半导体元件及其制作方法与流程

文档序号:12066059阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开一种半导体元件及其制作方法。该半导体元件包含:一基底,二栅极结构,设置在该基底的一通道区的上方,一外延层,设置该两栅极结构之间的该基底内,以及一第一错位,位于该外延层内,其中该第一错位的剖面由至少两不平行的斜线组成,以及一第二错位,该第二错位邻近于该外延层的一上表面,且该第二错位的剖面由至少两不平行的斜线组成。

技术研发人员:刘恩铨;童宇诚
受保护的技术使用者:联华电子股份有限公司
文档号码:201510769647
技术研发日:2015.11.12
技术公布日:2017.05.24

当前第3页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1