专利名称：电池镀膜设备中石英管的检测装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及太阳能电池镀膜设备，尤其涉及其中石英管的检测装置。
技术背景PECVD是太阳能电池片等离子体化学沉积镀膜法的简称，在太阳能电池的生产过 程中，对硅片镀膜是提高太阳能吸收效率的关键技术，根据硅片的光电转换发电原理，光线 照射到硅片上存在反射，硅片的光学损失和复合损失都会使太阳能电池的输出低于理想 值，对硅片表面进行镀膜处理是目前工业化生产应用层面上的成熟技术，目前，硅片镀膜多 数采用平板式等离子体化学沉积法，即通过PECVD在硅片表面形成一层减反射膜。太阳能电池镀膜设备的化学沉积镀膜原理是在密闭的真空沉积源中装有多根真 空石英管，在每根真空石英管中放有一根铜管，向沉积源中通入硅烷和氨气，再通过电控部 分使真空石英管中的铜管发射出微波，在高温条件下，沉积源中的硅烷、氨气和硅片进行反 应生成氮化硅，氮化硅会慢慢沉积在电池片表面上，从而实现硅片镀膜。由于氮化硅具有良 好的减反射性能，因此在硅片的吸光面进行镀膜可以大幅度提高太阳能电池的吸光效率。由于石英管具有极其稳定的物理和化学性能，其膨胀系数极小，能够承受剧烈的 温度变化，因而被广泛应用于太阳能电池镀膜设备中。在太阳能电池镀膜设备中，石英管质 量的好坏对整个工艺过程至关重要，如果石英管存在缺陷，外界气体就会进入沉积源，会直 接影响硅烷、氨气与硅片的反应，直接影响硅片的镀膜的质量，甚至会引发爆炸事故，因此， 必须对太阳能电池镀膜设备中的石英管进行耐压气密性检查。目前，所有太阳能电池生产 企业都没有相应的自检装置，给产品质量和操作者的生产安全带来极大隐患
实用新型内容
本实用新型的目的是为太阳能电池生产企业提供一种电池镀膜设备中石英管的 检测装置，它能对太阳能电池镀膜设备中的石英管进行耐压气密性检查，能精确查找石英 管是否存在质量隐患，避免因石英管质量缺陷影响正常的镀膜生产和质量，确保工作人员 和生产设备的安全。本实用新型所采用的技术方案是本实用新型所述电池镀膜设备中石英管的检测装置，其特征是它包括待检石英 管、上密封塞、下密封塞、真空计、阀门、真空泵、通气管和硅胶密封圈，上密封塞和下密封塞 塞装在待检石英管的两端，使待检石英管内形成密闭容腔，真空计、阀门和真空泵三者由通 气管串接后与待检石英管内的密闭容腔相通。进一步，在待检石英管与上密封塞和下密封塞的密封段设有硅胶密封圈。具体检验方法打开真空泵，使阀门处于开启状态，由于真空泵不断工作，使待检 石英管的密闭容腔内真空度不断提高，当真空度达到预定值时，记录观察真空计上的读数， 然后关闭阀门和真空泵，经过一定时间的漏气试验，再次记录真空计上的读数，将真空计的 前后读数进行对比，若前后一致，则说明待检石英管质量可靠，能正常安装使用。相反，则说
3明待检石英管存在质量隐患，不能使用。由于本实用新型能够模拟真空管的实际工作受压状态进行检测，通过对密闭的待 检石英管进行抽真空，经过一定时间观察其内的真空度是否会变化，以此来判定待检石英 管是否存在质量隐患，避免因石英管质量缺陷影响正常的镀膜生产和质量，确保工作人员 和生产设备的安全。
图1为本实用新型的结构示意图；图2为待检石英管与上密封塞、下密封塞的连接示意图。图中1_待检石英管；2-上密封塞；3-下密封塞；4-真空计；5-阀门；6_真空泵； 7-通气管；8-硅胶密封圈。
具体实施方式
本实用新型所述电池镀膜设备中石英管的检测装置，如图1、图2所示，它由待检 石英管1、上密封塞2、下密封塞3、真空计4、阀门5、真空泵6、通气管7和硅胶密封圈8组 成，上密封塞2和下密封塞3通过硅胶密封圈8气密性地塞装在待检石英管1的两端，使待 检石英管1内形成密闭容腔，真空计4、阀门5和真空泵6三者由通气管7串接后与待检石 英管1内的密闭容腔相通。具体检验方法打开真空泵6，使阀门5处于开启状态，由于真空泵6不断工作，使 待检石英管1的密闭容腔内真空度不断提高，当真空度达到预定值时，记录观察真空计4上 的读数，然后关闭阀门5，经过10分钟时间，再次记录真空计4上的读数，将真空计4的前后 读数进行对比，若前后一致，则说明待检石英管1质量可靠，能正常安装使用。相反，则说明 待检石英管1存在质量隐患，不能使用。
权利要求一种电池镀膜设备中石英管的检测装置，其特征是它包括待检石英管(1)、上密封塞(2)、下密封塞(3)、真空计(4)、阀门(5)、真空泵(6)、通气管(7)和硅胶密封圈(8)，上密封塞(2)和下密封塞(3)塞装在待检石英管(1)的两端，使待检石英管(1)内形成密闭容腔，真空计(4)、阀门(5)和真空泵(6)三者由通气管(7)串接后与待检石英管(1)内的密闭容腔相通。
2.根据权利要求1所述电池镀膜用石英管的检测装置，其特征是在待检石英管(1) 与上密封塞(2)和下密封塞(3)的密封段设有硅胶密封圈(8)。
专利摘要本实用新型公开了一种电池镀膜设备中石英管的检测装置，它包括待检石英管、上密封塞、下密封塞、真空计、阀门、真空泵、通气管和硅胶密封圈，上密封塞和下密封塞塞装在待检石英管的两端，使待检石英管内形成密闭容腔，真空计、阀门和真空泵三者由通气管串接后与待检石英管内的密闭容腔相通。使用本实用新型能对太阳能电池镀膜设备中的石英管进行耐压气密性检查，能准确可靠地判定待检石英管是否存在质量隐患，避免因石英管质量缺陷影响正常的镀膜生产和质量，确保工作人员和生产设备的安全。
文档编号G01M3/28GK201666844SQ201020142989
公开日2010年12月8日 申请日期2010年3月19日 优先权日2010年3月19日
发明者姚伟忠 申请人:常州亿晶光电科技有限公司