有机发光显示设备和制造有机发光显示设备的方法
【专利说明】
[0001] 本申请要求于2014年10月14日在韩国知识产权局提交的第10-2014-0138613 号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请的公开通过引用全部包含于此。
技术领域
[0002] 本发明的一个或更多个示例性实施例涉及有机发光显示设备和制造有机发光显 示设备的方法。
【背景技术】
[0003] 有机发光显示设备是包括空穴注入电极、电子注入电极和形成在空穴注入电极与 电子注入电极之间的有机发射层的自发射显示设备，在有机发射层中，从空穴注入电极注 入的空穴和从电子注入电极注入的电子复合，从而发射光。有机发光显示设备具有诸如功 耗低、亮度高和响应时间快的各种高质量特性，因此，已经作为下一代显示设备受到关注。
【发明内容】
[0004] 本发明的一个或更多个示例性实施例包括具有改善的显示质量和良率的有机发 光显示设备以及制造有机发光显示设备的方法。
[0005] 将在下面的描述中部分地阐述附加方面，并且附加方面将部分地通过该描述而明 显，或者可以通过给出的实施例的实践而获知。
[0006] 根据本发明的一个或更多个示例性实施例，有机发光显示设备包括：基底；薄膜 晶体管，位于基底上并包括有源层、栅电极、源电极和漏电极；第一层间绝缘层，位于栅电极 与源电极之间并且位于栅电极与漏电极之间，第一层间绝缘层包括无机材料；第二层间绝 缘层，位于第一层间绝缘层与源电极之间并且位于第一层间绝缘层与漏电极之间，第二层 间绝缘层包括有机材料；第一有机层，位于源电极和漏电极上；电容器，包括第一电极、第 二电极和位于第一电极与第二电极之间的第一层间绝缘层，其中，第一电极包括与栅电极 的材料相同的材料，第二电极包括与源电极和漏电极的材料相同的材料；像素电极，位于第 二层间绝缘层中的开口中，其中，所述开口位于与薄膜晶体管和电容器相邻的区域处，像素 电极结合到源电极和漏电极中的一个电极；有机发射层，位于像素电极上；以及对电极，位 于有机发射层上。
[0007] 在一些实施例中，像素电极可以是半透射电极，对电极是反射电极。
[0008] 在一些实施例中，像素电极可以包括第一透明导电氧化物层、半透射金属层和第 二透明导电氧化物层。
[0009] 在一些实施例中，像素电极的端部可以位于第一层间绝缘层上，并且可以被第二 层间绝缘层覆盖。
[0010] 在一些实施例中，设置有像素电极的开口可以形成在第二层间绝缘层和第一有机 层中。
[0011] 在一些实施例中，第二层间绝缘层中的开口的直径可以大于第一有机层中的开口 的直径。
[0012] 在一些实施例中，第二层间绝缘层中的开口的直径可以小于第一有机层中的开口 的直径。
[0013] 在一些实施例中，第一有机层的端部可以位于第二层间绝缘层中的开口的外部。
[0014] 在一些实施例中，像素电极的下表面可以接触第一层间绝缘层的上表面。
[0015] 在一些实施例中，栅电极的厚度可以在大约6,000Λ到大约12,000Λ的范围内。
[0016] 在一些实施例中，电容器的第二电极可以位于第二层间绝缘层中的另一个开口 中。
[0017] 在一些实施例中，电容器的第二电极的下表面可以接触第一层间绝缘层的上表 面。
[0018] 在一些实施例中，保护层可以位于源电极上并且位于漏电极上。
[0019] 在一些实施例中，有机发光显示设备还可以包括与源电极和漏电极位于同一层上 的垫电极。
[0020] 在一些实施例中，保护层可以位于垫电极上。
[0021] 在一些实施例中，有机发光显示设备还可以包括位于第二层间绝缘层上并通过第 一有机层中的接触开口接触对电极的阴极接触层。
[0022] 在一些实施例中，阴极接触层可以包括与源电极和漏电极的材料相同的材料。
[0023] 在一些实施例中，保护层可以位于阴极接触层上。
[0024] 在一些实施例中，像素电极可以包括第一透明导电氧化物层、半透射金属层和第 二透明导电氧化物层。
