1.一种真空镀膜机的清洗机构，它包括有真空反应室(4)、阳极靶源(7)、真空管(10)和抽真空机(11)；所述阳极靶源(7)设置在真空反应室(4)的内腔顶部；所述真空管(10)的出风端与抽真空机(11)相接通；真空管(10)的进风端与真空反应室(4)的内腔相连通；其特征在于：它还包括有清洗剂桶(1)、进液体管(2)、排液门(13)、锥形漏斗(14)和排液管(16)；所述进液体管(2)一端与清洗剂桶(1)相接通；进液体管(2)另一端与真空反应室(4)相连通；所述进液体管(2)上分别设置有抽液泵(3)和进液截止阀(6)；所述进液截止阀(6)设置在进液体管(2)的出口端；所述真空反应室(4)的外壁设置有电机支架(4-1)；所述电机支架(4-1)上设置有电机(5)；所述电机(5)的转轴端伸入到真空反应室(4)的内腔；所述电机(5)的转轴末端设置有搅拌桨；
所述真空管(10)的进风端设置有真空泵截止阀(9)；所述真空反应室(4)的底部呈开口状；所述排液门(13)铰接在真空反应室(4)的内壁底部；所述排液门(13)的上表面设置有阴极靶座(12)；所述真空反应室(4)的顶部设置有气缸(8)；所述气缸(8)的伸缩轴端伸入到真空反应室(4)的内腔后与排液门(13)的上表面相固定连接；所述锥形漏斗(14)的上端呈开状；所述锥形漏斗(14)与真空反应室(4)之间设置有密封环(14-1)；所述排液门(13)的下表面抵压在密封环(14-1)的上表面；所述锥形漏斗(14)的底端与排液管(16)一端相连通；所述排液管(16)另一端清洗剂桶(1)相接通；所述排液管(16)上连接有排液泵(15)。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的清洗机构，其特征在于：所述真空管(10)的进风端水平高度低于真空管(10)的出风端水平高度。