的拒墨性，并且，即便不对由分隔壁包围而成的开口部内进行，/〇 3照射处理，拒墨剂 也不易残留，墨可以均匀地润湿扩展而不会产生不均。进而，能够对所得到的树脂固化膜、 尤其是分隔壁赋予与形成它们的基板的良好的密合性。
[0044] 本发明的树脂固化膜以及分隔壁在上表面具有良好的拒墨性并且与基板的密合 性优异。
[0045] 本发明的光学元件为具有如下点的光学元件，即，所述点通过墨在由与基板的密 合性优异的分隔壁分隔成的开口部均匀地润湿扩展而不会产生不均，从而精度良好地形 成。
【附图说明】
[0046] 图1为示出本发明的实施例的树脂固化膜的利用TOF-SIMS的厚度方向的质谱的 结果的图。
[0047] 图2为在图1的分析结果中放大地示出树脂固化膜与基板的界面附近的图。
[0048] 图3为示出本发明中使用的化合物⑶的一个例子的利用TOF-SIMS的质谱结果 的图。
[0049] 图4A为示意性地示出本发明的实施方式的分隔壁的制造方法的工序图。
[0050] 图4B为示意性地示出本发明的实施方式的分隔壁的制造方法的工序图。
[0051] 图4C为示意性地示出本发明的实施方式的分隔壁的制造方法的工序图。
[0052] 图4D为示意性地示出本发明的实施方式的分隔壁的制造方法的工序图。
[0053] 图5A为示意性地示出本发明的实施方式的光学元件的制造方法的工序图。
[0054] 图5B为示意性地示出本发明的实施方式的光学元件的制造方法的工序图。
[0055] 图6为示出比较例的树脂固化膜的利用TOF-SMS的厚度方向的质谱的结果的图。
[0056] 图7为在图6的分析结果中放大地示出树脂固化膜与基板的界面附近的图。
【具体实施方式】
[0057] 在本说明书中，"（甲基）丙烯酰基"为"甲基丙烯酰基"与"丙烯酰基"的统称。 (甲基）丙烯酰氧基、（甲基）丙烯酸、（甲基）丙烯酸酯、（甲基）丙烯酰胺、以及（甲基） 丙烯酸类树脂也以此为准。
[0058] 在本说明书中，存在将由式（X)表示的基团仅记载为基团（X)的情况。
[0059] 在本说明书中，存在将由式（y)表示的化合物仅记载为化合物（y)的情况。
[0060] 在此，式（X)、式（y)表示任意的式子。
[0061] 本说明书中的"侧链"是指在重复单元构成主链的聚合物中，与构成主链的碳原子 键合的、除氢原子或者卤素原子以外的基团。
[0062] 本说明书中的"感光性树脂组合物的总固体成分"是指感光性树脂组合物含有的 成分之中形成后述固化膜的成分，由将感光性树脂组合物在140°C下加热24小时去除了溶 剂的残留物而求出。需要说明的是，总固体成分量也可以从投料量来计算。
[0063] 在本说明书中，将包含以树脂作为主要成分的组合物的固化物的膜称为"树脂固 化膜"。
[0064] 在本说明书中，将涂布感光性树脂组合物而成的膜称为"涂膜"、将使其干燥而成 的膜称为"干燥膜"。使该"干燥膜"固化而得到的膜为"树脂固化膜"。此外，在本说明书 中，也有时将"树脂固化膜"仅称为"固化膜"。
[0065] 树脂固化膜可以是形成为将规定的区域分隔成多个分区的形状的分隔壁的形态。 在由分隔壁分隔成的分区、即由分隔壁包围而成的开口部，例如，注入以下的"墨"而形成 "点"。
[0066] 本说明书中的"墨"是指，统称在干燥、固化等之后具有光学功能和/或电功能的 液体的术语。
[0067] 在有机EL元件、液晶元件的滤色器以及有机TFT (Thin Film Transistor ;薄膜晶 体管）阵列等光学元件中，有时对于作为各种构成要素的点，使用用于形成该点的墨、利用 喷墨（IJ)法进行图案印刷。本说明书中的"墨"中包括上述用途中所使用的墨。
[0068] 本说明书中的"拒墨性"是指排斥上述墨的性质，具有拒水性和拒油性两者。拒墨 性例如可以根据使墨滴落时的接触角来评价。"亲墨性"为与拒墨性相反的性质，与拒墨性 同样地可以根据使墨滴落时的接触角来评价。或者，可以通过以规定的基准评价使墨滴落 时的墨的润湿扩展的水平（墨的润湿扩展性），从而来评价亲墨性。
[0069] 本说明书中的"点"是指，表示光学元件中的可进行光调制的最小区域。在有机EL 元件、液晶元件的滤色器、以及有机TFT阵列等光学元件中，在黑白显示时，1点=1像素，在 彩色显示时，例如3点（R(红）、G(绿）、B(蓝）等）=1像素。
