基板搬运方法及基板处理装置的制造方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及基板搬运方法以及搬运基板的基板处理装置。
【背景技术】
[0002] 对基板实施处理的基板处理装置具有多种。例如，专利文献1的基板处理装置形 成为，经由基板翻转单元以及基板载置部，将用于聚集未处理基板以及已处理基板的分度 器区块和对基板进行清洗等处理的处理区块连接。在分度器区块以及处理区块上分别配置 有各区块专用的搬运机械手。
[0003] 在专利文献1中公开了分度器区块用搬运机械手（主机械手），其具有被独立进退 驱动的两个臂部。另外，在该两个臂部各自的前端设置有基板保持手部，该基板保持手部能 够保持两张基板，因此能够搬运共计4张基板。
[0004] 现有技术文献
[0005] 专利文献
[0006] 专利文献1 :JP特开2010-45214号公报
[0007] 但是，在本文献中，没有公开在一系列的基板处理中，主机械手应该在哪个时刻访 问哪个处理单元。因此，不能够在一系列的基板处理中，对应于不同的状况确切地设定各基 板的搬运时间表。
【发明内容】
[0008] 本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种能够在一系列的基板处理 中，对应于不同的状况确切地设定各基板的搬运时间表，来提高基板处理装置的生产率的 技术。
[0009] 为了解决上述问题，第一方式的基板搬运方法，通过基板搬运部能够同时从处理 段或向该处理段搬运N张基板，该处理段能够同时保持M张基板，该M为由2以上的整数M 规定的数，该N为由不是所述整数M的约数的2以上的整数N规定的数，在由1~N的整数 k规定的N个变量ik分别为0以上且M/N以下的任意的整数，并且满足算式1时，
【主权项】
1. 一种基板搬运方法，通过基板搬运部能够同时从处理段或向该处理段搬运N张基 板，该处理段能够同时保持M张基板，该M为由2以上的整数M规定的数，该N为由不是所 述整数M的约数的2以上的整数N规定的数，其特征在于， 在由1~N的整数k规定的N个变量ik分别为O以上且M/N以下的任意的整数，并且 满足算式1时，
反复执行基板搬运循环，在所述基板搬运循环中执行将基板搬运步骤进行ik次的 搬运工序，在所述基板搬运步骤中，通过所述基板搬运部同时从处理段或向该处理段搬运 Ν-k+l张基板，所述基板搬运步骤的次数由所述N个变量ik中的作为自然数的各变量规定。
2. 根据权利要求1所述的基板搬运方法，其特征在于， 所述Π 为自然数。
3. 根据权利要求1或2所述的基板搬运方法，其特征在于， 所述处理段为具有多个基板处理单元的基板处理部， 各所述基板处理单元一张张地保持所述基板并进行处理， 在所述基板处理部中能够并行处理的所述基板处理单元的数量为所述M时，基于所述 算式1，反复执行所述基板搬运循环。
4. 根据权利要求3所述的基板搬运方法，其特征在于， 所述基板搬运循环包括： 第一工序，使同时从所述基板处理部或向该基板处理部搬运所述N张基板的基板搬运 步骤进行与通过所述整数M除以所述整数N的除法所得到的整数的商一致的次数； 第二工序，使从所述基板处理部或向该基板处理部同时搬运与通过所述整数M除以所 述整数N的除法所得到的余数一致的张数的所述基板的基板搬运步骤进行一次。
5. 根据权利要求1或2所述的基板搬运方法，其特征在于， 基于在所述处理段中指定应该保持所述基板的区域的流程规则，来决定所述整数M。
6. -种基板搬运方法，使用能够同时保持Ml张基板的第一处理段、能够同时保持M2张 基板的第二处理段、在依次向所述第一处理段以及所述第二处理段搬运基板时能够保持N 张基板的基板搬运部，所述Ml为由2以上的整数Ml规定的数，所述M2为由2以上的整数 M2规定的数，所述N为由不是所述整数Ml以及所述整数M2中的至少一个的约数的2以上 的整数N规定的数，该基板搬运方法的特征在于， 在所述整数Ml和所述整数M2的最大公约数为整数M3,1~N的整数k所规定的变量 ik分别为O以上且（M3/N)以下的任意的整数，并且满足算式2时，
