专利名称：基板处理装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种对半导体基板、液晶显示装置用玻璃基板、光掩膜用玻璃基板、光盘用基板等(以下称为“基板”)进行处理的基板处理装置，特别是涉及为了在存放器容置·搬送单元中高效地搬送存放器而进行的改良。
背景技术：
从以往开始，公知具有存放器容置·搬送单元的基板处理装置，该存放器容置·搬送单元容置存放有基板的存放器的同时，为了在基板处理单元之间交接基板而对存放器进行搬送处理(例如，专利文献1)。这里，专利文献1的基板处理装置具有使加载器10的深度变小而能够减少占地面积的优点。
专利文献1JP特开2002-231785号公报可是，在专利文献1的基板处理装置中，由于加载部的搬送机械手配设在容置货架与加载端口之间，所以在加载端口与加载部之间进行存放器的交接时，需要使搬送机械手退避到适当的位置。
另外，在专利文献1的基板处理装置中，通过一台搬送机械手在容置货架与开启部之间进行搬送。因此，几乎无法同时执行从容置货架向开启部的搬送和从开启部向容置货架的搬送。
发明内容
因此，本发明目的在于提供一种能够在存放器容置·搬送单元中高效地搬送存放器的基板处理装置。
(1).为了解决上述课题，本发明提供一种基板处理装置，其对基板进行处理，其特征在于，具有基板处理单元，其用于对基板进行处理；存放器容置·搬送单元，其与上述基板处理单元并排设置，并容置以及搬送存放基板的存放器；第一装载部，其并排设置在上述存放器容置·搬送单元上，并装载上述存放器，上述存放器容置·搬送单元具有多个货架，其保持上述存放器；第二装载部，其配置在上述基板处理单元与上述多个货架之间，并装载存放器；第一搬送部，其在上述第一装载部与上述多个货架之间搬送存放器；第二搬送部，其在上述多个货架与上述第二装载部之间搬送存放器。
(2).如上述(1)所述的基板处理装置，其特征在于，上述第一搬送部配置在上述第一装载部与上述多个货架之间，同时从上述多个货架的一个方向侧对上述多个货架搬送存放器。
(3).如上述(2)所述的基板处理装置，其特征在于，上述第二搬送部配置在上述基板处理单元与上述多个货架之间，同时从上述多个货架的另一个方向侧对上述多个货架搬送存放器。
(4).如上述(3)所述的基板处理装置，其特征在于，上述第一搬送部以及第二搬送部具有从存放器的下侧保持存放器的保持元件，上述多个货架具有用于使上述保持元件沿铅垂方向通过的通过部。
(5).如上述(4)所述的基板处理装置，其特征在于，上述存放器容置·搬送单元还具有判断部，该判断部可装载存放器的同时，对容置在存放器内的基板的存放状况进行判断。
(6).如上述(5)所述的基板处理装置，其特征在于，上述第一搬送部在上述判断部与上述第一装载部之间进行对存放器的搬送。
(7).如上述(6)所述的基板处理装置，其特征在于，上述存放器容置·搬送单元还具有定向部，其调整基板的位置；第三搬送部，其从装载在上述判断部的存放器中逐张取出基板，并向上述定向部搬送基板，同时将在上述定向部调整过位置的基板向装载在上述判断部的存放器逐张搬送。
(8).如上述(1)所述的基板处理装置，其特征在于，沿着上述铅垂方向以及水平方向二维排列上述多个货架。
(9).如上述(1)所述的基板处理装置，其特征在于，上述存放器容置·搬送单元还具有升降机构，该升降机构保持装载在上述第二装载部上的存放器，同时使其升降。
(10).如上述(5)所述的基板处理装置，其特征在于，上述判断部具有开闭机构，其开闭位于上述判断部的存放器的开闭盖；计数机构，其对存放在存放器中的基板的张数进行计数，该存放器处于通过上述开闭机构被开闭的状态。
(11).如上述(1)所述的基板处理装置，其特征在于，具有开闭机构，具开闭装载在上述第二装载部的存放器的开闭盖。
(12).如上述(11)所述的基板处理装置，其特征在于，上述基板处理单元具有搬送机构，其对于装载在上述第二装载部的存放器进行搬出搬入。
根据上述(1)～(12)所述的发明，能够同步执行在第一装载部与多个货架之间通过第一搬送部执行的搬送处理和在第二装载部与多个货架之间通过第二搬送部执行的搬送处理。因此，能够提高存放器容置·搬送单元、乃至基板处理装置的处理能力。
特别是，根据上述(2)所述的发明，第一搬送部配置在第一装载部与多个货架之间，从而能够容易地访问第一装载部以及多个货架的存放器。
特别是，根据上述(3)所述的发明，第二搬送部配置在多个货架与第二装载部之间，从而能够容易地访问多个货架以及第二装载部的存放器。另外，第一搬送部以及第二搬送部能够从一个方向侧以及另一个方向侧访问装载在多个货架的存放器。因此，能够无需考虑第一搬送部以及第二搬送部在空间上的干涉而设定各搬送部的同步动作。
特别是，根据上述(4)所述的发明，通过使保持存放器的保持元件从通过部经过，而能够从保持元件分别对多个货架直接交接存放器。另外，通过使保持元件从保持在多个货架的存放器的下方上升，而能够从多个货架接收存放器。因此，能够缩短交接存放器的动作所需的时间，从而能够进一步提高存放器容置·搬送单元、乃至基板处理装置的处理能力。
特别是，根据上述(5)所述的发明，能够通过与第二装载部另外设置的判断部来判断存放器中的基板的存放状况。由此，能够同步执行将基板搬送到基板处理单元的处理和判断存放器的存放状况的处理。因此，能够进一步提高存放器容置·搬送单元、乃至基板处理装置的处理能力。
特别是，根据上述(6)所述的发明，能够将装载在第一装载部的存放器搬送到存放器容置·搬送单元的判断部。由此，能够迅速地确认容置在搬入到存放器容置·搬送单元的存放器内的基板的存放状况，从而能够减少确认该存放状况所需的等待时间。因此，能够进一步提高存放器容置·搬送单元、乃至基板处理装置的处理能力。
特别是，根据上述(7)所述的发明，能够同步执行从第二装载部向基板处理单元搬送基板的处理和调整从判断部逐张取出的基板的姿态的定向处理。因此，能够抑制在存放器容置·搬送单元中执行处理的处理能力的降低，同时也能够调整基板的姿态。
特别是，根据上述(8)所述的发明，通过对多个货架进行二维排列，而能够提高从第一搬送部以及第二搬送部的访问效率，同时也能够抑制基板处理装置的占地面积的增大。
特别是，根据上述(9)所述的发明，能够通过升降机构使装载在第二装载部的存放器上升到第二装载部的上方。由此，在使第二搬送部在多个货架与第二装载部之间往复一次的期间，能够将存放器从多个货架向第二装载部搬送，以及能够将存放器从第二装载部向多个货架搬送。因此，能够在存放器容置·搬送单元中高效地搬送存放器。
特别是，根据上述(10)所述的发明，能够对存放在位于判断部的存放器中的基板的张数进行计数。
特别是，根据上述(11)所述的发明，能够开闭装载在第二装载部的存放器的开闭盖。
