香基的组合， 且该烷基芳香基可包含但不限于苄基、乙基苯基、甲苯基、二甲苯基或叔丁基苯基。前述的 烷氧基表示碳数为1至8的烷氧基，且该碳数为1至8的烷氧基可包含但不限于甲氧基、乙 氧基、丙氧基、丁氧基、叔丁氧基或异丁氧基等。前述的环烷基氧基表示碳数为5至10的环 烷基氧基，且该碳数为5至10的环烷基氧基可包含但不限于环己基氧基等。前述的芳香氧 基表示碳数为6至10的芳香氧基，且该碳数为6至10的芳香氧基可包含但不限于苯氧基 等。前述的酰基表示碳数为1至6的酰基，且该碳数为1至6的酰基可包含但不限于乙酰 基。前述的氨基可包含但不限于-NH2S经取代的氨基，且该经取代的氨基可包含但不限于 碳数为1至6的烷基氨基等。
[0046] R12及R 16于R 9及R 13上的取代位置并无特别的限制。较佳地，当R 9及R 13为苯环 时，R12及R 16可以是在2号位置、3号位置或4号位置；当R 9及R 13为萘时，R 12及R 16可以是 在4号位置、5号位置、6号位置或7号位置。
[0047] 较佳地，该R12及R 16为相同或不相同，且各自表示碳数为1至4的烷基、苯基或碳 数为1至4的烷氧基。更佳地，该R12及R 16为相同或不相同，且各自表示甲基、乙基、苯基、 甲氧基与乙氧基。较佳地，X及y各自表示1至2的整数，且w及t各自表示0至1的整数。
[0048] 该具有双键基团的芴衍生物具有如下式（I)所示的结构：
[0050] 于式（II)中，&至1为相同或不相同，且各自表示氢原子、卤素原子、氰基或烷基。 馬及R 13可为相同或不相同，且各自表示芳香基或杂环基。R17及R18为二价烷基或经羟基取 代的二价烷基。R 11及R15为相同或不相同，且各自表示氢原子或甲基。R12及R16为相同或 不相同，且各自表不氛原子、卤素原子、烷基、环烷基、芳香基、烷基芳香基、烷氧基、环烷基 氧基、芳香氧基、酰基、硝基、氰基或氨基。X及y各自表示1至3的整数，w及t各自表示0 至3的整数，且η及u各自表示0至10的整数。
[0051] 其中，札至1?8的定义相同于上述式（I)中1^至1?8的定义，在此不另赘述。1? 9及 R13的定义相同于上述式（I)中R9&R13的定义，在此不另赘述。R 12及R16的定义相同于上 述式（I)中R12及R16的定义，在此不另赘述。
[0052] 于R17及R18的定义中，该二价烷基表示碳数为2至6的二价烷基或经羟基取代的二 价烷基，其中该二价烷基可为二价直链烷基或二价支链烷基，该碳数为2至6的二价烷基可 包含但不限于次乙基（ethylene)、2_甲基次乙基（propylene)、三次甲基（trimethylene) 或四次甲基（tetramethylene)等，该经羟基取代的二价烷基可包含但不限于2-羟基三次 甲基（2-hydroxy-trimethylene)等。较佳地，该二价烷基为碳数为2至4的二价直链烷基 或碳数为3至6的二价支链烷基。η及u较佳各自表示1至7的整数，且更佳为1至5的整 数。
[0053] 该具有双键基团的芴衍生物（a2)可包含但不限于9, 9' -二{[(甲基）丙烯酰氧 基]苯基}芴化合物、9, 9'-二{[(甲基）丙烯酰氧基烷氧基]苯基}芴化合物、9, 9'-二 {单烷基_[2-(甲基）丙烯酰氧基烷氧基]苯基}芴化合物、9, 9' -二{二烷基-[2-(甲 基）丙烯酰氧基烷氧基]苯基}芴化合物、9, 9' -二{:二[2-(甲基）丙烯酰氧基烷氧基] 苯基}芴化合物、9, 9' -二{:三[2-(甲基）丙烯酰氧基烷氧基]苯基}芴化合物、9, 9' -二 {[苯基-(甲基）丙烯酰氧基烷氧基]苯基}芴化合物或9, 9'-二{[(甲基）丙烯酰氧基 烷氧基]萘基}芴化合物。该具有双键基团的芴衍生物（a2)可单独一种或混合多种使用。