[0070] 以下，说明本发明的实施方式。需要说明的是，在本说明书中若无特别说明则％表 示质量％。
[0071] [第一实施方式的树脂固化膜]
[0072] 本发明的第一实施方式的树脂固化膜为形成于基板上的具有下述（I)~（III)的 特性的树脂固化膜。
[0073] (I)在利用XPS(x-ray photoelectron spectroscopy ;X射线光电子能谱）进行的 组成分析中，前述树脂固化膜的表面的氟原子浓度相对于碳原子浓度的比值[F/C]为0. 1 以上。
[0074] (II)在利用将 Ar 族用于派射离子的 T0F-SIMS (time-〇f-flight secondary ion mass spectrometry)的前述树脂固化膜的厚度方向的质谱中，Si2O5IT的强度轮廓图在前述 树脂固化膜的除由下述（1)规定的表面区域之外的厚度范围中，在由下述（2)规定的与前 述基板的界面区域具有强度的最大值，前述强度的最大值相对于除前述表面区域和前述界 面区域之外的厚度范围内的强度的最小值的比值[Si 2O5F最大值/Si 205Γ最小值]超过1 且在10以下。
[0075] (III)在前述利用TOF-SIMS的质谱中，前述树脂固化膜的除表面区域以及与前述 基板的界面区域之外的厚度范围内的Si 2O5F的强度的平均值相对于CT的强度的平均值的 比值[Si2O 5F平均值Ar平均值]为〇· 001以上。
[0076] (1)前述树脂固化膜的表面区域是指，以前述树脂固化膜的表面为起点，从该表面 向基板侧直至IOOnm位置为止的区域（以下，也简称为"表面区域"）。
[0077] (2)前述树脂固化膜的与前述基板的界面区域是指，在TOF-SMS的厚度方向的质 谱中，以前述基板的主要成分或者特有成分的二次离子的强度的上升起始点处的距前述树 脂固化膜表面的位置为起点，直至前述基板的主要成分或者特有成分的二次离子的强度的 上升终止点处的距前述树脂固化膜表面的位置为止的区域（以下，也简称为"界面区域"）。
[0078] 需要说明的是，在本说明书中，树脂固化膜的"表面"是指树脂固化膜的与基板侧 相反侧的主表面。本说明书中的、分隔壁、树脂固化膜的"上表面"是指与该表面相同的意 思。
[0079] 对于本发明的树脂固化膜，关于膜组成，作为表面的特性具有（I)的特性，作为与 基板的界面区域的特性具有（II)的特性，并且树脂固化膜的除上述表面区域与界面区域 之外的区域（以下也称为"树脂固化膜内部"）具有（III)的特性。根据这样的组成的特 性，本发明的树脂固化膜的表面的拒液性优异，并且基板界面的密合性优异。
[0080] 本发明的树脂固化膜只要如上述那样在表面、界面区域、内部分别具有对应于 (I)~（III)的特性，膜厚就没有特别限制。树脂固化膜的膜厚根据用途而适当选择，优选 为0· 2~50 μ m、特别优选为0· 2~10 μ m。
[0081] (I)表面特性
[0082] 关于本发明的树脂固化膜，在其表面，利用XPS的组成分析中的氟原子浓度相对 于碳原子浓度的比值[F/C](以下也有时简称为[F/C])为0. 1以上。
[0083] 由利用XPS的组成分析而求出的树脂固化膜的表面的[F/C]为0. 1以上时，在树 脂固化膜表面表现出足够的拒液性。即，树脂固化膜表面的[F/C]不足0. 1时，F量不足， 不表现拒液性。树脂固化膜表面的[F/C]更优选为0. 12以上、最优选为0. 15以上。
[0084] 树脂固化膜的表面的[F/C]的上限没有特别限定。但是，树脂固化膜表面的F的 浓度过高时，表面的固化性下降，因此[F/C]优选为3以下。
[0085] 树脂固化膜的表面的XPS分析使用常规方法即可。例如，作为装置使用 ULVAC-PHI, INCORPORATED.制造的Quantera-SXM，作为进行树脂固化膜的表面的XPS分析 的条件可以列举出以下的条件。但是，不限定于此。
[0086](分析条件）
[0087] X 射线源：A1 K α
[0088] X射线的光束尺寸：约20μιηφ