部件19以位于输送机12的宽度方向两侧(各输送带12a的内侧)的方式分别安装有板状的提升部件21。在各导轨14的上端，以向内侧呈凸缘状突出的方式分别安装有板状的按压部件22。
[0034]如图2(a)和图3(a)所示，在支承板16下降至基板未夹紧位置的状态下，支承板16上的支承销15的上端位于比输送机12上的基板13的下表面低的位置，且在输送机12上的基板13的下表面安装有先装元件18的情况下，支承板16上的支承销15的上端位于比该基板13的下表面的先装元件18的下端低的位置。
[0035]另一方面，如图2(b)和图3(b)所示，在支承板16上升至基板夹紧位置的状态下，支承板16上的支承销15上升，该支承销15的上端与输送机12上的基板13的下表面抵接，从下方支承该基板13，防止该基板13的下翘(向下方弯曲)。在支承板16上升至基板夹紧位置时，提升部件21与支承板16 —体地上升，在安装在导轨14的上端的按压部件22和该提升部件21之间夹入基板13的左右两侧缘部并夹紧。
[0036]如图4所示，在按压部件22的下表面中的与基板13的侧缘部重叠的重叠部分，以前端侧向下方突出的方式形成有倾斜面23(上翘矫正单元)。如图2、图3、图6所示，按压部件22以能够相对于导轨14移动到上翘矫正位置、通常夹紧位置和基板取出位置的方式进行安装，如图3和图4所示，在上翘矫正位置成为作为按压部件22的倾斜面23中的最低部分即倾斜面23的前端部的位置比提升部件21的上端的位置向基板13的内侧方向偏移的位置关系，在该位置关系下，通过在该倾斜面23的前端部和该提升部件21的上端之间夹入该基板13的侧缘部，以对该基板13施加了朝下的弯曲力矩的状态夹紧该基板13。
[0037]另一方面，如图2所示，在通常夹紧位置，按压部件22的倾斜面23的前端部位于提升部件21的上端的正上方，两者没有位置偏移，在该位置关系下，通过在该倾斜面23的前端部和该提升部件21的上端之间夹入该基板13的侧缘部，以对该基板13施加了朝下的弯曲力矩的状态夹紧该基板13。
[0038]如图6(c)所示，基板取出位置为用于在发生故障时等使按压部件22向基板13的外侧方向移动并向上方取出该基板13的位置。
[0039]如图5、图6所示，为了将按压部件22卡合保持在上翘矫正位置、通常夹紧位置和基板取出位置，在该按压部件22上形成有具有上述三个卡合位置24a、24b、24c的迷宫槽等卡合槽24，通过切换卡合固定在导轨14的上端的卡合销25的卡合槽24的位置24a、24b、24c，使按压部件22的位置在上翘矫正位置、通常夹紧位置和基板取出位置之间切换。此夕卜，图5中图示有两个卡合槽24，但在一卡合槽24中省略了卡合销25的图示。
[0040]在本实施例1中，按照如下方式构成，为了通过图像处理确认按压部件22的位置，如图5(a)和(b)所示，在导轨14的上端面上形成有位置显示标记26 (位置显示部)，通过使按压部件22的位置在上翘矫正位置、通常夹紧位置和基板取出位置之间切换，位置显示标记26与形成在按压部件22上的三个贯通孔20a?20c中的任一个匹配并露出。并且，通过元件安装机的相机(拍摄基板13的基准标记的相机)拍摄包含按压部件22的三个贯通孔20a?20c的区域，通过由元件安装机的图像处理装置(未图示)处理该图像，并通过识别三个贯通孔20a?20c中的露出位置显示标记26的贯通孔的位置，确认按压部件22的位置。由此，能够事先确认生产时按压部件22的位置是否移动到正确的位置。在该情况下，在导轨14的上端面的长度方向(X方向)的两处以上形成有位置显示标记26，并且，在按压部件22的长度方向(X方向)的两处以上分别形成有三个贯通孔20a?20c，如对两处以上露出位置显示标记26的贯通孔的位置进行图像识别，能够确认有无按压部件22的倾斜。
[0041 ] 或者，也可以通过在按压部件22的上表面形成多个位置显示标记(位置显示部)，并通过元件安装机的相机拍摄位置显示标记，处理该图像，由此识别多个位置显示标记的位置并确认有无按压部件22的位置、倾斜。
[0042]另外，也可以通过将按压部件22的卡合槽24用作位置显示部，并由相机拍摄卡合槽24，对该图像进行处理，由此识别卡合销25相对于卡合槽24的卡合位置，确认按压部件22的位置。