特别是，根据上述(12)所述的发明，能够通过搬送机构对装载在第二装载部上的存放器进行搬出搬入处理。
图1是表示本发明实施方式中的基板处理装置的全体结构的立体图。
图2是表示本发明实施方式中的FOUP的结构的立体图。
图3是本发明第一实施方式中的装载·卸载部的俯视图。
图4是本发明第一实施方式中的装载·卸载部的正视图。
图5是货架构件以及FOUP的剖视图。
图6是货架构件附近的俯视图。
图7是本发明第二实施方式中的装载·卸载部的俯视图。
图8是本发明第二实施方式中的装载·卸载部的正视图。
图9是本发明第一以及第二实施方式中的第二开闭机构以及搬送机构的侧视图。
图10是本发明第一以及第二实施方式中的第一以及第二开闭机构的侧视图。
具体实施例方式
下面，参照附图并针对本发明的实施方式进行详细的说明。
(第一实施方式)1.1.基板处理装置的构成图1是表示本发明实施方式中的基板处理装置1的全体结构的立体图。基板处理装置1是依次进行以下基板处理的装置，即，将存放在FOUP(frontopening unified pod前开式统一标准箱)80中的一组多个基板(Lot组)从FOUP取出，并对该多个基板进行使用氟酸等药液的蚀刻处理和使用纯水的冲洗处理等。如图1所示，基板处理装置1主要具有加载端口10、装载·卸载部100、基板处理单元200。此外，在图1及以后的各附图中，根据要明确这些结构的方向关系的需要，设有以Z轴方向为铅垂方向、以XY平面为水平面的XYZ正交坐标系。
这里，针对FOUP(存放器)80进行说明。图2是表示FOUP80的结构的立体图。在FOUP80的筐体81上部形成有凸缘82。通过由升降臂171(参照图3以及图4)把持凸缘82，使FOUP80以吊挂的状态被保持。
另外，筐体81的一面(从图2中的箭头AR1的方向观察的面)上设置有盖83。在盖83上设置有相对筐体81的锁定机构。若在将盖83安装在筐体81上的状态下使锁定机构执行其功能，则盖83固定在筐体81上而筐体81内部成为一个密封的闭空间。
由此，在基板处理装置1的外部搬送FOUP80时，将盖83安装在筐体81上并使锁定机构执行其功能，而能够使筐体81内部成为密封空间。因此，FOUP80内部不会受到设置有基板处理装置1的净化间的洁净度的影响而维持高洁净度。
另一方面，当解除上述锁定机构时，能够将盖83从筐体81上打开，从而能够从筐体81的内部取出基板、以及向筐体81的内部存放基板。此外，例如将25片或者13片基板以使其各自的主面沿着水平方向的方式存放到筐体81中。
加载端口(第一装载部)10是装载基板处理装置1的外部的搬送装置(例如，AGV(Automatic Guided Vehicle无人搬运车))、从基板处理装置1的操作员那里交接的FOUP80的装载台。如图1所示，加载端口10与装载·卸载部100并排设置，并在其装载面10a上同时装载有多个(在本实施方式中是4个)FOUP80。
另外，如图1以及图3所示，针对装载·卸载部100的加载端口10侧的侧面，设有多个(在本实施方式中是4个)挡板11。若开放挡板11，则形成连通基板处理装置1的外部空间与装载·卸载部100的内部空间的开口部。
因此，装载·卸载部100的搬送机械手130a(参照图3以及图4)能够通过该开口部在加载端口10与装载·卸载部100的内侧空间之间搬送FOUP80。即，从加载端口10向装载·卸载部100搬送存放有未处理基板的FOUP80。另外，从装载·卸载部100向加载端口10搬送存放有由基板处理单元200处理过的处理完成基板的FOUP80。
装载·卸载部100将装载在加载端口10上的FOUP80暂时容置在其内部，同时被作为将存放有基板的FOUP80向基板处理单元200侧搬送的存放器容置·搬送单元来使用。如图1所示，装载·卸载部100被配置于夹在加载端口10与基板处理单元200之间的部位。
另外，基板处理单元200具有用于在第二装载部160与基板处理单元200之间对基板进行交接的第二开闭机构180以及搬送机构190。如图3以及图9所示，这些第二开闭机构180以及搬送机构190配设在装载·卸载部100的挡板161附近。
图9是基板处理单元200的第二开闭机构180以及搬送机构190的侧视图。另外，图10是第二开闭机构180的侧视图。基板处理单元200的内部具有储存药液的药液槽和储存纯水的水洗槽，并通过将基板储存在这些药液槽和水洗槽中，而对基板实施规定的基板处理。
如图9以及图10所示，第二开闭机构180主要具有锁定部181与升降部182。锁定部181能够与FOUP80的盖83相嵌合。另外，锁定部181安装在可动部182b的一端部。当升降部182的汽缸182a使可动部182b沿着箭头AR2方向(大致为Z轴方向)进退运动时，锁定部181沿着箭头AR2方向升降(参照图9)。进而，锁定部181通过水平移动机构(省略图示)，能够沿着箭头AR3方向(Y轴方向)移动(参照图10)。
因此，若锁定部181以与盖83相嵌合的状态沿着箭头AR2、AR3方向移动，则装载在第二装载部160上的FOUP80的筐体81内部空间被开放或被密封。
搬送机构190主要具有支撑部191与进退部192。搬送机构190在挡板161被开放的同时，装载在第二装载部160上的FOUP80的盖83被打开时，对该FOUP80进行基板的搬出搬入处理。
支撑部191主要具有多个(在本实施方式中是25根或13根)支撑臂191a与安装构件191b。各支撑臂191a向水平方向(大致Y轴方向)延伸的同时沿着铅垂方向(大致Z轴方向)以等间隔配置，并以基板的主面与XY平面大致平行的方式进行支撑。另外，各支撑臂191a的基板处理单元200侧的端部安装在向铅垂方向延伸的安装构件191b上。
另外，安装构件191b的下侧端部设置在进退部192的可动托架192a上。如图9所示，进退部192具有三个托架(可动托架192a、192b、以及固定托架192c)，并各托架从上到下按192a、192b、192c的顺序配设。进而，进退部192的固定托架192c安装在轴支撑在基台193上的旋转轴194上，而使进退部192能够以轴心194c为中心转动。
由此，就进退部192而言，通过使可动托架192b相对于固定托架192c进行进退运动，同时使192a相对于可动托架192b进行进退运动，使支撑部191在实线位置与虚线位置之间移动。因此，存放在FOUP80的筐体81内部的未处理基板，一边由搬送机构190的支撑部191支撑，一边搬入到基板处理单元200内。另外，在基板处理单元200中实施过基板处理的处理完成基板，一边由支撑部191被支撑，一边从基板处理单元200搬出，并存放到FOUP80的筐体81内。
这样，由基板处理单元200的搬送机构190从装载·卸载部100交接到基板处理单元200的基板，通过储存在这些药液槽、水洗槽内，而实施如清洗处理等规定的基板处理。另外，将完成了规定处理的基板由搬送机构190从基板处理单元200搬送到装载·卸载部100。
