术有限公司
文档号码：201611181033
技术研发日：2016.12.20
技术公布日：2017.05.31