）丙烯酰氯等。
[0159] 关于具有环氧基作为反应性基团的单体，可以列举出（甲基）丙烯酸缩水甘油酯、 以及（甲基）丙烯酸3, 4-环氧环己基甲酯等。
[0160] 关于与具有环氧基作为反应性基团的单体共聚的具有酸性基团的单体，可以使用 与上述具有羟基作为反应性基团的单体中说明的单体同样的单体，对于具有环氧基作为反 应性基团的单体和具有酸性基团的单体的共聚，也可以用现有公知的方法来进行。
[0161] 作为与所得到的共聚物进行反应的、具有能与环氧基键合的官能团以及烯属双键 的化合物，可以列举出具有羧基和烯属双键的化合物等。作为上述化合物的具体例子，可以 列举出（甲基）丙烯酸、乙烯基乙酸、巴豆酸、衣康酸、马来酸、富马酸、肉桂酸以及它们的 盐、二元酸的情况下的单酯等。需要说明的是，在此，也可以使所生成的羟基与羧酸的脱水 缩合部分成为环状结构的一部分的酸酐进行反应，而在树脂（A-I)中导入羧基。
[0162] 关于具有羧基作为反应性基团的单体，可以列举出（甲基）丙烯酸、乙烯基乙酸、 巴豆酸、衣康酸、马来酸、富马酸、肉桂酸以及它们的盐、二元酸的情况下的单酯等。需要说 明的是，这些单体也可以用作上述具有酸性基团的单体。
[0163] 使用具有羧基作为反应性基团的单体时，如上所述，使该单体聚合。作为与所得到 的聚合物进行反应的、具有能与羧基键合的官能团以及烯属双键的化合物，可以列举出具 有环氧基和烯属双键的化合物。作为上述化合物，可以列举出（甲基）丙烯酸缩水甘油酯、 以及（甲基）丙烯酸3, 4-环氧环己基甲酯等。需要说明的是，此时，与具有羧基的聚合物 进行反应的、具有能与羧基键合的官能团以及烯属双键的化合物的量设为反应后聚合物中 羧基作为酸性基团残留于侧链的量。
[0164] 树脂（A-2)可以如下合成：使环氧树脂与后述具有羧基和烯属双键的化合物反 应，然后与多元羧酸或者其酐反应，从而合成。
[0165] 具体而言，使环氧树脂与具有羧基和烯属双键的化合物进行反应，从而在环氧树 脂中导入烯属双键。接着，通过使导入有烯属双键的环氧树脂与多元羧酸或者其酐进行反 应，从而可以导入羧基。
[0166] 作为环氧树脂没有特别限定，可以列举出双酚A型环氧树脂、双酚F型环氧树脂、 苯酚酚醛清漆型环氧树脂、甲酚酚醛清漆型环氧树脂、三苯酚甲烷型环氧树脂、具有萘骨架 的环氧树脂、由下式（A_2a)表示的具有联苯骨架的环氧树脂、由下式（A-2b)表示的芴基取 代双酚A型环氧树脂、以及由下式（A-2c)表示的具有联苯骨架的环氧树脂等。
[0167]
【主权项】
1. 一种树脂固化膜，其特征在于，其为形成于基板上的树脂固化膜， 在利用X射线光电子能谱法（XPS)进行的组成分析中，所述树脂固化膜的表面的氟原 子浓度相对于碳原子浓度的比值[F/C]为0. 1以上， 在利用将Ar簇用于溅射离子的飞行时间型二次离子质谱法（TOF-SIMS)的所述树脂固 化膜的厚度方向的质谱中，Si2O5IT的强度轮廓图在所述树脂固化膜的除由下述⑴规定的 表面区域之外的厚度范围中，在由下述（2)规定的与所述基板的界面区域具有强度的最大 值，所述强度的最大值相对于除所述表面区域和所述界面区域之外的厚度范围内的强度的 最小值的比值[Si205H_最大值/Si205H_最小值]超过1且在10以下，并且， 在所述质谱中，所述树脂固化膜的除表面区域以及与所述基板的界面区域之外的厚度 范围内的Si2O5IT的强度的平均值相对于CT的强度的平均值的比值[Si205『平均值/(T平 均值]为0.001以上， (1) 所述树脂固化膜的表面区域是指，以所述树脂固化膜的表面为起点，从该表面向基 板侧直至IOOnm位置为止的区域， (2) 所述树脂固化膜的与所述基板的界面区域是指，在TOF-SMS的厚度方向的质谱 中，以所述基板的主要成分或者特有成分的二次离子的强度的上升起始点处的距所述树脂 固化膜表面的位置为起点，直至所述基板的主要成分或者特有成分的二次离子的强度的上 升终止点处的距所述树脂固化膜表面的位置为止的区域。
2. -种负型感光性树脂组合物，其特征在于，包含： 具有光固化性的碱溶性树脂或者碱溶性单体（A); 光聚合引发剂（B); 具有氟原子的拒墨剂（C);和 化合物（D)，所述化合物（D)为水解性硅烷化合物混合物（Ml)的部分水解缩合物、且不 含氟原子，所述水解性硅烷化合物混合物（Ml)包含：具有巯基和水解性基团的水解性硅烷 化合物、和/或具备具有烯属双键的基团和水解性基团的水解性硅烷化合物。