图1所示的控制单元50具有存储器51，其存储程序和变量；CPU52，其执行根据存储在存储器51中的程序的控制。另外，装载·卸载部100的挡板11、搬送机械手130、以及升降机170(参照图3)等的控制对象，通过没有图示的信号线与控制单元50电连接。因此，CPU52根据存储在存储器51内的程序，使这些控制对象以规定的定时进行工作。
1.2.装载·卸载部的结构图3以及图4分别是本实施方式中的装载·卸载部100的俯视图以及正视图。图5是货架构件141a以及FOUP80的剖视图。图6是货架构件141a附近的俯视图。在这里，针对作为存放器容置·搬送单元来使用的装载·卸载部100进行详细说明。
如图3以及图4所示，装载·卸载部100主要具有两个搬送机械手130(130a、130b)、货架陈列140、两个装载部(第二以及第三装载部160、150)。
另外，如图3所示，配置在装载·卸载部100内的各元件分别沿着水平方向(大致X轴方向)配置，而排成3列。即，在从加载端口10侧开始数起第一列中配设有搬送机械手(第一搬送部)130a、第三装载部(判断部)150。另外，在第二列中配设有货架陈列140。此外，在第三列中配设有搬送机械手(第二搬送部)130b、第二装载部160。
货架陈列140是容置多个(在本实施方式中是16个)FOUP80的容置部。即，在货架陈列140中，不仅容置有已容置未处理基板的FOUP80，还容置行已取出基板后的空的FOUP80。如图3以及图4所示，货架陈列140是将多个货架沿着铅垂方向(Z轴方向)与水平方向(X轴方向)进行二维排列而成的陈列。
多个货架各自具有一对货架构件141a。如图5以及图6所示，各货架构件141a具有大致L字型的形状，并以各货架构件141a的长度方向与Y轴方向大致平行的方式安装在相对应的机架145上。另外，在货架构件141a的装载FOUP80的一侧的面上，设有与设在FOUP80的下部的孔部85相对应的突起部142。因此，通过将一对货架构件141a的突起部142嵌合在FOUP80的孔部85，能够将FOUP80稳定地保持在货架构件141a上。
这样，在本实施方式中，一对货架构件141a作为容置FOUP80的容置货架来使用，另外，将夹在一对货架构件141a之间的区域作为容置FOUP80的容置空间141来使用。
另外，在构成容置货架的两个货架构件141a之间，形成有比搬送机械手130(130a、130b)的前端部139的尺寸更大的开口部146。而且，如图4所示，各开口部146沿着铅垂方向(Z轴方向)配置。
因此，搬送机械手130的前端部139一边通过这些开口部146一边在货架陈列140的内部升降。即，包含在货架陈列140中的多个容置货架的各个开口部146，成为在铅垂方向可通过前端部139的通过部。
如图3所示，搬送机械手130a、130b是分别配置在从货架陈列140观察时的加载端口10侧以及基板处理单元200侧的FOUP搬送部。即，搬送机械手(第一搬送部)130a中间隔着货架陈列140而配设在搬送机械手(第二搬送部)130b的反向侧的位置。
此外，在本实施方式中，两个机械手130a、130b具有大致相同的硬件结构。因此，在以下的说明中，在无需区别搬送机械手130a与搬送机械手130b时，简单地称为“搬送机械手130”。
搬送机械手130的前端部139是从下侧保持FOUP80的保持元件，具有大致呈三角的形状。在前端部139的上表面侧的各顶点附近，设有突起部139a。另外，在FOUP80的下部，设有与突起部139a相对应的三个孔部87(参照图5由于图示的关系，只记载了三个中的两个)。另外，前端部139经由与Z轴大致平行地设置的旋转轴134b而安装在臂部138a上，从而能够以旋转轴134b为中心进行旋转。因此，搬送机械手130一边使前端部139旋转，一边通过将三个突起部139a嵌合到FOUP80上相对应的孔部86中，来稳定保持FOUP80。
进而，臂部138a经由与Z轴大致平行地设置的旋转轴134c而安装在臂部138b上，臂部138b经由旋转轴134a而安装在固定台136上。另外，固定台136可升降地设置在向铅垂方向(Z轴方向)延伸的支柱131上。进而，支柱131能够沿着向水平(X轴方向)方向延伸的导轨132滑动。
由此，搬送机械手130(130a、130b)使被保持在前端部139上的FOUP80沿着货架陈列140在水平方向上移动，同时使其在铅垂方向升降。由此，搬送机械手130a在货架陈列140的容置货架、加载端口10、以及第三装载部150之间搬送FOUP80。另外，搬送机械手130b在货架陈列140的容置货架与第二装载部160之间搬送FOUP80。
搬送机械手130a进行将从加载端口10搬入的FOUP80从加载端口10搬送到货架陈列140的处理、从加载端口10搬送到第三装载部150的处理、从第三装载部150搬送到货架陈列140的处理、将存放在货架陈列140内的FOUP80向加载端口10搬送的处理。
另外，用搬送机械手130b进行将存放在货架陈列140内的FOUP80从货架陈列140搬送到第二装载部160的处理、从第三装载部150向货架陈列140搬送的处理。
这样，搬送机械手130a、130b中间隔着货架陈列140而相对向配置，而能够几乎同时进行多个搬送处理，从而能够提高装载·卸载部100整体上的处理能力。另外，除了访问同一个容置货架时以外，搬送机械手130a、130b能够在空间上互不干涉地执行FOUP80的搬送。因此，能够无需考虑搬送机械手130a、130b的干涉而设定各机械手的动作。
进而，在本实施方式中，在加载端口10与基板处理单元200之间执行的FOUP80的搬送，并不是由加载端口10具有的搬送部来执行，而是由装载·卸载部100的两个搬送机械手130a、130b来执行。因此，在本实施方式中，从加载端口10向基板处理单元200搬送FOUP80时，任何一个搬送机械于130a、130b也不需要退避，从而能够高效地执行FOUP80的搬送。
此外，在搬送机械手130(130a、130b)与货架陈列140的各容置货架之间进行的FOUP80的搬送按照以下的方式进行。即，将FOUP80从搬送机械手130交接到容置货架时，首先，移动搬送机械手130的前端部139，使容置在容置货架内的FOUP80的底部88的高度位置(Z轴方向位置)比货架构件141a(141b、141c)的上面143(参照图5)的高度位置更高。其次，使前端部139下降，从而使一对货架构件141a(141b、141c)的突起部142嵌合到FOUP80的孔部85。
而且，通过进一步使前端部139下降，使FOUP80装载在一对货架构件141a(141b、141c)的上面143上，同时通过使前端部139的突起部139a从孔部87分离，从而结束将FOUP80从搬送机械手130交接到容置货架的处理。
