自动硅片清洗机的制作方法

文档序号:11921751阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种自动硅片清洗机,包括若干并排相邻排列的清洗槽(300)、若干用于承载硅片的承载篮(400)、设置在清洗槽(300)上方的平移机构、通过升降机构与平移机构连接的搬运装置,其特征在于:所述搬运装置包括顶板(500)、若干个抓放机构以及若干个下压机构(540),所述下压机构(540)包括水平设置的压杆(541)、若干竖直固定在压杆(541)上的活动杆(542),所述活动杆(542)的顶端与所述顶板(500)连接。

2.根据权利要求1所述的自动硅片清洗机,其特征在于:所述抓放机构包括若干组对称设置的抓放臂(520)、连接抓放臂(520)与所述顶板(500)的转轴(521)以及驱动所述抓放臂(520)转动的驱动件。

3.根据权利要求2所述的自动硅片清洗机,其特征在于:所述承载篮(400)的两侧对称设置有相互平行的顶边(410),所述顶边(410)两端的侧面开设有凹槽(411)。

4.根据权利要求3所述的自动硅片清洗机,其特征在于:所述抓放臂(520)的下端固定有若干个抓放架(530),所述抓放架(530)包括两根呈“L”型设置的竖直杆(532),所述抓放机构夹持所述承载篮(400)时所述竖直杆(532)与所述凹槽(411)卡合。

5.根据权利要求4所述的自动硅片清洗机,其特征在于:每一个抓放架(530)的两个所述竖直杆(532)的水平段连接成一体设置的水平杆(531)。

6.根据权利要求4所述的自动硅片清洗机,其特征在于:所述顶板(500)固定有一竖直的导向套(501),所述活动杆(542)通过所述导向套(501)与所述顶板(500)滑动连接,所述下压机构(540)还包括有弹性件,所述弹性件的两端分别固定在所述导向套(501)和所述活动杆(542)上。

7.根据权利要求6所述的自动硅片清洗机,其特征在于:所述弹性件套设在所述活动杆(542)的上部,所述弹性件的顶端固定在所述导向套(501)的底端,所述弹性件的底端固定在所述活动杆(542)的中部。

8.根据权利要求6所述的自动硅片清洗机,其特征在于:所述活动杆(542)的顶端穿过所述导向套(501)固定有一限位件。

9.根据权利要求1所述的自动硅片清洗机,其特征在于:所述压杆(541)两端的底面开设有卡槽(5411)。

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