有机电致发光器件及其制备方法
【专利摘要】一种有机电致发光器件，包括依次层叠的玻璃基底、阳极、空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层及阴极，所述空穴注入层的材料为包覆有二氧化钛的镧系氧化物，所述镧系氧化物选自二氧化镨、三氧化二镨、三氧化镱及氧化钐中的至少一种，其中，所述二氧化钛的粒径为5nm～20nm，上述有机电致发光器件的出光效率较高。本发明还提供一种有机电致发光器件的制备方法。
【专利说明】有机电致发光器件及其制备方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及一种有机电致发光器件及其制备方法。
【背景技术】
[0002]有机电致发光器件的发光原理是基于在外加电场的作用下，电子从阴极注入到有机物的最低未占有分子轨道(LUMO)，而空穴从阳极注入到有机物的最高占有轨道(HOMO)。电子和空穴在发光层相遇、复合、形成激子，激子在电场作用下迁移，将能量传递给发光材料，并激发电子从基态跃迁到激发态，激发态能量通过辐射失活，产生光子，释放光能。
[0003]在传统的发光器件中，器件内部的光只有18%左右是可以发射到外部去的，而其他的部分会以其他形式消耗在器件外部，界面之间存在折射率的差(如玻璃与ITO之间的折射率之差，玻璃折射率为1.5，ITO为1.8，光从ITO到达玻璃，就会发生全反射)，引起了全反射的损失，从而导致整体出光性能较低。
【发明内容】
[0004]基于此，有必要提供一种出光效率较高的有机电致发光器件及其制备方法。
[0005]—种有机电致发光器件，包括依次层叠的玻璃基底、阳极、空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层及阴极，所述空穴注入层的材料为包覆有二氧化钛的镧系氧化物，所述镧系氧化物选自二氧化镨、三氧化二镨、三氧化镱及氧化钐中的至少一种，其中，所述二氧化钛的粒径为5nm?20nm。
[0006]所述空穴注入层的厚度为10nnT80nm。
[0007]所述发光层的材料选自4- (二腈甲基)-2_ 丁基-6- (1，1，7，7_四甲基久洛呢啶-9-乙烯基)-4H-吡喃、9，10- 二 - β -亚萘基蒽、4，4’ -双(9-乙基-3-咔唑乙烯基)-1, I’ -联苯及8-羟基喹啉铝中的至少一种。
[0008]所述电子传输层的材料选自4，7-二苯基-1，10-菲罗啉、1，2，4-三唑衍生物及N-芳基苯并咪唑中的至少一种。
[0009]一种有机电致发光器件的制备方法，包括以下步骤:
[0010]在在玻璃基底的背面磁控溅射制备阳极，所述阳极的表面电子束制备空穴注入层，所述空穴注入层的材料为包覆有二氧化钛的镧系氧化物，所述镧系氧化物选自二氧化镨、三氧化二镨、三氧化镱及氧化钐中的至少一种，其中，所述二氧化钛的粒径为5nm?20nm,及
[0011 ] 在所述空穴注入层的表面依次蒸镀制备空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层及阴极。
[0012]所述空穴注入层的厚度为10nnT40nm。
[0013]所述制备空穴注入层的具体步骤为，将所述四氯化钛配置成溶液，所述四氯化钛溶液的摩尔浓度为20mmol/l?60mmol/l,然后在所述所述四氯化钛溶液中加入IOmg?IOOmg的所述镧系氧化物，在温度为50°C?100°C条件下保温加热20分钟?60分钟，过滤洗涤后煅烧，得到包覆有二氧化钛的镧系氧化物，将所述包覆有二氧化钛的镧系氧化物，采用电子束制备，得到空穴注入层。
[0014]所述煅烧的温度为400°C~600°C，煅烧时间为20分钟~60分钟。
[0015]所述空穴注入层采用电子束制备，所述电子束制备在真空压力为
5X KT5Pa~2 X KT3Pa 下进行，能量密度为 10W/cm2 ~100W/cm2。
[0016]所述磁控溅射在真空压力为5X10-5Pa~2X10_3Pa下进行，加速压力为300V~800V，磁场为50G~200G，功率密度为lW/cnT40W/cm2。