另一方面，将FOUP80从容置货架交接到搬送机械手130时，首先，将搬送机械手130的前端部139移动到装载在容置货架中的FOUP80的下方。接下来，使前端部139上升，从而使前端部139的突起部139a嵌入到FOUP80的孔部87。
而且，通过使前端部139进一步上升，FOUP80由前端部139保持，并且，突起部142从孔部85分离，从而结束将FOUP80从容置货架交接到搬送机械手130的处理。
这样，在搬送机械手130与容置货架之间进行FOUP80的搬送的过程中，FOUP80被移动到货架构件141a(141b、141c)的上方。因此，将容置空间141的高度设定成比FOUP80的高度更高。
第二装载部160为了将存放在FOUP80内的基板交接到基板处理单元200而被使用，并如图3所示，从货架陈列140观察时，其配置在基板处理单元200侧。
货架构件141b与货架构件141a同样是具有大致L字型的形状、且在FOUP80侧的面上具有多个(在本实施方式中是三个)突起部的构件。如图3以及图4所示，货架构件141b配设成使其长度方向与X轴方向大致平行。
另外，在第二装载部160附近的基板处理单元200侧的侧壁上，设有可以沿箭头AR4方向(大致Z轴方向参照图9)升降的挡板161。当开放挡板161时，形成连通装载·卸载部100的内部空间与基板处理单元200的内部空间的开口部。
因此，当在一对货架构件141b上装载有FOUP80时，基板处理单元200的第二开闭机构180打开FOUP80的盖83，同时基板处理单元200的搬送机构190从FOUP80取出未处理基板，并经由因开放挡板161而形成的开口部，而将未处理基板向基板处理单元200内搬送。
另一方面，在基板处理单元200中结束对基板进行的清洗、干燥等处理之后，开放挡板161，搬送机构190通过开口部将处理完成基板向FOUP80内搬送，第二开闭机构180关闭FOUP80的盖83。
第二装载部160的升降机170是使装载在一对货架构件141b上的FOUP80，在装载位置(图4的实线位置)与退避位置(图4的点划线位置)之间升降的升降部。如图4所示，升降机170配设在一对货架构件141b的上方，并具有升降臂171。
升降臂171可以把持形成在FOUP80上方的凸缘82(把持部)，同时也可以解除其把持状态。另外，升降臂171能够通过驱动机构(省略图示)沿着铅垂方向(Z轴方向)升降。
由此，第二装载部160能够一边通过升降臂171来把持凸缘82，一边使向基板处理单元200供给基板并使已空的FOUP80上升到退避位置(图4的点划线位置)。
因此，搬送机械手130b能够紧接着将存放有未处理基板的FOUP80交接到第二装载部160的装载位置的处理，进行从第二装载部160接收上升到退避位置的空的FOUP80的处理。即，使搬送机械手130b在货架陈列140与第二装载部160之间只往复一次，就能够执行存放有基板的FOUP80与空的FOUP80的调换作业。其结果，能够进一步提高在装载·卸载部100中执行的处理的处理能力。
第三装载部150用于执行对存放在从加载端口10搬入的FOUP80内的基板的张数进行确认等的映射(mapping)处理，并配置在从货架陈列140观察为加载端口10侧的位置。即，第三装载部150中间隔着货架陈列140而配设在第二装载部160的反向侧。
另外，在第三装载部150配设有开闭FOUP80的盖83的第一开闭机构185。如图10所示，第一开闭机构185具有与第二开闭机构180同样的硬件结构。因此，当第一开闭机构185的锁定部181与盖83相嵌合的同时向箭头AR2、AR3方向移动时，装载在第二装载部160上的FOUP80的筐体81内部空间被开放或被密封。
货架构件141c与货架构件141a、141b同样是具有大致L字型的形状以及突起部的构件，并以使其长度方向与X轴方向大致水平的方式安装(参照图3以及图4)。进而，如图3所示，第三装载部150具有对存放在内部的基板的张数进行计数的计数机构187。
因此，当在一对货架构件141c上装载有FOUP80时，开闭机构打开FOUP80的盖83，同时计数机构187对存放在FOUP80内部的基板的张数进行计数。这样，将第三装载部150作为对存放在FOUP80内的基板的存放状况进行判断的判断部来使用。
如图4所示，第三装载部150的升降机170是配设在一对货架构件141c的上方的升降部，具有与第二装载部160的升降机170同样的硬件结构。即，第二装载部160的升降机170使装载在一对货架构件141c上的FOUP80，在装载位置(图4的实线位置)与退避位置(图4的点划线位置)之间升降。
由此，第三装载部150能够通过升降臂171来把持凸缘82，同时可使结束映射处理的FOUP80上升到退避位置(图4的点划线位置)。
因此，搬送机械手130a能够紧接着将还未实施映射处理的FOUP80交接到第三装载部150的装载位置的处理，执行从第三装载部150接收实施过映射处理开上升到退避位置的FOUP80的处理。即，使搬送机械手130a在货架陈列140与第二装载部160之间只往复一次，就能够执行结束映射处理的FOUP80与还未实施映射处理的FOUP80的交替作业。其结果，能够进一步提高在装载·卸载部100中执行的处理的处理能力。
这里，在只设有一个开启部的以往的装载·卸载部中，映射处理通常在设在基板处理单元200侧的第二装载部160中执行。即，在第二装载部160中，执行将基板交接到基板处理装置200的处理和映射处理。
因此，在只设有一个开启部时，存放在FOUP80内的基板搬入到基板处理单元200之前，有时需要将其在第二装载部160与货架陈列140之间搬送，而发生搬送工序的浪费。
另外，在映射处理中，基板处理单元200侧的搬送机构(省略图示)无法将基板从第二装载部160搬入到基板处理单元200。因此，会产生这样的不妥在装载·卸载部100执行的处理的处理能力受到第二装载部160中的处理速度的制约。
对此，在本实施方式的装载·卸载部100中，能够同步进行通过第二以及第三装载部160、150将基板搬入到基板处理单元200的处理和映射处理。另外，不需象以往的装载·卸载部那样，在将基板搬入到基板处理单元200之前使FOUP80在货架陈列140与第二装载部160之间往复搬送，从而能够减少在第二装载部160中的处理等待时间。因此，能够进一步提高装载·卸载部100中的搬送的处理能力。
1.3.第一实施方式的基板处理装置优点如上所述，在第一实施方式的基板处理装置1的装载·卸载部100中，中间隔着货架陈列140，在加载端口(第一装载部)10侧配置有搬送机械手(第一搬送部)130a，并在基板处理装置200侧配置有搬送机械手(第二搬送部)130b。由此，除了访问同一容置货架时以外，两个搬送机械手130a、130b能够互不干涉地同步执行FOUP80的搬送。
