1.一种自动回篮的硅片清洗机构，包括清洗机和烘干通道，清洗机内设有清洗槽，清洗机的入口处设有上料台，出口连接烘干通道，烘干通道的出口处设有下料台，其特征在于：还包括输送轨道，输送轨道上设置输送带，由电机带动，用于输送硅片花篮和放置花篮的料盘，输送轨道的一端设置在下料台处，另一端设置在上料台处。
2.根据权利要求1所述的自动回篮的硅片清洗机构，其特征在于：所述输送带为两层，上层输送带用于运送料盘，下层输送带用于输送花篮。
3.根据权利要求2所述的自动回篮的硅片清洗机构，其特征在于：所述输送轨道靠近上料台的端部设有将料框输送至上料台的夹爪机构。
4.根据权利要求3所述的自动回篮的硅片清洗机构，其特征在于：所述夹爪机构包括一个可在竖直方向伸缩的夹爪、夹爪轨道和驱动装置，驱动装置驱动夹爪在夹爪轨道上水平滑动和夹爪水平方向的伸缩，所述夹爪位于上层输送带的上方。
5.根据权利要求4所述的自动回篮的硅片清洗机构，其特征在于：所述下层输送带靠近上料口的端部下方还设有一个用于收集花篮的料框，料框的下方设有滑块和螺纹丝杆，料框固定在滑块上，滑块和螺纹丝杆滑动配合，螺纹丝杆在电机的作用下驱动滑块在水平方向上且垂直输送带滑动。