[0054] 该9, 9'-二{[(甲基）丙烯酰氧基]苯基}芴化合物可包含但不限于9, 9'-二 {[4-(甲基）丙烯酰氧基]苯基}芴。
[0055] 该9, 9'-二{[(甲基）丙烯酰氧基烷氧基]苯基}芴化合物可包含 但不限于9, 9' -二{4_[2_羟基-3-(甲基）丙烯酰氧基丙氧基]苯基}芴 {9, 9' -bis{4-[2-hydroxy-3-(meth)acryloxypropoxy]phenyl}fluorene}n9, 9'-二 {4-[2_(甲基）丙稀酰氧基乙氧基]苯基}荷{9,9'-bis{4-[2_(meth)acryloxyethoxy] phenyl} fluorene}、9, 9' -二{4-[2-[2-(甲基）丙稀酰氧基乙氧基]乙氧基]苯基} 荀{9, 9' -bis{4-[2-[2-(meth)acryloxyethoxy]ethoxy]phenyl}fluorene}或 9, 9'-二 {4-[2_(甲基）丙稀酰氧基丙氧基]苯基}荷{9,9'-bis{4-[2_(meth)acryloxypropoxy] phenyl}fluorene}〇
[0056] 该9,9'_二{单烷基-[2_(甲基）丙烯酰氧基烷氧基]苯基}芴化合物 可包含但不限于9, 9'-二{3-甲基_4-[2-(甲基）丙烯酰氧基乙氧基]苯基}芴 {9,9'-bis{3-methyl_4-[2_(meth)acryloxyethoxy]phenyl}fluorene}或 9,9'-二{3-甲 基-4-[2-(甲基）丙稀酰氧基丙氧基]苯基}荷{9,9' -bis {3-methyl-4-[2-(meth) acryloxypropoxy] phenyl} fluorene}等。
[0057] 该9, 9' -二{二烷基- [2-(甲基）丙烯酰氧基烷氧基]苯基}芴化合物可包含 但不限于9, 9' -二{3, 5-二甲基-4-[2-(甲基）丙烯酰氧基乙氧基]苯基}芴{9, 9' -bis {3, 5-dimethyl-4- [2- (meth) acryloxyethoxy] phenyl} fluorene}或 9, 9' -二{3, 5_ 二甲 基-4-[2-[2-(甲基）丙稀酰氧基乙氧基]乙氧基]苯基}荷{9,9'-bis{3,5-dimethyl-4 -[2_ [2_ (meth) acryloxyethoxy] ethoxy] phenyl} fluorene}等。
[0058] 该9, 9'-二{:二[2-(甲基）丙烯酰氧基烷氧基]苯基}芴化合物可包含但不限于 9, 9'-二{3,5_ 二[2-(甲基）丙烯酰氧基乙氧基]苯基}芴{9, 9'-bis {3, 5-di [2-(meth) acryloxyethoxy]phenyl}fluorene}等。
[0059] 该9, 9' -二{:三[2-(甲基）丙烯酰氧基烷氧基]苯基}芴化合物可 包含但不限于9, 9' -二{3, 4, 5-三[2-(甲基）丙烯酰氧基乙氧基]苯基}芴 {9, 9' -bis {3, 4, 5_tri [2_ (meth) aeryloxyethoxy]phenyl} fluorene}等。
[0060] 该9, 9' -二{[苯基-(甲基）丙烯酰氧基烷氧基]苯基}芴化合物可 包含但不限于9, 9' -二{3-苯基_4-[2-(甲基）丙烯酰氧基乙氧基]苯基}芴 {9, 9' -bis {3-pheny 1-4-[2_ (meth) aeryloxyethoxy]phenyl} fluorene}等。