[0025] 根据本发明的一个或更多个示例性实施例，制造有机发光显示设备的方法包括以 下步骤：第一工艺，包括在基底上形成半导体层，将半导体层图案化，从而形成薄膜晶体管 的有源层；第二工艺，包括形成第一绝缘层，在第一绝缘层上形成第一金属层，将第一金属 层图案化以形成薄膜晶体管的栅电极和电容器的第一电极；第三工艺，包括形成第一层间 绝缘层，在第一层间绝缘层上形成半透射金属层，将半透射金属层图案化以形成像素电极； 第四工艺，包括将第一层间绝缘层图案化以在第一层间绝缘层中形成开口以暴露有源层的 部分；第五工艺，包括形成第二层间绝缘层，并且将第二层间绝缘层图案化，以形成分别暴 露有源层的所述部分、像素电极的上部以及与电容器的第一电极对应的第一层间绝缘层的 开口；第六工艺，包括形成第二金属层和保护层并且将第二金属层和保护层图案化以形成 源电极、漏电极、电容器的第二电极和垫电极；第七工艺，包括形成第一有机层，并且将第一 有机层图案化以形成分别暴露像素电极的上部和垫电极的上部的开口。
[0026] 在一些实施例中，第一层间绝缘层可以包括无机膜，第二层间绝缘层可以包括有 机膜。
[0027] 在一些实施例中，在第五工艺中，可以将第二层间绝缘层图案化，使得第二层间绝 缘层的一部分保留在像素电极的上表面上，在第七工艺中，可以将第一有机层和第二层间 绝缘层的保留部分图案化，以暴露像素电极的上表面。
[0028] 在一些实施例中，在第七工艺中，第一有机层的端部可以位于第二层间绝缘层中 的暴露像素电极的上部的开口的外部。
【附图说明】
[0029] 通过下面结合附图进行的对示例性实施例的描述，这些和/或其它方面和特性将 变得明显和更容易理解，在附图中：
[0030] 图1是示出根据本发明的实施例的有机发光显示设备的示意性平面图；
[0031] 图2是示出根据本发明的实施例的有机发光显示设备的发射像素和垫的某些部 分的示意性剖视图；
[0032] 图3A至图3G是示出根据本发明的实施例的制造有机发光显示设备的方法的示意 性剖视图；
[0033] 图4是根据本发明的实施例的有机发光显示设备的阴极接触部的一部分的示意 性剖视图；
[0034] 图5A至图5C是示出根据本发明的另一个实施例的制造有机发光显示设备的方法 的示意性剖视图；
[0035] 图6是示出根据本发明的另一个实施例的有机发光显示设备的发光像素和垫的 某些部分的示意性剖视图；
[0036] 图7是示出根据本发明的实施例的第一有机层的空气暴露时间与吸水率之间的 关系的曲线图。
【具体实施方式】
[0037] 现在，将详细参照本发明的示例性实施例，附图中示出了本发明的示例性实施例 的示例，其中，同样的附图标记始终指示同样的元件。给出的示例性实施例可以具有不同的 形式，并且不应该被解释为局限于这里所阐述的描述。因此，下面通过参照附图仅描述示例 性实施例，以对本说明书的各方面进行解释。如这里所使用的，术语"和/或"包括一个或更 多个相关所列项的任意和全部组合。此外，当使用"可以"来描述本发明的实施例时，指的 是"本发明的一个或更多个实施例"。当诸如"......中的至少一个（种）（者）"的 表述用在一系列元件之后时，修饰的是整个系列的元件，而不是修饰该系列中的个别元件。 另外，术语"示例性"意图表示示例或举例说明。
[0038] 将理解的是，尽管在这里可以使用术语第一、第二、第三等来描述各种元件、组件、 区域、层和/或部分，但是这些元件、组件、区域、层和/或部分不应当被这些术语限制。这些 术语仅用于将一个元件、组件、区域、层或部分与另一个元件、组件、区域、层或部分区分开。 因此，在不脱离示例实施例的教导的情况下，下面讨论的第一元件、第一组件、第一区域、第 一层或第一部分可以称为第二元件、第二组件、第二区域、第二层或第二部分。
[0039] 为了易于描述，在这里可以使用诸如"在……下面"、"在……下方"、"下面的"、 "在……上方"、"上面的"等的空间相对术语来描述附图中示出的一个元件或特征与其它元 件或特征的关系。将理解的是，除了附图中描绘的方位之外，空间相对术语还意图涵盖装置 在使用中或操作中的不同方位。例如，如果附图中的装置被翻转，则描述为"在"其它元件 或特征"下方"或"下面"的元件将随后被定位为"在"其它元件或特征的"上方"或"上面"。 因此，术语"在……下方"可包括上方和下方两种方位。装置可以被另行定位