[0017]上述有机电致发光器件及其制备方法，通过在阳极表面制备空穴注入层，该空穴注入层中的镧系氧化物的HOMO能级较低，在-6.5eV以下，与有机层的HOMO能级比较匹配，降低了界面势垒，可有效提高空穴注入能力，在镧系氧化物表面包覆二氧化钛，二氧化钛能够增加比表面积，提高光的散射能力，使材料之间的连接更加的紧密，提高空穴传输性能，同时在可见光范围内有较高的透过率，可以对光进行散射，这种结构可以极大的提高有机电致发光器件的出光效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0018]图1为一实施方式的有机电致发光器件的结构示意图；
[0019]图2为一实施方式的有机电致发光器件的制备方法的流程图； [0020]图3为实施例1制备的有机电致发光器件的电流密度与流明效率关系图。
【具体实施方式】
[0021]下面结合附图和具体实施例对有机电致发光器件及其制备方法进一步阐明。
[0022]请参阅图1，一实施方式的有机电致发光器件100包括依次层叠的玻璃基底20、阳极30、空穴注入层40、空穴传输层50、发光层60、电子传输层70、电子注入层80及阴极90。
[0023]玻璃基底20为折射率为1.8~2.2的玻璃，在400nm透过率高于90%。玻璃基底20优选为牌号为 N-LAF36、N-LASF31A、N-LASF41A 或 N-LASF44 的玻璃。
[0024]阳极30形成于玻璃基底20的表面。阳极30的材料包括铟锡氧化物(ΙΤ0)、铝锌氧化物(AZO)及铟锌氧化物(IZO)中的至少一种。阳极30的厚度为80nnT300nm。优选的厚度为120nm。
[0025]空穴注入层40形成于阳极30的表面。空穴注入层40为包覆有二氧化钛的镧系氧化物，所述镧系氧化物选自二氧化镨、三氧化二镨、三氧化镱及氧化钐中的至少一种，其中，所述二氧化钛的粒径为5nm~20nm。
[0026]空穴注入层40的厚度为10nnT80nm。
[0027]空穴传输层50形成于空穴注入层40的表面。空穴传输层50的材料选自1，1_ 二[4-[N，N' -二(?-甲苯基)氨基]苯基]环己烷(丁六卩0、4，4’，4''-三(咔唑-9-基)三苯胺(TCTA)及N，N’ - (1-萘基)-N，N’ - 二苯基-4,4’ -联苯二胺(NPB)中的至少一种。空穴传输层50的厚度为40-80nm。
[0028]发光层60形成于空穴传输层50的表面。发光层60的材料选自4- (二腈甲基)-2-丁基-6-( 1，1，7，7-四甲基久洛呢啶-9-乙烯基)-4H-吡喃(DCJTB)、9，10-二 - β -亚萘基蒽(ADN)、4，4’_双(9-乙基-3-咔唑乙烯基)-1，I’-联苯(BCzVBi )及8-羟基喹啉铝(Alq3)中的至少一种,优选为Alq3。发光层60的厚度为5nnT40nm,优选为15nm。
[0029]电子传输层70形成于发光层60的表面。电子传输层70的材料选自4，7-二苯基-1，10-菲罗啉(Bphen)、l，2，4-三唑衍生物(如TAZ)及N-芳基苯并咪唑(TPBI)中的至少一种，优选为TAZ。电子传输层70的厚度为40nnT250nm，优选为200nm。
[0030]电子注入层80形成于电子传输层70的表面。电子注入层80的材料选自碳酸铯(Cs2C03)、氟化铯(CsF)、叠氮铯(CsN3)及氟化锂(LiF)中的至少一种，优选为LiF。电子注入层80的厚度为0.5nm?IOnm,优选为0.7nm。
[0031 ] 阴极90形成于电子注入层80的表面。阴极90的材料选自银(Ag)、铝(Al)、钼(Pt)及金(Au)中的至少一种，优选为Al。阴极90的厚度为80nnT250nm,优选为200nm。
[0032]上述有机电致发光器件100，通过在阳极30与空穴传输层50之间制备空穴注入层40，该空穴注入层40中的镧系氧化物的HOMO能级较低，在-6.5eV以下，与有机层的HOMO能级比较匹配，降低了界面势垒，可有效提高空穴注入能力，在镧系氧化物表面包覆二氧化钛，二氧化钛能够增加比表面积，提高光的散射能力，使材料之间的连接更加的紧密，提高空穴传输性能，同时在可见光范围内有较高的透过率，可以对光进行散射，这种结构可以极大的提高有机电致发光器件的出光效率。
