吸附式硅片涂布旋转台的制作方法
【专利摘要】一种吸附式硅片涂布旋转台，包括台面，其特征在于，在所述台面上设置有与其同心的，且呈阶梯状径向排列的圆环台，在所述台面的边缘设置有向圆心延伸的开口；在所述开口的末端设置有与最内侧的所述圆环台等高的挡板，所述挡板的两端与最内侧的所述圆环台连接，在所述挡板上设置有缺口。本发明通过在台面上设置圆环台，解决了操作人员在放置硅片时与台面不同心的问题，在台面边缘设置开口方便硅片放取；本发明结构简单，不仅实现了可以放置不同直径的硅片，而且成本比夹持式旋转设备底，且不容易损坏。
【专利说明】吸附式硅片涂布旋转台
【技术领域】
[0001] 本发明涉及硅片涂布设备，具体地说是一种吸附式硅片涂布旋转台。
【背景技术】
[0002] 目前，硅片加工涂布工艺中涂布旋转设备主要有两种，一种是夹持式，它设置有夹 持装置，可以将硅片夹持在台面上；另一种是吸附式，它包括台面、转轴、马达、真空泵和开 关，台面设置在转轴的顶端，在转轴的中心轴向设置一通孔，真空泵的吸气端连接到转轴的 中心通孔上，马达用于驱动转轴旋转，台面为圆形平面，台面中心设置有与转轴上的通孔相 同的通孔。吸附式设备在使用时，将硅片放在台面上，按下开关，马达和真空泵同时工作，硅 片被吸附在台面上，开始转动，操作人员用手拿着沾有涂液的毛刷对硅片进行涂层。
[0003] 但是，由于吸附式设备的台面上没有卡位装置，而且台面的直径小于硅片直径，因 此，操作人员很难将硅片放在与台面同心的位置，如果硅片与台面圆心偏离较大，不仅不方 便涂布，而且会造成涂布不均。
【发明内容】
[0004] 为了克服上述现有技术存在的缺点，本发明的目的在于提供一种放置硅片方便， 保证硅片与台面同心的吸附式硅片涂布旋转台。
[0005] 为了解决上述问题，本发明采用以下技术方案：一种吸附式硅片涂布旋转台，包括 台面，其特征在于，在所述台面上设置有与其同心的，且呈阶梯状径向排列的圆环台，在所 述台面的边缘设置有向圆心延伸的开口。
[0006] 进一步的，在所述开口的末端设置有与最内侧的所述圆环台等高的挡板，所述挡 板的两端与最内侧的所述圆环台连接，在所述挡板上设置有缺口。
[0007] 优选的，所述开口包括上下左右对称设置的四个。
[0008] 本发明的有益效果是：它通过在台面上设置圆环台，解决了操作人员在放置硅片 时与台面不同心的问题，在台面边缘设置开口方便硅片放取；本发明结构简单，不仅实现了 可以放置不同直径的硅片，而且成本比夹持式旋转设备底，且不容易损坏。
【专利附图】
【附图说明】
[0009] 下面结合附图和实施例对本发明做进一步的说明： 图1为本发明台面的俯视图； 图2为图1中沿A-A线剖视图。
[0010] 图中，1台面、11圆环台、12开口、2挡板、21缺口。
【具体实施方式】
[0011] 如图1和图2所示，本发明的具体实施例包括台面1，在所述台面1上设置有与其 同心的，且呈阶梯状径向排列的圆环台11，阶梯状为从圆心向外递增，圆环台11的高度与 硅片的高度相同或略小于硅片高度，这样，在涂布时，硅片边缘也能均匀涂抹。
[0012] 为了方便取放硅片，在所述台面1的边缘设置有向圆心延伸的开口 12,开口 12为 半圆弧形，优选的，所述开口 12包括上下对称设置的两个和左右对称设置的两个，这样台 面1就被开口 12分成四个叶片，不仅方便硅片取放，而且节省了材料，降低了成本。
[0013] 为了对硅片产生更大的吸附力，需要将开口 12与圆环台11之间的缝隙减小，本实 施例中，在所述开口 12的末端设置有与最内侧的所述圆环台11等高的挡板2,挡板2与开 口 12末端的弧形相配合，所述挡板2的两端与最内侧的所述圆环台11连接，为了防止硅片 与最内侧的圆环台及挡板2形成密闭空间，在真空泵工作时造成硅片破裂，在所述挡板2上 设置有缺口 21，这样，部分气体可以从缺口 21通过。
[0014] 以上所述只是本发明的优选实施方式，对于本【技术领域】的普通技术人员来说，在 不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也被视为本发 明的保护范围。
【权利要求】
1. 一种吸附式硅片涂布旋转台，包括台面，其特征在于，在所述台面上设置有与其同心 的，且呈阶梯状径向排列的圆环台，在所述台面的边缘设置有向圆心延伸的开口。
2. 根据权利要求1所述的吸附式硅片涂布旋转台，其特征在于，在所述开口的末端设 置有与最内侧的所述圆环台等高的挡板，所述挡板的两端与最内侧的所述圆环台连接，在 所述挡板上设置有缺口。
3. 根据权利要求1或2所述的吸附式硅片涂布旋转台，其特征在于，所述开口包括上下 左右对称设置的四个。
【文档编号】B05C13/02GK104096662SQ201410350810
【公开日】2014年10月15日 申请日期:2014年7月23日 优先权日:2014年7月23日
【发明者】许玉雷 申请人:济南晶博电子有限公司