通过所述基板搬运部反复执行基板搬运循环，在所述基板搬运循环中执行将基板搬运 步骤进行ik次的搬运工序，在所述基板搬运步骤中，依次进行同时向所述第一处理段搬运 Ν-k+l张基板的动作、从所述第一处理段搬出该Ν-k+l张基板的动作以及同时向所述第二 处理段搬运该Ν-k+l张基板的动作，所述基板搬运步骤的次数由所述N个变量ik中的作为 自然数的各变量规定。
7. 根据权利要求6所述的基板搬运方法，其特征在于， 所述Π 为自然数。
8. 根据权利要求6或7所述的基板搬运方法，其特征在于， 所述第一处理段为具有多个第一基板处理单元的第一基板处理部， 各所述第一基板处理单元一张张地保持所述基板并进行处理， 所述第二处理段为具有多个第二基板处理单元的第二基板处理部， 各所述第二基板处理单元一张张地保持所述基板保持并进行处理， 在所述第一基板处理部中能够并行处理的所述第一基板处理单元的数量为所述整数 M1，在所述第二基板处理部中能够并行处理的所述第二基板处理单元的数量为所述整数M2 时，基于所述算式2,反复执行所述基板搬运循环。
9. 根据权利要求7所述的基板搬运方法，其特征在于， 所述基板搬运循环包括： 第一工序，使依次执行同时向所述第一处理段搬运所述N张基板的动作以及同时从所 述第一处理段搬出且向所述第二处理段搬运该N张基板的动作的基板搬运步骤进行与通 过所述整数M3除以所述整数N的除法所得到的整数的商一致的次数； 第二工序，使同时向所述第一处理段搬运然后同时从所述第一处理段搬出且向所述第 二处理段搬运与通过所述整数M3除以所述整数N的除法所得到的余数一致的张数的基板 的基板搬运步骤进行一次。
10. 根据权利要求6或7所述的基板搬运方法，其特征在于， 基于在所述各处理段中指定应该保持所述基板的区域的流程规则决定所述整数Ml以 及所述整数M2。
11. 一种基板处理装置，其特征在于， 具有： 处理段，其同时保持由2以上的整数M规定的M张基板； 基板搬运部，其能够同时从所述处理段或向该处理段搬运由不是所述整数M的约数的 2以上的整数N规定的N张基板； 控制部，其在由1~N的整数k规定的N个变量ik分别为0以上且M/N以下的任意的 整数，并且满足算式1时，
使所述基板搬运部反复执行基板搬运循环，在所述基板搬运循环中执行将基板搬运步 骤进行ik次的搬运工序，在所述基板搬运步骤中，同时从所述处理段或向该处理段搬运所 述Ν-k+l张基板，所述基板搬运步骤的次数由所述N个变量ik中的作为自然数的各变量规 定。
12. -种基板处理装置，其特征在于， 具有： 第一处理段，其同时保持由2以上的整数Ml规定的Ml张基板； 第二处理段，其同时保持由2以上的整数M2规定的M2张基板； 基板搬运部，其在依次向所述第一处理段以及所述第二处理段搬运基板时，能够保持 由不是所述整数Ml以及所述整数M2中的至少一个的约数的2以上的整数N规定的N张基 板； 控制部，其在所述整数Ml和所述整数M2的最大公约数为整数M3,1~N的整数k所规 定的N个变量ik分别为O以上且（M3/N)以下的任意的整数，并且满足算式2时，
使所述基板搬运部反复执行基板搬运循环，在所述基板搬运循环中执行将基板搬运步 骤进行ik次的搬运工序，在所述基板搬运步骤中，依次进行同时向所述第一处理段搬运所 述Ν-k+l张基板的动作、从所述第一处理段搬出该Ν-k+l张基板的动作以及同时向所述第 二处理段搬运该Ν-k+l张基板的动作，所述基板搬运步骤的次数由所述N个变量ik中的作 为自然数的各变量规定。
【专利摘要】本发明提供一种能够提高基板处理装置的生产率的技术。通过基板搬运部能够同时从处理段或向该处理段搬运N张基板，该处理段能够同时保持M张基板，该M为由2以上的整数M规定的数，该N为由不是整数M的约数的2以上的整数N规定的数，由此，在1～N的整数k所规定的N个变量ik分别为0以上且M/N以下的任意的整数，并且满足M＝N×i1+……+1×iN的关系时，反复执行基板搬运循环，在该基板搬运循环中执行将基板搬运步骤进行ik次的搬运工序，在该基板搬运步骤中，通过基板搬运部从处理段或向该处理段同时搬运N-k+1张基板，基板搬运步骤的次数由N个变量ik中的作为自然数的各变量规定。
【IPC分类】H01L21-677
【公开号】CN104658953
【申请号】CN201410676179
【发明人】冈田吉文
【申请人】斯克林集团公司
【公开日】2015年5月27日
【申请日】2014年11月21日
【公告号】US20150139760