[0061] 该9,9'_二{[(甲基）丙烯酰氧基烷氧基]萘基}芴化合物可包含但不限 于9,9'_二{6-[2-(甲基）丙烯酰氧基乙氧基]-2-萘基}芴{9,9'-bis{6-[2-(meth) acryloxyethoxy]-2_nathphyl}fluorene}、9, 9' -二{6_[2_(甲基）丙稀酰氧基乙氧 基]_1_ 萘基}荷{9,9,-bis{6_[2_(meth)acryloxyethoxy]-1-nathphyl}fluorene}、 9,9'_ 二{5-[2-(甲基）丙烯酰氧基乙氧基]-2-萘基}芴{9,9'-bis{5-[2-(meth) acryloxyethoxy]-2_nathphyl}fluorene}或 9,9'_ 二{5_[2_(甲基）丙稀酰氧基乙氧 基]_1_ 萘基}荷{9,9'-bis{5-[2-(meth)acryloxyethoxy]-1-nathphyl}fluorene}等。
[0062] 该具有双键基团的芴衍生物（a2)较佳可为9, 9' -二[4-(2-甲基丙烯酰氧基乙氧 基）苯基]荷、9, 9'-二[3-甲基-4-(2-丙稀酰氧基丙氧基）苯基]荷、9, 9'-二[3-苯 基-4-(2-甲基丙烯酰氧基乙氧基）苯基]芴及9, 9'-二[4-(2-羟基-3-丙烯酰氧基丙氧 基）苯基]芴。
[0063] 该具有双键基团的芴衍生物（a2)亦可使用大阪瓦斯制造的商品，其型号为OGSOL 系列 EA-0200、EA-0500、EA-1000、EA-F5003、EA-F5503 或 EA-F5510,或者新中村化学制造的 商品，其型号为A-BPEF。上述的具有双键基团的芴衍生物（a2)可单独一种或混合多种使 用。
[0064] 基于不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物（al)与具有双键基团的芴衍生物（a2)及 后述具有酸分解性基的不饱和化合物（a3)的总使用量为100重量份，该具有双键基团的芴 衍生物（a2)的使用量为15重量份至70重量份，较佳为20重量份至70重量份，且更佳为 30重量份至70重量份。
[0065] 若本发明的碱可溶性树脂（A)不使用具有双键基团的芴衍生物（a2)时，所制得的 感光性树脂组合物具有耐显影性不佳的缺陷。
[0066] 具有酸分解性基的不饱和化合物（a3)
[0067] 碱可溶性树脂（A)中具有酸分解性基的不饱和化合物（a3)具有如下式（III)所 示的结构：
[0069] 于式（III)中，X1代表氢原子或碳数为1至3的烷基。X2代表氢原子、碳数为1至 30的烷基或者碳数为6至30的芳香基，且该碳数为1至30的烷基可为直链烷基、支链烷基 或环烷基。X3代表氢原子、碳数为1至40的烷基、三烷基硅基或氧代烷基（oxoalkyl)，其中 该碳数为1至40的烷基可为直链烷基、支链烷基或环烷基，该三烷基硅基中各烷基的碳数 为1至6,且该氧代烷基中各烷基的碳数为4至20,或者X 3具有如下式（IV)所示的结构：
[0071] 于式（IV)中，X4代表氢原子、碳数为1至10的烷基，且该烷基可为直链烷基、支链 烷基或环烷基。&与X 6分别独立地代表氢原子、碳数为1至10的烷基，且该烷基可为直链 烷基、支链烷基或环烷基。当&与X6R表直链烷基或支链烷基时，X 5与X 6可键结为一环状 结构。
[0072] 前述的X1较佳可为氢原子或甲基。
[0073] 前述的&较佳可为碳数为1至20的烷基，或者碳数为6至20的芳香基，更佳可 为碳数为1至10的烷基，或者碳数为6至10的芳香基。
[0074] 于&中，该直链烷基、支链烷基或环烷基的具体例可为甲基、乙基、丙基、异丙基、 丁基、异丁基、叔丁基或环己基等，且该芳香基的具体例可为苯基、4-甲基苯基或萘基等。该 X2较佳可为甲