3. 根据权利要求2所述的负型感光性树脂组合物，其中，所述拒墨剂（C)中的氟原子的 含有率为1~40质量％。
4. 根据权利要求2或3所述的负型感光性树脂组合物，其中，所述拒墨剂（C)为水解性 硅烷化合物混合物（M2)的部分水解缩合物，所述水解性硅烷化合物混合物（M2)包含：具有 氟亚烷基和/或氟烷基、以及水解性基团的水解性硅烷化合物。
5. 根据权利要求4所述的负型感光性树脂组合物，其中，所述水解性硅烷化合物混合 物（M2)包含在硅原子上键合有4个水解性基团的水解性硅烷化合物。
6. 根据权利要求2~5中任一项所述的负型感光性树脂组合物，其还包含在1分子中 具有2个以上烯属双键且不具有酸性基团的交联剂（E)。
7. 根据权利要求2~6中任一项所述的负型感光性树脂组合物，其还包含溶剂（F)。
8. -种树脂固化膜，其特征在于，使用权利要求2~7中任一项所述的负型感光性树脂 组合物而形成。
9. 一种树脂固化膜，其特征在于，其为形成于基板上的权利要求8所述的树脂固化膜， 在利用X射线光电子能谱法（XPS)进行的组成分析中，所述树脂固化膜的表面的氟原 子浓度相对于碳原子浓度的比值[F/C]为0. 1以上， 在利用将Ar簇用于溅射离子的飞行时间型二次离子质谱法（TOF-SIMS)的所述树脂固 化膜的厚度方向的质谱中，Si2O5IT的强度轮廓图在所述树脂固化膜的除由下述⑴规定的 表面区域之外的厚度范围中，在由下述（2)规定的与所述基板的界面区域具有强度的最大 值，所述强度的最大值相对于除所述表面区域和所述界面区域之外的厚度范围内的强度的 最小值的比值[Si205H_最大值/Si205H_最小值]超过1且在10以下，并且， 在所述质谱中，所述树脂固化膜的除表面区域以及与所述基板的界面区域之外的厚度 范围内的Si2O5IT的强度的平均值相对于CT的强度的平均值的比值[Si205『平均值/(T平 均值]为0.001以上， (1) 所述树脂固化膜的表面区域是指，以所述树脂固化膜的表面为起点，从该表面向基 板侧直至IOOnm位置为止的区域， (2) 所述树脂固化膜的与所述基板的界面区域是指，在TOF-SMS的厚度方向的质谱 中，以所述基板的主要成分或者特有成分的二次离子的强度的上升起始点处的距所述树脂 固化膜表面的位置为起点，直至所述基板的主要成分或者特有成分的二次离子的强度的上 升终止点处的距所述树脂固化膜表面的位置为止的区域。
10. -种分隔壁，其特征在于，形成为将基板表面分隔成用于形成点的多个分区的形 状，所述分隔壁包含权利要求1、8或9所述的树脂固化膜。
11. 一种光学元件，其特征在于，在基板表面具有多个点和位于相邻的点间的分隔壁， 所述分隔壁由权利要求10所述的分隔壁形成。
12. 根据权利要求11所述的光学元件，其特征在于，所述点是利用喷墨法而形成的。
【专利摘要】本发明提供具备如下特性的负型感光性树脂组合物：可以对固化膜、尤其是分隔壁的上表面赋予良好的拒墨性，并且，即便不对由分隔壁包围而成的开口部内进行UV/O3照射处理，拒墨剂也不易残留，墨可以均匀地润湿扩展而不会产生不均。一种负型感光性树脂组合物，其特征在于，包含：具有光固化性的碱溶性树脂或者碱溶性单体(A)、光聚合引发剂(B)、具有氟原子的拒墨剂(C)和化合物(D)，所述化合物(D)为水解性硅烷化合物混合物的部分水解缩合物、且不含氟原子，所述水解性硅烷化合物混合物包含：具有巯基和水解性基团的水解性硅烷化合物、和/或具备具有烯属双键的基团和水解性基团的水解性硅烷化合物。
【IPC分类】B32B27-18, C08F290-00, H05B33-12, H05B33-22, G03F7-075, H01L51-50, G03F7-004, G03F7-027
【公开号】CN104781074
【申请号】CN201380057147
【发明人】松浦启吾, 高桥秀幸, 川岛正行, 小林大介
【申请人】旭硝子株式会社
【公开日】2015年7月15日
【申请日】2013年10月29日
【公告号】US20150219992, WO2014069478A1