[0033]可以理解，该有机电致发光器件100中也可以根据需要设置其他功能层。
[0034]请同时参阅图2，一实施例的有机电致发光器件100的制备方法，其包括以下步骤:
[0035]步骤S110、在玻璃基底20的背面采用磁控溅射法制备阳极30。
[0036]玻璃基底20为折射率为1.8?2.2的玻璃，在400nm透过率高于90%。玻璃基底20优选为牌号为 N-LAF36、N-LASF31A、N-LASF41A 或 N-LASF44 的玻璃。
[0037]阳极30的材料包括铟锡氧化物(ΙΤ0)、铝锌氧化物(AZO)及铟锌氧化物(ΙΖ0)中的至少一种。阳极30的厚度为80nnT300nm。优选的厚度为120nm。
[0038]磁控溅射在真空压力为5 X KT5Pa?2 X KT3Pa下进行，加速压力为300V?800V，磁场为50G?200G，功率密度为lW/cm2?40W/cm2。
[0039]本实施方式中，玻璃基底20在使用前用蒸馏水、乙醇冲洗干净后，放在异丙醇中浸泡I小时?5小时。
[0040]步骤S120、在阳极30的表面电子束制备空穴注入层40。
[0041]所述空穴注入层40的材料为包覆有二氧化钛的镧系氧化物，所述镧系氧化物选自二氧化镨、三氧化二镨、三氧化镱及氧化钐中的至少一种，其中，所述二氧化钛的粒径为5nm ?20nmo
[0042]所述制备空穴注入层的具体步骤为，将所述四氯化钛配置成溶液，所述四氯化钛溶液的摩尔浓度为20mmol/l?60mmol/l,然后在所述所述四氯化钛溶液中加入IOmg?IOOmg的所述镧系氧化物，在温度为50°C?100°C条件下保温加热20分钟?60分钟，过滤洗涤后煅烧，得到包覆有二氧化钛的镧系氧化物，将所述包覆有二氧化钛的镧系氧化物，采用电子束制备，得到空穴注入层。
[0043]所述煅烧的温度为400°C?600°C，煅烧时间为20分钟?60分钟。
[0044]所述电子束制备在真空压力为5X10-5Pa?2X10_3Pa下进行，能量密度为IOW/cm2 ?IOOW/cm2。[0045]步骤S130、在空穴注入层40的表面依次蒸镀形成空穴传输层50、发光层60、电子传输层70、电子注入层80及阴极90。
[0046]空穴传输层50形成于空穴注入层40的表面。空穴传输层50的材料选自1，1_ 二[4-[N，N' -二(?-甲苯基)氨基]苯基]环己烷(丁六卩0、4，4’，4''-三(咔唑-9-基)三苯胺(TCTA)及N，N’ - (1-萘基)-N，N’ - 二苯基-4,4’ -联苯二胺(NPB)中的至少一种。空穴传输层50的厚度为4(T80nm。蒸镀在真空压力为5 X 10_5Pa~2 X 10_3Pa下进行，蒸镀速率为 0.lnm/s~lnm/s。
[0047]发光层60形成于空穴传输层50的表面。发光层60的材料选自4- (二腈甲基)-2-丁基-6-( 1，1，7，7-四甲基久洛呢啶-9-乙烯基)-4H-吡喃(DCJTB)、9，10-二 - β -亚萘基蒽(ADN)、4，4’_双(9-乙基-3-咔唑乙烯基)-1，I’-联苯(BCzVBi )及8-羟基喹啉铝(Alq3)中的至少一种,优选为Alq3。发光层60的厚度为5nnT40nm,优选为30nm。蒸镀在真空压力为5X10_5Pa~2X10_3Pa下进行，蒸镀速率为0.lnm/s~lnm/s。
[0048]电子传输层70形成于发光层60的表面。电子传输层70的材料选自4，7_ 二苯基-1，10-菲罗啉(Bphen)、l，2，4-三唑衍生物(如TAZ)及N-芳基苯并咪唑(TPBI)中的至少一种，优选为TAZ。电子传输层70的厚度为40nnT250nm，优选为200nm。蒸镀在真空压力为5 X 10 5Pa~2 X 10 3Pa下进行，蒸锻速率为0.lnm/s~lnm/s。