因此，能够进一步提高在装载·卸载部100执行的搬送的处理能力、以及基板处理装置1的处理能力。另外，能够无需考虑搬送机械手130a、130b的空间上的干涉而设定各搬送机械手130a、130b的动作。
另外，装载·卸载部100具有两个装载部(第二以及第三装载部160、150)，而同步执行在第三装载部150中的映射处理和在第二装载部160中的向基板处理单元200交接基板的处理。即，第二装载部160不需要象以往的装载·卸载部那样执行映射处理，而只要执行基板的交接即可，从而能够减少象以往装置那样的在第二装载部160的处理等待时间。因此，能够进一步提高在装载·卸载部100中的搬送的处理能力、以及基板处理装置1的处理能力。
(第二实施方式)2.第二实施方式接下来，针对本发明的第二实施方式进行说明。第二实施方式中的基板处理装置与第一实施方式中的基板处理装置1相比，除了装载·卸载部500还具有使基板按规定方向定向的定向部以外，其他都与第一实施方式相同。此外，在以下的说明中，对与在第一实施方式的基板处理装置中的结构要素相同的结构要素，附以同一符号。
2.1.基板处理装置的结构图1是表示本实施方式中的基板处理装置400的全体结构的立体图。基板处理装置400是依次进行以下基板处理的装置，即，将存放在FOUP(frontopening unified pod前开式统一标准箱)80中的一组多个基板(Lot组)从FOUP取出，并对该多个基板进行使用氟酸等药液的蚀刻处理和使用纯水的冲洗处理等。如图1所示，基板处理装置400主要具有加载端口10、装载·卸载部500、基板处理单元200。此外，在图1及以后的各附图中，根据要明确这些结构的方向关系的需要，设有以Z轴为铅垂方向、以XY平面为水平面的XYZ正交坐标系。
加载端口(第一装载部)10是装载基板处理装置400外部的搬送装置(例如，AGV(Automatic Guided Vehicle无人搬运车))、从基板处理装置400的操作员那里交接的FOUP80的装载台。如图1所示，加载端口10与装载·卸载部500并排设置，并在其装载面10a上同时装载有多个(在本实施方式中是4个)FOUP80。
另外，如图1以及图7所示，针对装载·卸载部500的加载端口10侧的侧面，设有多个(在本实施方式中是4个)挡板11。若开放挡板11，则形成连通基板处理装置400的外部空间与装载·卸载部500的内部空间的开口部。
因此，装载·卸载部500的搬送机械手130a(参照图7以及图8)能够通过该开口部在加载端口10与装载·卸载部500的内侧空间之间对FOUP80进行搬送。即，从加载端口10向装载·卸载部500搬送存放有未处理基板的FOUP80。另外，将存放有由基板处理单元200处理过的处理完成基板的FOUP80，从装载·卸载部500交接到加载端口10。
装载·卸载部500将装载在加载端口10上的FOUP80暂时容置在其内部，同时被作为将存放有基板的FOUP80向基板处理单元200侧交接的存放器容置·搬送单元来使用。如图1所示，装载·卸载部500被配置于夹在加载端口10与基板处理单元200之间的部位。
另外，基板处理单元200具有用于在第二装载部160与基板处理单元200之间对基板进行交接的第二开闭机构180以及搬送机构190。如图3以及图9所示，这些第二开闭机构180以及搬送机构190配设在装载·卸载部500的挡板161附近。
图9是基板处理单元200的第二开闭机构180以及搬送机构190的侧视图。另外，图10是第二开闭机构180的侧视图。基板处理单元200的内部具有储存药液的药液槽和储存纯水的水洗槽，通过将基板储存在这些药液槽和水洗槽中，对基板实施规定的基板处理。
如图9以及图10所示，第二开闭机构180主要具有锁定部181与升降部182。锁定部181能够与FOUP80的盖83相嵌合。另外，锁定部181安装在可动部182b的一端部。当升降部182的汽缸182a使可动部182b沿着箭头AR2方向(大致为Z轴方向)进退运动时，锁定部181沿着箭头AR2方向升降(参照图9)。进而，锁定部181通过水平移动机构(省略图示)，能够沿着箭头AR3方向(Y轴方向)移动(参照图10)。
因此，若锁定部181以与盖83相嵌合的状态沿着箭头AR2、AR3方向移动，则装载在第二装载部160上的FOUP80的筐体81内部空间被开放或被密封。
搬送机构190主要具有支撑部191与进退部192。搬送机构190在挡板161被开放的同时，装载在第二装载部160上的FOUP80的盖83被打开时，对该FOUP80进行基板的搬出搬入处理。
支撑部191主要具有多个(在本实施方式中是25根或13根)支撑臂191a与安装构件191b。各支撑臂191a向水平方向(大致Y轴方向)延伸的同时沿着铅垂方向(大致Z轴方向)以等间隔配置，并以基板的主面与XY平面大致平行的方式进行支撑。另外，各支撑臂191a的基板处理单元200侧的端部安装在向铅垂方向延伸的安装构件191b上。
另外，安装构件191b的下侧端部设置在进退部192的可动托架192a上。如图9所示，进退部192具有三个托架(可动托架192a、192b、以及固定托架192c)，并各托架从上到下按192a、192b、192c的顺序配设。进而，进退部192的固定托架192c安装在轴支撑在基台193上的旋转轴194上，而使进退部192能够以轴心194c为中心转动。
由此，进退部192通过使可动托架192b相对于固定托架192c进行进退运动，同时使192a相对于可动托架192b进行进退运动，从而使支撑部191在实线位置与虚线位置之间移动。因此，存放在FOUP80的筐体81内部的未处理基板，一边由搬送机构190的支撑部191支撑，一边搬入到基板处理单元200内。另外，在基板处理单元200中实施过基板处理的处理完成基板，一边由支撑部191被支撑，一边从基板处理单元200搬出，并存放到FOUP80的筐体81内。
这样，由基板处理单元200的搬送机构190从装载·卸载部500交接到基板处理单元200的基板，通过储存在这些药液槽、水洗槽内，而实施如清洗处理等规定的基板处理。另外，将完成了规定处理的基板由搬送机构190从基板处理单元200搬送到装载·卸载部500。
图1所示的控制单元50具有存储器51，其存储程序和变量；CPU52，其执行根据存储在存储器51中的程序的控制。另外，装载·卸载部500的挡板11、搬送机械手130、以及升降机170(参照图7)等的控制对象，通过没有图示的信号线与控制单元50电连接。因此，CPU52根据存储在存储器51内的程序，使这些控制对象以规定的定时进行工作。
2.2.装载·卸载部的结构图7以及图8分别是本实施方式中的装载·卸载部500的俯视图以及正视图。图5是货架构件141a以及FOUP80的剖视图。图6是货架构件141a附近的俯视图。在这里，针对作为存放器容置·搬送单元来使用的装载·卸载部500进行详细说明。
