用于系统级封装的硅通孔转接板的制作方法

文档序号:16863283发布日期:2019-02-15 19:58阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于系统级封装的硅通孔转接板,其特征在于,包括:

Si衬底(101);

第一TSV区(102)和第二TSV区(103),位于所述Si衬底(101)内且上下贯通所述Si衬底(101),所述第一TSV区(102)和所述第二TSV区(103)内填充的材料为多晶硅;

第一隔离区(104)和第二隔离区(105),位于所述第一TSV区(102)和所述第二TSV区(103)之间;

三极管器件区(106),位于所述第一隔离区(104)和所述第二隔离区(105)之间;

第一互连线(1071)和第二互连线(1072),设置于所述第一TSV区(102)的第一端面、所述第二TSV区(103)的第一端面和所述三极管器件区(106)上,用于连接所述第一TSV区(102)的第一端面、所述第二TSV区(103)的第一端面和所述三极管器件区(106);

铜凸点(108),设置于所述第一TSV区(102)的第二端面和所述第二TSV区(103)的第二端面之上;

所述第一TSV区(102)的第二端面和所述第二TSV区(103)的第二端面上依次设置有钨插塞和铜凸点(108)。

2.根据权利要求1所述的硅通孔转接板,其特征在于,所述三极管器件区(106)包括:器件沟槽(1061)、三极管的埋层(1062)、三极管的集电极接触区(1063)、三极管的基区接触区(1064)和三极管的发射区(1065);其中,所述三极管的埋层(1062)位于所述器件沟槽(1061)下端;所述三极管的集电极接触区(1063)、所述三极管的基区接触区(1064)和所述三极管的发射区(1065)位于所述器件沟槽(1061)内。

3.根据权利要求2所述的硅通孔转接板,其特征在于,所述第一TSV区(102)的第一端面与所述三极管的基区接触区(1064)和所述三极管的发射区(1065)通过所述第一互连线(1071)连接;所述第二TSV区(103)的第一端面与所述三极管的集电极接触区(1063)通过所述第二互连线(1072)连接。

4.根据权利要求3所述的硅通孔转接板,其特征在于,所述第一TSV区(102)的第一端面、所述三极管的基区接触区(1064)和所述三极管的发射区(1065)与所述第一互连线(1071)之间设置有钨插塞;所述第二TSV区(103)的第一端面和所述三极管的集电极接触区(1063)与所述第二互连线(1072)之间均设置有钨插塞。

5.根据权利要求4所述的硅通孔转接板,其特征在于,所述第一互连线(1071)和所述第二互连线(1072)的材料为铜。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1