[0049]电子注入层80形成于电子传输层70的表面。电子注入层80的材料选自碳酸铯(Cs2C03)、氟化铯(CsF)、叠氮铯(CsN3)及氟化锂(LiF)中的至少一种，优选为LiF。电子注入层80的厚度为0.5nnTl0nm，优选为0.7nm。蒸镀在真空压力为5 X 10_5Pa~2 X 10_3Pa下进行，蒸镀速率为0.lnm/s^lnm/so
[0050]阴极90形成于电子注入层80的表面。阴极90的材料选自银(Ag)、铝(Al)、钼(Pt)及金(Au)中的至少一种,优选为Al。阴极90的厚度为80nnT250nm,优选为200nm。蒸镀在真空压力为5X10-5Pa~2Xl(T3Pa下进行，蒸镀速率为lnm/s~10nm/s。
[0051]上述有机电致发光器件制备方法，制备工艺简单；制备的有机电致发光器件的出
光效率较高。
[0052]以下结合具体实施例对有机电致发光器件的制备方法进行详细说明。
[0053]本发明实施例及对比例所用到的制备与测试仪器为:高真空镀膜系统(沈阳科学仪器研制中心有限公司)，美国海洋光学Ocean Optics的USB4000光纤光谱仪测试电致发光光谱，美国吉时利公司的Keithley2400测试电学性能，日本柯尼卡美能达公司的CS-100A色度计测试电流密度和色度。
[0054]实施例1
[0055]本实施例制备结构为/玻璃基底/IT0/Pr02:Ti02/NPB/Alq3/TAZ/CsF/Ag的有机电致发光器件。
[0056] 玻璃基底为N-LASF44，将玻璃基底用蒸馏水、乙醇冲洗干净后，放在异丙醇中浸泡一个晚上。采用磁控溅射的方式在玻璃基底表面制备阳极，阳极材料为ΙΤ0，厚度为120nm，磁控溅射的条件为压强为8X 10_4Pa，加速电压400V，磁场100G，功率密度25W/cm2，采用电子束的方式在阳极表面制备空穴注入层，空穴注入层的材料为包覆有二氧化钛的PrO2,其中，二氧化钛的粒径为10nm，将四氯化钛40mmol/l的溶液中加入2g PrO2搅拌，然后在70°C下保温，时间为30分钟，采用蒸馏水和无水乙醇依次洗涤后在500°C条件下煅烧30分钟，得到包覆有二氧化钛的PrO2，采用电子束在压强为8 X 10_4Pa，能量密度为20W/cm2的条件下制备空穴注入层，得到空穴注入层的厚度为60nm，蒸镀制备空穴传输层:所选材料为NPB，空穴传输层的厚度为60nm,蒸镀制备发光层:所选材料为Alq3,厚度为15nm ;蒸镀制备电子传输层，材料为TAZ，厚度为220nm ;蒸镀制备电子注入层、材料为CsF，厚度为1.5nm ;蒸镀制备阴极，材料为Ag，厚度为150nm;最后得到所需要的电致发光器件。制备的工作压强为8 X10_4Pa，有机材料的蒸镀速率为0.2nm/s，金属及金属氧化物材料的蒸镀速率为2nm/s。
[0057]请参阅图3，所示为实施例1中制备的结构为/玻璃基底/IT0/Pr02:Ti02/NPB/Alq/TAZ/CsF/Ag的有机电致发光器件(曲线I)与对比例制备的结构为:ΙΤ0玻璃/MoO3/NPB/Alq/TAZ/CsF/Ag的有机电致发光器件(曲线2)的流明效率与电流密度的关系。对比例制备有机电致发光器件的步骤及各层厚度与实施例1均相同。
[0058]从图上可以看到，实施例1的流明效率都比对比例的要大，实施例1的流明效率为
3.91m/W，而对比例的仅为2.91m/W，而且对比例的流明效率随着电流密度的增大而快速下降，这说明，中的镧系氧化物的HOMO能级较低，在-6.5eV以下，与有机层的HOMO能级比较匹配，降低了界面势垒，可有效提高空穴注入能力，在镧系氧化物表面包覆二氧化钛，二氧化钛能够增加比表面积，提高光的散射能力，使材料之间的连接更加的紧密，提高空穴传输性能，这种结构可以极大的提高有机电致发光器件的出光效率。
[0059]以下各个实施例制备的有机电致发光器件的流明效率都与实施例1相类似，各有机电致发光器件也具有类似的流明效率，在下面不再赘述。
[0060]实施例2
[0061]本实施例制备结构为/玻璃基底/AZ0/Pr203:Ti02/NPB/ADN/Bphen/LiF/Pt的有机电致发光器件。