如图7以及图8所示，装载·卸载部500主要具有三个搬送机械手130(130a、130b)、530、货架陈列140、两个装载部(第二以及第三装载部160、150)、定向部510。
另外，如图7所示，配置在装载·卸载部500内的各元件分别沿着水平方向(大致X轴方向)配置，而排成3列。即，在从加载端口10侧开始数起第一列中配设有搬送机械手(第一搬送部)130a、第三装载部(判断部)150。另外，在第二列中配设有货架陈列140、定向部510、搬送机械手530。进而，在第三列中配设有搬送机械手(第二搬送部)130b、第二装载部160。
货架陈列140是容置多个(在本实施方式中是14个)FOUP80的容置部。即，在货架陈列140中，不仅容置有已容置未处理基板的FOUP80，还容置有已取出基板后的空的FOUP80。如图7以及图8所示，货架陈列140是将多个货架沿着铅垂方向(Z轴方向)与水平方向(X轴方向)进行二维定向而成的陈列。
多个货架各自具有一对货架构件141a。如图5以及图6所示，各货架构件141a具有大致L字型的形状，并以各货架构件141a的长度方向与Y轴方向大致平行的方式安装在相对应的机架145上。另外，在货架构件141a的装载FOUP80的一侧的面上，设有与设在FOUP80的下部的孔部85相对应的突起部142。因此，通过将一对货架构件141a的突起部142嵌合在FOUP80的孔部85，能够将FOUP80稳定地保持在货架构件141a上。
这样，在本实施方式中，一对货架构件141a作为容置FOUP80的容置货架来使用，另外，将夹在一对货架构件141a之间的区域作为容置FOUP80的容置空间141来使用。
另外，在构成容置货架的两个货架构件141a之间，形成有比搬送机械于130(130a、130b)的前端部139的尺寸更大的开口部146。而且，如图8所示，各开口部146沿着铅垂方向(Z轴方向)配置。
因此，搬送机械手130的前端部139一边通过这些开口部146一边在货架陈列140的内部升降。即，包含在货架陈列140中的多个容置货架的各个开口部146，成为在铅垂方向能够通过前端部139的通过部。
如图7所示，搬送机械手130a、130b是分别配置在从货架陈列140观察时的加载端口10侧以及基板处理单元200侧的FOUP搬送部。即，搬送机械手(第一搬送部)130a中间隔着货架陈列140而配设在搬送机械手(第二搬送部)130b的反向侧的位置。
搬送机械手130的前端部139是从下侧保持FOUP80的保持元件，具有大致呈三角的形状。在前端部139的上表面侧的各顶点附近，设有突起部139a。另外，在FOUP80的下部，设有与突起部139a相对应的三个孔部87(参照图7由于图示的关系上只记载了三个中的两个)。另外，前端部139经由与Z轴大致平行地设置的旋转轴134b而安装在臂部138a上，从而能够以旋转轴134b为中心进行旋转。因此，搬送机械手130一边使前端部139旋转，一边通过将三个突起部139a嵌合到FOUP80上相对应的孔部86中，来稳定保持FOUP80。
进而，臂部138a经由与Z轴大致平行地设置的旋转轴134c而安装在臂部138b上，臂部138b经由旋转轴134a而安装在固定台136上。另外，固定台136可升降地设置在向铅垂方向(Z轴方向)延伸的支柱131上。进而，支柱131能够沿着向水平(X轴方向)方向延伸的导轨132滑动。
由此，搬送机械手130(130a、130b)使被保持在前端部139上的FOUP80沿着货架陈列140在水平方向上移动，同时使其在铅垂方向上升降。由此，搬送机械手130a在货架陈列140的容置货架、加载端口10、以及第三装载部150之间搬送FOUP80。另外，搬送机械手130b在货架陈列140的容置货架与第二装载部160之间搬送FOUP80。
搬送机械手130a进行将从加载端口10搬入的FOUP80从加载端口10搬送到货架陈列140的处理、从加载端口10搬送到第三装载部150的处理、从第三装载部150搬送到货架陈列140的处理、将存放在货架陈列140内的FOUP80向加载端口10搬送的处理。
另外，用搬送机械手130b进行将存放在货架陈列140内的FOUP80从货架陈列140搬送到第二装载部160的处理、从第三装载部150向货架陈列140搬送的处理。
这样，搬送机械手130a、130b中间隔着货架陈列140而相对向配置，而能够在几乎同时进行多个搬送处理，从而能够提高装载·卸载部500整体上的处理能力。另外，除了访问同一容置货架时以外，搬送机械手130a、130b能够在空间上互不干涉地执行FOUP80的搬送。因此，能够无需考虑搬送机械手130a、130b的干涉而设定各机械手的动作。
进而，在本实施方式中，在加载端口10与基板处理单元200之间执行的FOUP80的搬送，并不是由加载端口10具有的搬送部来执行，而是由装载·卸载部500的两个搬送机械手130a、130b来执行。因此，在本实施方式中，从加载端口10向基板处理单元200搬送FOUP80时，任何一个搬送机械手130a、130b也不需要退避，从而能够高效地执行FOUP80的搬送。
此外，在搬送机械手130(130a、130b)与货架陈列140的各容置货架之间进行的FOUP80的搬送按照以下的方式进行。即，将FOUP80从搬送机械手130交接到容置货架时，首先，移动搬送机械手130的前端部139，使容置在容置货架内的FOUP80的底部88的高度位置(Z轴方向位置)比货架构件141a(141b、141c)的上面143(参照图7)的高度位置更高。其次，使前端部139下降，从而使一对货架构件141a(141b、141c)的突起部142嵌合到FOUP80的孔部85。
而且，通过进一步使前端部139下降，使FOUP80装载在一对货架构件141a(141b、141c)的上面143上，同时通过使前端部139的突起部139a从孔部87分离，结束将FOUP80从搬送机械手130交接到容置货架的处理。
另一方面，将FOUP80从容置货架交接到搬送机械手130时，首先，将搬送机械手130的前端部139移动到装载在容置货架中的FOUP80的下方。接下来，使前端部139上升，从而使前端部139的突起部139a嵌入到FOUP80的孔部87。
而且，通过使前端部139进一步上升，FOUP80由前端部139保持，并且，通过突起部142从孔部85分离，而结束将FOUP80从容置货架交接到搬送机械手130的处理。
此外，在搬送机械手130与容置货架之间进行FOUP80的搬送的过程中，FOUP80被移动到货架构件141a(141b、141c)的上方。因此，将容置空间141的高度设定成比FOUP80的高度更高。
