技术总结
本实用新型公开了一种自动回篮的硅片清洗机构，涉及硅片清洗机技术领域，包括清洗机和烘干通道，清洗机内设有清洗槽，清洗机的入口处设有上料台，出口连接烘干通道，烘干通道的出口处设有下料台，还包括输送轨道，输送轨道上设置输送带，由电机带动，用于输送硅片花篮和放置花篮的料盘，输送轨道的一端设置在下料台处，另一端设置在上料台处。一个输送轨道可以配置两台清洗机，无需人工将花篮和料盘从一端搬运至另一端，实现此道工序的自动化。且花篮和料盘分别处于不同的输送带，且输送带下方设置配合的料框，可以有序收集花篮。
技术研发人员：张健
受保护的技术使用者：江苏奥明能源有限公司
文档号码：201621493193
技术研发日：2016.12.30
技术公布日：2017.08.22