硅片慢提拉清洗槽的制作方法

文档序号:13341241阅读:1706来源:国知局
硅片慢提拉清洗槽的制作方法

本实用新型涉及太阳能电池片制备技术领域,尤其是一种硅片慢提拉清洗槽。



背景技术:

在太阳能电池片制备过程中,硅片需要经过酸洗去除硅片表面氧化物,然后硅片需经过水洗,接着烘干后进入下一道工序,现有的硅片水洗采用单一的清洗槽、提升机构、工装篮及托架等,在冷水中进行简单的下方,停留一段时候后,由机械手来慢提升花篮实现脱水并转移至烘干槽,由于机械手在抓取花篮时,机械爪会浸没在水槽内的水中,偶尔会发生机械手上提花篮时,机械手上的水珠滴落到烘干槽的硅片上从而导致硅片有水返工,这种单一的清洗槽,为了确保硅片脱水,需要机械手非常缓慢的提升花篮,显然会严重影响硅片的生产效率。



技术实现要素:

本实用新型要解决的技术问题是:为了解决现有技术中硅片脱水效率低且在慢提花篮过程中容易有水珠滴落在硅片上的问题,现提供一种硅片慢提拉清洗槽。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种硅片慢提拉清洗槽,包括用于清洗硅片的水槽,所述水槽上具有开口向上的清洗腔,所述水槽的顶端位于清洗腔开口的两侧分别设置有热风刀及挡风板,所述热风刀内具有风腔,所述热风刀的内表面开设有若干与风腔连通的出风孔道,所述出风孔道的轴线由外至内向下倾斜,所述挡风板的内侧面由外至内向上倾斜。

本方案中花篮承载硅片在水槽的清洗腔中浸没清洗,清洗后,由机械手夹持花篮从水槽中慢提出转移至烘干槽,其中,压缩空气或氮气源连接热风刀的风腔,压缩空气或氮气经过风腔的出风孔道喷出气流,机械手在慢提花篮时,气流可以把机械手上的粘附的水珠吹掉,保持机械手上无水珠残留,杜绝机械手在进入烘干槽的时候水珠滴在硅片上的风险;热风刀喷出的气流均匀的流过花篮内硅片的表面,由于出风孔道的轴线由外至内向下倾斜,因此对水珠有一个向下的作用力,而且使得水槽上半空间保持干燥,这样可以有效提升慢提拉机械手的速度,从而提升产量;挡风板可以使气流在水槽上半部空间反射,提高吹拂效果。

为了提高热风刀气流吹拂的效果,进一步地,所述热风刀的内侧面为斜面,所述斜面由外至内向上倾斜。

为了提高对硅片的清洗效果及提升脱水效率,进一步地,所述水槽的侧方设置有热水溢流槽,所述热水溢流槽上具有溢流孔,所述溢流孔与水槽的清洗腔连通,通过热水溢流槽保持水槽内水的温度,从而提高硅片表面脱水效果,并且实现水槽内水的更换,保持水槽内环境清洁可以持续生产。

本实用新型的有益效果是:本实用新型的硅片慢提拉清洗槽具有脱水效果好、清洁度高、对硅片表面无损伤且不易留下水痕等优点,硅片进行脱水处理后,硅片表面不会留下水痕,热风刀的设置可以有效提升慢提拉速度,实现快速下降提升,以配合不同的清洗工艺要求。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型硅片慢提拉清洗槽的示意图;

图2是图1中A的局部放大示意图。

图中:1、水槽,1-1、清洗腔,2、热风刀,2-1、风腔,2-2、出风孔道,3、挡风板,4、热水溢流槽,4-1、溢流孔,5、花篮。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本实用新型的基本结构,因此其仅显示与本实用新型有关的构成,方向和参照(例如,上、下、左、右、等等)可以仅用于帮助对附图中的特征的描述。因此,并非在限制性意义上采用以下具体实施方式,并且仅仅由所附权利要求及其等同形式来限定所请求保护的主题的范围。

实施例1

如图1和2所示,一种硅片慢提拉清洗槽,包括用于清洗硅片的水槽1,水槽1上具有开口向上的清洗腔1-1,水槽1的顶端位于清洗腔1-1开口的两侧分别设置有热风刀2及挡风板3,热风刀2内具有风腔2-1,热风刀2的内表面开设有若干与风腔2-1连通的出风孔道2-2,出风孔道2-2的轴线由外至内向下倾斜,挡风板3的内侧面由外至内向上倾斜。

热风刀2的内侧面为斜面,斜面由外至内向上倾斜。

水槽1的侧方设置有热水溢流槽4,热水溢流槽4上具有溢流孔4-1,溢流孔4-1与水槽1连通,通过热水溢流槽4保持水槽1内水的温度,从而提高硅片表面脱水效果,并且实现水槽1内水的更换,保持水槽1内环境清洁可以持续生产,热水溢流槽4内泵入纯水,热水溢流槽4内的水经加热装置如电阻丝的加热保持水温在60℃,热水溢流槽4内水位达到溢流孔4-1高度时会不断的向水槽1中供水。

压缩空气或氮气源泵入热风刀2的风腔2-1,压缩空气或氮气经过风腔2-1的出风孔道2-2喷出气流,热风刀2上具有加热装置使得喷出的气流保持在一定温度,机械手在向上慢提拉花篮5实现硅片脱水时,气流可以把机械手上的粘附的水珠吹掉,保持机械手上无水珠残留,杜绝机械手在进入烘干槽的时候水珠滴在硅片上的风险;热风刀2喷出的气流均匀的流过花篮5内硅片的表面,由于出风孔道2-2的轴线由外至内向下倾斜,因此对水珠有一个向下的作用力,而且使得水槽1上半空间保持干燥,这样可以有效提升慢提拉机械手的速度,从而提升产量;挡风板3可以使气流在水槽1上半部空间反射,提高吹拂效果。

上述依据本实用新型的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

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