[0043]或者，也可以通过在导轨14的上端面中的与上翘矫正位置、通常夹紧位置和基板取出位置对应的位置分别在X方向(基板输送方向)上使位置偏移而形成位置显示标记，而且，在按压部件22上，按照沿X方向延伸的方式形成在上翘矫正位置、通常夹紧位置和基板取出位置露出各个位置的位置显示标记的狭缝，并由相机拍摄按压部件22的狭缝，对该图像进行处理，由此识别狭缝内的位置显示标记的位置并确认按压部件22的位置。
[0044]在使用如上构成的基板夹紧装置，在矫正基板13的上翘并夹紧的情况下，首先，如图3、图4、图6(a)所示，操作者使按压部件22移动至上翘矫正位置，成为使按压部件22的倾斜面23的前端部比提升部件21的上端的位置向基板13的内侧方向突出的状态。在该状态下，对输送机12投入基板13，并将该基板13输送至预定的作业位置。其后，使支承板16向基板夹紧位置上升，并使提升部件21与支承板16 —体地上升，并在安装于导轨14的上端的按压部件22和该提升部件21之间夹入基板13的左右两侧缘部并夹紧。
[0045]由于在上翘矫正位置，成为按压部件22的倾斜面23的前端部的位置比提升部件21的上端的位置向基板13的内侧方向偏移的位置关系，因此，通过在按压部件22的倾斜面23的前端部和提升部件21的上端之间夹入该基板13的侧缘部，对该基板13施加朝下的弯曲力矩，并通过该朝下的弯曲力矩矫正基板13的上翘。此时，由于由支承销15的上端从下侧支承施加了朝下的弯曲力矩的基板13，因此，还防止了该基板13的下翘。
[0046]另一方面，在夹紧不需要矫正的基板13的情况下，首先，如图2、图6(b)所示，操作者使按压部件22移动至通常夹紧位置，成为使按压部件22的倾斜面23的前端部位于提升部件21的上端的正上方而两者没有位置偏移的状态。在该状态下，对输送机12投入基板13，并将该基板13输送至预定的作业位置后，使支承板16上升至基板夹紧位置，并使提升部件21与支承板16 —起上升，在安装于导轨14的上端的按压部件22和该提升部件21之间夹入基板13的左右两侧缘部并夹紧。
[0047]由于在通常夹紧位置，按压部件22的倾斜面23的前端部位于提升部件21的上端的正上方而两者没有位置偏移，因此，通过在按压部件22的倾斜面23的前端部和该提升部件21的上端之间夹入该基板13的侧缘部，以不对该基板13施加朝下的弯曲力矩的状态夹紧该基板13。此时，由于由支承销15的上端从下侧支承基板13，因此防止该基板13的下翘(向下方弯曲)。
[0048]此外，在发生故障时等向上方取出按压部件22的情况下，如图6(c)所示，通过操作者将按压部件22移动至基板取出位置，成为将按压部件22移动至基板13的外侧而两者没有重叠的状态，并从上方取出输送机12上的基板13。
[0049]根据以上说明的本实施例1，由于通过在提升部件21和按压部件22之间夹入基板13的侧缘部并夹紧，对该基板13施加朝下的弯曲力矩，因此，通过该朝下的弯曲力矩能够可靠地矫正基板13的上翘，而且，即使在矫正双面安装基板的上翘的情况下，矫正上翘的单元(倾斜面23)也能够不与该基板13的下表面侧的先装元件18发生干扰而可靠地矫正该基板13的上翘。而且，由于利用在提升部件21和按压部件22之间夹入基板13的侧缘部的夹紧动作对基板13施加朝下的弯曲力矩，因此，能够简化矫正基板13的上翘的结构，并能够缩小成本上升幅度。
[0050]而且，在本实施例1中，能够以在按压部件22的下表面形成倾斜面23作为上翘矫正单元并使作为该倾斜面23的最低部分即倾斜面23的前端部的位置从提升部件21的上端的位置偏移的极简单的结构对基板13施加朝下的弯曲力矩，并能够将成本上升抑制在最小限度。
[0051]在该情况下，如施加到基板13的朝下的弯曲力矩过大，则基板13会越过平面状态而成为下翘状态，而在本实施例1中，由于由支承销15从下侧支承施加了朝下的弯曲力矩的基板13，因此，能够通过支承销15可靠地防止因施加到基板13的朝下的弯曲力矩而使该基板13越过平面状态成为下翘状态。
[0052]此外，在本实施例1中，在按压部件22的下表