[0062]玻璃基底为N-LAF36，将玻璃基底用蒸馏水、乙醇冲洗干净后，放在异丙醇中浸泡一个晚上；采用磁控溅射的方式在玻璃基底表面制备阳极，阳极材料为ΑΖ0，厚度为300nm，磁控溅射的条件为压强为2X 10_3Pa，加速电压300V，磁场50G，功率密度lW/cm2，采用电子束的方式在阳极表面制备空穴注入层，空穴注入层的材料为包覆有二氧化钛的Pr2O3，其中，二氧化钛的粒径为5nm,将四氯化钛20mmol/l的溶液中加入IgPr2O3搅拌,然后在70°C下保温，时间为30分钟，采用蒸馏水和无水乙醇依次洗涤后在500°C条件下煅烧30分钟，得到包覆有二氧化钛的Pr2O3,采用电子束在压强为2X 10_3Pa，能量密度为lOOW/cm2条件下制备空穴注入层，得到空穴注入层的厚度为80nm，蒸镀制备空穴传输层:所选材料为NPB，空穴传输层的厚度为40nm,蒸镀制备发光层:所选材料为ADN,厚度为8nm;蒸镀制备电子传输层，材料为Bphen,厚度为65nm ;蒸镀制备电子注入层、材料为LiF,厚度为0.5nm ;蒸镀制备阴极，材料为Pt，厚度为SOnm ;最后得到所需要的电致发光器件。制备的工作压强为2X10_3Pa，有机材料的蒸镀速率为lnm/s，金属及金属氧化物材料的蒸镀速率为lOnm/s。
[0063]实施例3
[0064]本实施例制备结构为/ 玻璃基底 /IT0/Yb203: Ti02/TCTA/DCJTB/TPBi/Cs2C03/Au 的有机电致发光器件。
[0065]玻璃基底为N-LASF31A，将玻璃基底用蒸馏水、乙醇冲洗干净后，放在异丙醇中浸泡一个晚上；采用磁控溅射的方式在玻璃基底表面制备阳极，阳极材料为IT0，磁控溅射的条件为压强为5 X W5Pa,加速电压800V，磁场50G，功率密度40W/cm2，采用电子束的方式在阳极表面制备空穴注入层，空穴注入层的材料为包覆有二氧化钛的Yb2O3，其中，二氧化钛的粒径为20nm，将四氯化钛60mmol/l的溶液中加入5g Yb2O3搅拌，然后在100°C下保温，时间为20分钟，采用蒸馏水和无水乙醇依次洗涤后在400°C条件下煅烧40分钟，得到包覆有二氧化钛的Yb2O3，采用电子束在压强为5X 10_5Pa，能量密度为lOW/cm2条件下制备空穴注入层，得到空穴注入层的厚度为10nm，蒸镀制备空穴传输层:所选材料为TCTA，空穴传输层的厚度为80nm，蒸镀制备发光层:所选材料为DCJTB，厚度为IOnm ;蒸镀制备电子传输层，材料为TPBi，厚度为200nm ;蒸镀制备电子注入层、材料为Cs2CO3，厚度为IOnm ;蒸镀制备阴极，材料为Au，厚度为IOOnm;最后得到所需要的电致发光器件。制备的工作压强为5X 10_5Pa，有机材料的蒸镀速率为0.lnm/s,金属及金属氧化物材料的蒸镀速率为lnm/s。
[0066]实施例4
[0067]本实施例制备结构为玻璃基底/Ti02/Sm203:Ti02/TAPC/BCzVBi/TAZ/CsN3/Al 的有机电致发光器件。
[0068]玻璃基底为N-LASF41A，将玻璃基底用蒸馏水、乙醇冲洗干净后，放在异丙醇中浸泡一个晚上；采用磁控溅射的方式在玻璃基底表面制备阳极，阳极材料为IT0，磁控溅射的条件为压强为2X10_4Pa，加速电压550V，磁场100G，功率密度35W/cm2，采用电子束的方式在阳极表面制备空穴注入层，空穴注入层的材料为为包覆有二氧化钛的镧系氧化物，其中，二氧化钛的粒径为IOnm,将四氯化钛50mmol/l的溶液中加入2g Sm2O3搅拌,然后在60°C下保温，时间为30分钟，采用蒸馏水和无水乙醇依次洗涤后在450°C条件下煅烧30分钟，得到包覆有二氧化钛的镧系氧化物，采用电子束在压强为2X 10_4Pa，能量密度为20W/cm2条件下制备空穴注入层，得到空穴注入层的厚度为25nm，蒸镀制备空穴传输层:所选材料为TAPC，空穴传输层的厚度为50nm，蒸镀制备发光层:所选材料为BCzVBi，厚度为40nm ;蒸镀制备电子传输层，材料为TAZ，厚度为35nm ;蒸镀制备电子注入层、材料为CsN3，厚度为3nm ；蒸镀制备阴极，材料为Al，厚度为250nm;最后得到所需要的电致发光器件。制备的工作压强为2 X10_4Pa，有机材料的蒸镀速率为0.5nm/s，金属及金属氧化物材料的蒸镀速率为6nm/s。