第二装载部160为了将存放在FOUP80内的基板交接到基板处理单元200而被使用，并如图7所示，从货架陈列140观察时，其配置在基板处理单元200侧。
货架构件141b与货架构件141a同样是具有大致L字型的形状、且在FOUP80侧的面上具有多个(在本实施方式中是三个)突起部的构件。如图7以及图8所示，货架构件141b配设成使其长度方向与X轴方向大致平行。
另外，在第二装载部160附近的基板处理单元200侧的侧壁上，设有可以沿箭头AR4方向(大致Z轴方向参照图9)升降的挡板161。当开放挡板161时，形成连接装载·卸载部500的内部空间与基板处理单元200的内部空间的开口部。
因此，当在一对货架构件141b上装载有FOUP80时，基板处理单元200的第二开闭机构180打开FOUP80的盖83，同时基板处理单元200的搬送机构190从FOUP80取出未处理基板，并经由因开放挡板161而形成的开口部，而将未处理基板向基板处理单元200内搬送。
另一方面，在基板处理单元200中结束对基板进行的清洗、干燥等处理之后，开放挡板161，搬送机构190通过开口部将处理完成的基板向FOUP80内搬送，第二开闭机构180关闭FOUP80的盖83。
第二装载部160的升降机170是使装载在一对货架构件141b上的FOUP80，在装载位置(图8的实线位置)与退避位置(图8的点划线位置)之间升降的升降部。如图8所示，升降机170配设在一对货架构件141b的上方，并具有升降臂171。
升降臂171可以把持形成在FOUP80上方的凸缘82(把持部)，同时也可以解除其把持状态。另外，升降臂171能够通过驱动机构(省略图示)沿着铅垂方向(Z轴方向)升降。
由此，第二装载部160能够一边通过升降臂171来把持凸缘82，一边使向基板处理单元200供给基板并使已空的FOUP80上升到退避位置(图8的点划线位置)。
因此，搬送机械手130b能够紧接着将存放有未处理基板的FOUP80交接到第二装载部160的装载位置的处理，进行从第二装载部160接收上升到退避位置的空的FOUP80的处理。即，使搬送机械手130b在货架陈列140与第二装载部160之间只往复一次，就能够执行存放有基板的FOUP80与空的FOUP80的调换作业。其结果，能够进一步提高在装载·卸载部500中执行的处理的处理能力。
第三装载部150用于执行对存放在从加载端口10搬入的FOUP80内的基板的张数等进行确认等的映射处理，并配置在从货架陈列140观察为加载端口10侧的位置。即，第三装载部150中间隔着货架陈列140而配设在第二装载部160的相反侧。
另外，在第三装载部150配设有开闭FOUP80的盖83的第一开闭机构185。如图10所示，第一开闭机构185具有与第二开闭机构180同样的硬件结构。因此，当第一开闭机构185的锁定部181与盖83相嵌合的同时向箭头AR2、AR3方向移动时，装载在第二装载部160上的FOUP80的筐体81内部空间被开放或被密封。
货架构件141c与货架构件141a、141b同样是具有大致L字型的形状以及突起部的构件，并以使其长度方向与X轴方向大致水平的方式安装(参照图7以及图8)。进而，如图7所示，第三装载部150具有对存放在内部的基板的张数进行计数的计数机构187。
因此，当在一对货架构件141c上装载有FOUP80时，第一开闭机构185打开FOUP80的盖83，同时计数机构187对存放在FOUP80内部的基板的张数进行计数。这样，将第三装载部150作为对存放在FOUP80内的基板的存放状况进行判断的判断部来使用。
如图8所示，第三装载部150的升降机170是配设在一对货架构件141c的上方的升降部，具有与第二装载部160的升降机170同样的硬件结构。即，第二装载部160的升降机170使装载在一对货架构件141c上的FOUP80，在装载位置(图8的实线位置)与退避位置(图8的点划线位置)之间升降。
由此，第三装载部150能够通过升降臂171来把持凸缘82，同时可使结束映射处理的FOUP80上升到退避位置(图8的点划线位置)。
因此，搬送机械手130a能够紧接着将还未实施映射处理的FOUP80交接到第三装载部150的装载位置的处理，而执行从第三装载部150接收实施过映射处理并上升到退避位置的FOUP80的处理。即，使搬送机械手130a在货架陈列140与第二装载部160之间只往复一次，就能够执行结束映射处理的FOUP80与还未实施映射处理的FOUP80的调换作业。其结果，能够进一步提高在装载·卸载部500中执行的处理的处理能力。
这里，在只设有一个开启部的以往的装载·卸载部中，映射处理通常在设在基板处理单元200侧的第二装载部160中执行。即，在第二装载部160中，执行将基板交接到基板处理装置200的处理和映射处理。
因此，在只设有一个开启部时，存放在FOUP80内的基板搬入到基板处理单元200之前，有时需要将其在第二装载部160与货架陈列140之间搬送，而发生搬送工序的浪费。
另外，在映射处理中，基板处理单元200侧的搬送机构(省略图示)无法将基板从第二装载部160搬入到基板处理单元200。因此，会产生这样的不妥在装载·卸载部500执行处理的处理能力受到第二装载部160中的处理速度的制约。
对此，在本实施方式的装载·卸载部500中，能够同步进行通过第二以及第三装载部160、150将基板搬入到基板处理单元200的处理和映射处理。另外，不需象以往的装载·卸载部那样，在将基板搬入到基板处理单元200之前使FOUP80在货架陈列140与第二装载部160之间往复搬送，从而能够减少在第二装载部160中的处理等待时间。因此，能够进一步提高装载·卸载部500中的搬送的处理能力。
另外，如图7所示，搬送机械手(第三搬送部)530配设在货架陈列140的X轴方向上的延长方向上的、夹在第二以及第三装载部160、150之间的区域(即，第二列)。另外，搬送机械手530被配设成其高度位置(Z轴方向位置)大概与第二以及第三装载部160、150中的FOUP80的装载位置(图8的实线位置)相同。
搬送机械手530具有升降台536，并臂部538b通过与Z轴大致平行配置的旋转轴534a而安装在该升降台536上。臂部538a通过旋转轴534c而安装在该臂部538b上，并用于逐张搬送基板的前端部539，通过旋转轴534b而设置在该臂部538a上。
第三装载部150的第一开闭机构185打开装载在第三装载部150上的FOUP80的盖83之后，通过非接触式的检出部(省略图示)，对FOUP80内的基板检侧出基板的定向面和缺口的位置。接下来，搬送机械手530的前端部539从FOUP80中逐张取出基板，并向定向部510搬送。另外，在定向部510结束基板的定向处理后，搬送机械手530的前端部539从定向部510逐张取出基板并向FOUP80搬送。
