真空镀膜设备放气阀集成系统的制作方法

本实用新型涉及真空设备技术领域，尤其涉及真空镀膜设备放气阀技术领域。

背景技术：

真空设备要打开炉门前需向真空腔室内放入大气，现有技术中，真空设备放气阀通常放在真空腔室上，而电磁阀往往放在相距较远的气排箱内，每台设备可能设有多个气缸，由此就要引出两根气管接到每个气缸上，线路长且多，造成布线杂乱，而且浪费了空间。

技术实现要素：

为了解决现有真空镀膜设备阀门安装造成的上述问题，本实用新型提供了一种真空镀膜设备放气阀集成系统。

本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案是：真空镀膜设备放气阀集成系统，气缸3上安装连接板5，阀座10安装于连接板5下侧，阀座10上部安装电磁阀组1，电磁阀组1安装于连接板5侧面，阀座10和电磁阀组1通过连接板5连接，电磁阀组1设有电磁阀进气嘴11和电磁阀气嘴12，电磁阀进气嘴11连接气源，气缸气嘴2和电磁阀组气嘴12之间通过气管连接。

阀座10内部与阀盖7之间设有消音器9，阀盖7上部固定于电磁阀组1下部。

所述连接板5通过螺钉4安装于气缸3上。

本实用新型的真空镀膜设备放气阀集成系统，将电磁阀组固定于气缸上，由此电磁阀与气缸的气嘴可直接通过较短的气管连接，实现了线路短小美观、整体结构紧凑、节省空间的目的；同时，从气源处仅需一根气管连接到电磁阀的总进气嘴即可，实现布线美观简约的目的，结构简单、安全、通用性好。

附图说明

图1是本实用新型真空镀膜设备放气阀集成系统结构图。

图2是本实用新型真空镀膜设备电磁阀组主视结构图。

图3是本实用新型真空镀膜设备电磁阀组侧视结构图。

图中：1、电磁阀组，2、气缸气嘴，3、气缸，4、螺钉，5、连接板，6、平垫圈，7、阀盖，8、密封圈，9、消音器，10、阀座，11、电磁阀进气嘴，12、电磁阀组气嘴，13、阀组安装螺钉。

具体实施方式

本实用新型的真空镀膜设备放气阀集成系统结构如图1所示，气缸3上安装连接板5，连接板5通过螺钉4安装于气缸3上，阀座10安装于连接板5下侧，阀座10上部安装电磁阀组1，电磁阀组1通过阀组安装螺钉13安装于连接板5的前侧，阀座10和电磁阀组1通过连接板5连接，电磁阀组1设有电磁阀进气嘴11和电磁阀气嘴12，电磁阀进气嘴11连接气源，气缸气嘴2和电磁阀组气嘴12之间通过气管连接，阀座10内部与阀盖7之间设有消音器9，阀盖7上部固定于电磁阀组1下部，阀盖7与消音器9之间设有密封圈8，阀盖7上部与连接板5之间设有平垫圈6。

电磁阀组装1固定于薄型气缸3上，由此电磁阀组1与薄型气缸3的气嘴可直接通过气管连接，实现了线路短小美观，整体结构紧凑，节省空间的目的。从气源处仅需一根气管连接到电磁阀的总进气嘴即可，实现布线美观简约的目的，结构简单、安全、通用性好。