[0069]以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【权利要求】
1.一种有机电致发光器件，其特征在于，包括依次层叠的玻璃基底、阳极、空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层及阴极，所述空穴注入层为包覆有二氧化钛的镧系氧化物，所述镧系氧化物选自二氧化镨、三氧化二镨、三氧化镱及氧化钐中的至少一种，其中，所述二氧化钛的粒径为5nm?20nm。
2.根据权利要求1所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述空穴注入层的厚度为10nm?80nmo
3.根据权利要求1所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述发光层的材料选自4- (二腈甲基)-2- 丁基-6- (1，1，7，7-四甲基久洛呢啶-9-乙烯基)-4H-吡喃、9，10- 二 - β -亚萘基蒽、4，4’ -双(9-乙基-3-咔唑乙烯基)-1，I’ -联苯及8-羟基喹啉铝中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述电子传输层的材料选自4，7- 二苯基-1，10-菲罗啉、1，2，4-三唑衍生物及N-芳基苯并咪唑中的至少一种。
5.一种有机电致发光器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤: 在玻璃基底的背面磁控溅射制备阳极，所述阳极的表面电子束制备空穴注入层，所述空穴注入层的材料为包覆有二氧化钛的镧系氧化物，所述镧系氧化物选自二氧化镨、三氧化二镨、三氧化镱及氧化衫中的至少一种，其中，所述二氧化钛的粒径为5nm?20nm,及 在所述空穴注入层的表面依次蒸镀制备空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层及阴极。
6.根据权利要求5所述的有机电致发光器件的制备方法，其特征在于:所述空穴注入层的厚度为10nnT40nm。
7.根据权利要求5所述的有机电致发光器件的制备方法，其特征在于:所述制备空穴注入层的具体步骤为，将所述四氯化钛配置成溶液，所述四氯化钛溶液的摩尔浓度为20mmol/l?60mmol/l,然后在所述所述四氯化钛溶液中加入IOmg?IOOmg的所述镧系氧化物，在温度为50°C?100°C条件下保温加热20分钟?60分钟，过滤洗涤后煅烧，得到包覆有二氧化钛的镧系氧化物，将所述包覆有二氧化钛的镧系氧化物，采用电子束制备，得到空穴注入层。
8.根据权利要求5所述的有机电致发光器件的制备方法，其特征在于:所述煅烧的温度为400°C?600°C，煅烧时间为20分钟?60分钟。
9.根据权利要求5所述的有机电致发光器件的制备方法，其特征在于:所述空穴注入层采用电子束制备，所述电子束制备在真空压力为5X 10_5Pa?2X 10_3Pa下进行，能量密度为 10W/cm2 ?100W/cm2。
10.根据权利要求5所述的有机电致发光器件的制备方法，其特征在于:所述磁控溅射在真空压力为5 X KT5Pa?2 X KT3Pa下进行，加速压力为300V?800V，磁场为50G?200G，功率密度为lW/cnT40W/cm2。
【文档编号】H01L51/56GK104009163SQ201310059561
【公开日】2014年8月27日 申请日期:2013年2月26日 优先权日:2013年2月26日
【发明者】周明杰, 王平, 黄辉, 张振华 申请人:海洋王照明科技股份有限公司, 深圳市海洋王照明技术有限公司, 深圳市海洋王照明工程有限公司