本实用新型涉及硅片清洗机技术领域，具体涉及一种能够自动回篮的硅片清洗机构。
背景技术：
硅片是一种硅材料通过加工切成一片一片而形成的。从硅材料到可使用的硅片要经过切割、清洗等多道工序。清洗作为硅片的一个生产工序之一，其清洗的好坏对硅片的使用性能有着很大的影响。清洗的主要目的是为了清洗掉切割过程中的产生的砂粒、残留的切削磨料、金属离子及指纹等，使硅片表面达到无腐蚀氧化、无残留等技术指标。
现有硅片清洗常采用一种封闭的硅片清洗机，清洗硅片时要将硅片放在花篮中再进清洗机清洗，清洗后检测工段人员将硅片从花篮里面倒出，再将花篮以及花架用人工返还给清洗工段，对人工需求较大。
技术实现要素：
本实用新型要解决的技术问题是提供一种可以减少人工需求的硅片清洗机构。
为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种自动回篮的硅片清洗机构，包括清洗机和烘干通道，清洗机内设有清洗槽，清洗机的入口处设有上料台，出口连接烘干通道，烘干通道的出口处设有下料台，还包括输送轨道，输送轨道上设置输送带，由电机带动，用于输送硅片花篮和放置花篮的料盘，输送轨道的一端设置在下料台处，另一端设置在上料台处。
进一步的，所述输送带为两层，上层输送带用于运送料盘，下层输送带用于输送花篮。
进一步的，所述输送轨道靠近上料台的端部设有将料框输送至上料台的夹爪机构。
进一步的，所述夹爪机构包括一个可在竖直方向伸缩的夹爪、爪机轨道和驱动装置，驱动装置驱动夹爪在夹爪轨道上水平滑动和夹爪水平方向的伸缩，所述夹爪位于上层输送带的上方。
进一步，所述下层输送带靠近上料口的端部下方还设有一个用于收集花篮的料框，料框的下方设有滑块和螺纹丝杆，料框固定在滑块上，滑块和螺纹丝杆滑动配合，螺纹丝杆在电机的作用下驱动滑块在水平方向上且垂直输送带滑动。
从上述技术方案可以看出本实用新型具有以下优点：一个输送轨道可以配置两台清洗机，无需人工将花篮和料盘从一端搬运至另一端，实现此道工序的自动化。且花篮和料盘分别处于不同的输送带，且输送带下方设置配合的料框，可以有序收集花篮。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细说明。
如图1所示，本实用新型的自动回篮的硅片清洗机构，主要包括清洗机6 和烘干通道8，清洗机6内设有清洗槽。硅片进入清洗机中进行清洗，清洗完成后利用烘干通道进行烘干。清洗机的入口处设有上料台10，出口连接烘干通道 8，烘干通道8出口处设有下料台9，该清洗机构还设有输送轨道，输送轨道上设置输送带5，输送带5由电机带动，输送带5为两层，上层输送带用于运送料盘7，料盘用于放置花篮，下层输送带用于输送花篮，输送轨道的一端设置在下料台处，另一端设置在上料台处。
输送轨道靠近上料台的端部设有将料框输送至上料台的夹爪机构，夹爪机构包括一个可在竖直方向伸缩的夹爪3、爪机轨道4和驱动装置，驱动装置驱动夹爪3在夹爪轨道4上水平滑动和夹爪水平方向的伸缩，所述夹爪位于上层输送带的上方。
下层输送带靠近上料口的端部下方还设有一个用于收集花篮的料框2，料框的2下方设有滑块11和螺纹丝杆1，料框2固定在滑块11上，滑块11和螺纹丝杆1滑动配合，螺纹丝杆1在电机的作用下驱动滑块在水平方向上且垂直输送带滑动，为了便于料框的滑动，在料框的底部还可以设置滚轮，滚轮与地面接触，料框可以收集花篮，且料框可以在水平方向上移动，从而对使花篮在料框中有序排列。
工作时：花篮和料盘从烘干通道的出口入移动到下料台上，人工将硅片从花篮中取出，将花篮和料盘分别放置在下层输送带和下层输送带上。当料盘到位后，夹爪自动抓料盘将料盘放置在上料台上，下层输送带上的花篮自动落入料框，待料框满后，停止下层输送带。一个输送轨道可以配置两台清洗机，无需人工将花篮和料盘从一端搬运至另一端。