定向部510是对每张基板实施定向处理的、所谓的单张式的调整部。如图7所示，其相邻于搬送机械手530设在货架陈列140内。另外，定向部510以其高度位置成为与搬送机械手530大致相同的高度的方式被配设。这里，该定向部510基于定向平面(Orientation flat以下，称为“定向面”)和缺口的位置来调整基板的旋转位置。此时，基于非接触式检出部的检出结果来使基板旋转，并通过调整基板的姿态而使基板的晶体取向指向规定方向，从而结束定向处理。
这样，在装载·卸载部500中执行的定向处理是对从装载在第三装载部150的FOUP80中取出并搬入到定向部510中的基板执行的。即，在执行定向处理时，在第二装载部160没有装载FOUP80。
由此，在装载·卸载部500中，能够同步执行以下处理从第二装载部160向基板处理单元200交接基板的处理；在第三装载部150与定向部510之间逐张交接基板的处理；以及在定向部510中执行的定向处理。因此，能够抑制在装载·卸载部500中执行处理的处理能力的降低，同时也能够在装载·卸载部500中执行定向处理。
另外，定向部510能够通过非接触式检出部来检侧出基板的定向面和缺口，从而与成批处理式调整部相比更加能够抑制异物微粒的产生。因此，定向部510能够抑制基板的处理不良的同时执行定向处理。
2.3.第二实施方式的基板处理装置的优点如上所述，在第二实施方式的基板处理装置400的装载·卸载部500中，中间隔着货架陈列140，在加载端口(第一装载部)10侧配置有搬送机械手(第一搬送部)130a，并在基板处理装置200侧配置有搬送机械手(第二搬送部)130b。由此，除了访问同一容置货架时以外，两个搬送机械手130a、130b能够互不干涉地同步执行FOUP80的搬送。
因此，能够进一步提高在装载·卸载部500执行的搬送的处理能力、以及基板处理装置400的处理能力。另外，能够无需考虑搬送机械手130a、130b的空间上的干涉而设定各搬送机械手130a、130b的动作。
另外，装载·卸载部500具有两个装载部(第二以及第三装载部160、150)，而同步执行在第三装载部150中的映射处理和在第二装载部160中的向基板处理单元200交接基板的处理。即，第二装载部160不需象以往的装载·卸载部那样执行映射处理，而只要执行基板的交接即可，从而能够减少象以往装置那样的在第二装载部160的处理等待时间。因此，能够进一步提高在装载·卸载部500中的搬送的处理能力、以及基板处理装置400的处理能力。
另外，在装载·卸载部500中能够同步执行向基板处理单元200交接基板的处理和定向处理。因此，能够尽可能地抑制装载·卸载部500整体上的处理能力的降低，同时能够执行定向处理。
进而，由于定向部510通过非接触式检出部来检侧出基板的定向面和缺口，因此能够抑制基板的处理不良的同时执行定向处理。
权利要求
1.一种基板处理装置，其对基板进行处理，其特征在于，具有基板处理单元，其用于对基板进行处理；存放器容置·搬送单元，其与上述基板处理单元并排设置，并容置及搬送存放基板的存放器；第一装载部，其与上述存放器容置·搬送单元并排设置在，并装载上述存放器，上述存放器容置·搬送单元具有多个货架，其保持上述存放器；第二装载部，其配置在上述基板处理单元与上述多个货架之间，并装载存放器；第一搬送部，其在上述第一装载部与上述多个货架之间搬送存放器；第二搬送部，其在上述多个货架与上述第二装载部之间搬送存放器。
2.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，上述第一搬送部配置在上述第一装载部与上述多个货架之间，同时从上述多个货架的一个方向侧对上述多个货架搬送存放器。
3.如权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，上述第二搬送部配置在上述基板处理单元与上述多个货架之间，同时从上述多个货架的另一个方向侧对上述多个货架搬送存放器。
4.如权利要求3所述的基板处理装置，其特征在于，上述第一搬送部以及第二搬送部具有从存放器的下侧保持存放器的保持元件，上述多个货架具有用于使上述保持元件沿铅垂方向通过的通过部。
5.如权利要求4所述的基板处理装置，其特征在于，上述存放器容置·搬送单元进一步具有判断部，该判断部装载存放器的同时，对容置在存放器中的基板的存放状况进行判断。
6.如权利要求5所述的基板处理装置，其特征在于，上述第一搬送部在上述判断部与上述第一装载部之间进行存放器的搬送。
7.如权利要求6所述的基板处理装置，其特征在于，上述存放器容置·搬送单元进一步具有定向部，其调整基板的位置；第三搬送部，其从装载在上述判断部的存放器中逐张取出基板，并向上述定向部搬送基板，同时将在上述定向部调整过位置的基板逐张搬送到装载在上述判断部的存放器。
8.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，沿着上述铅垂方向以及水平方向二维排列上述多个货架。
9.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，上述存放器容置·搬送单元进一步具有升降机构，该升降机构保持装载在上述第二装载部的存放器，同时使其升降。
10.如权利要求5所述的基板处理装置，其特征在于，上述判断部具有开闭机构，其开闭位于上述判断部的存放器的开闭盖；计数机构，其对存放在存放器中的基板的张数进行计数，该存放器处于通过上述开闭机构被开闭的状态。
11.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，具有开闭机构，该开闭机构开闭装载在上述第二装载部的存放器的开闭盖。
12.如权利要求11所述的基板处理装置，其特征在于，上述基板处理单元具有搬送机构，该搬送机构对装载在上述第二装载部的存放器进行基板的搬出搬入。
全文摘要
本发明提供一种能够在存放器容置·搬送单元中高效地搬送存放器的基板处理装置。搬送机械手(130a)在加载端口(10)、第三装载部(150)、以及货架陈列(140)之间搬送FOUP(80)。中间隔着货架陈列(140)而配设在搬送机械手(130a)的相反侧的搬送机械手(130b)，在货架陈列(140)以及第二装载部(160)之间搬送FOUP(80)。在第三装载部(150)中，分别进行映射处理、以及将存放在FOUP(80)中的基板向基板处理装置(200)搬送的处理。由此，能够几乎同时进行多个搬送处理。另外，搬送机械手(130a、130b)能够在空间上互不干涉地执行FOUP(80)的搬送处理。
文档编号B65G1/04GK1819135SQ20061000695
公开日2006年8月16日 申请日期2006年1月26日 优先权日2005年1月28日
发明者光吉一郎 申请人:大日本网目版制造株式会社