感光性树脂组合物、保护膜及具有保护膜的元件的制作方法_4

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氧 基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸丁酯、2-丁氧基丙酸甲酯、2-丁氧基丙酸乙 酯、2-丁氧基丙酸丙酯、2-丁氧基丙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-甲 氧基丙酸丙酯、3-甲氧基丙酸丁酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙 酸丙酯、3-乙氧基丙酸丁酯、3-丙氧基丙酸甲酯、3-丙氧基丙酸乙酯、3-丙氧基丙酸丙酯、 3_丙氧基丙酸丁酯、3-丁氧基丙酸甲酯、3-丁氧基丙酸乙酯、3-丁氧基丙酸丙酯或3-丁氧 基丙酸丁酯等。该溶剂可单独一种或混合多种使用。
[0107] 该溶剂较佳是选自于二乙二醇二甲醚或丙二醇甲醚醋酸酯。
[0108] 前述共聚合反应所使用的聚合起始剂可包含但不限于偶氮化合物或过氧化物。该 聚合起始剂可单独一种或混合多种使用。
[0109] 该偶氮化合物可包含但不限于2, 2' -偶氮双异丁腈、2, 2' -偶氮双(2, 4-二甲基 戊臆)[2, 2' -Azobis (2, 4-dimethylvaleronitrile) ]、2, 2'-偶氮双(4-甲氧基-2, 4-二甲 基戊腈)、2, 2' -偶氮双-2-甲基丁腈[2, 2' -azobis-2-methyl butyronitrile]、4, 4' -偶 氮双(4-氰基戊酸)、二甲基2,2' -偶氮双(2-甲基丙酸酯)或2,2'_偶氮双(4-甲氧 基_2, 4-二甲基戊臆)等。
[0110] 该过氧化物可包含但不限于过氧化二苯甲酰、过氧化十二酰、叔丁基过氧化叔戊 酸酯、1,1-双(叔丁基过氧化)环己烷或过氧化氢等。
[0111] 该碱可溶性树脂(A)的分子量可通过使用单一种树脂,或并用两种或两种以上不 同分子量的树脂调整。该碱可溶性树脂(A)的重量平均分子量为3, 000至100, 000,较佳为 4, 000 至 80, 000,且更佳为 5, 000 至 60, 000。
[0112] 邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)
[0113] 本发明的邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)可选用一般所使用的,并没有特别的限制。该 邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)是可为完全酯化或部份酯化的酯化物。该邻萘醌二叠氮磺酸酯 (B)较佳是由邻萘醌二叠氮磺酸或其盐类与羟基化合物反应所制得,更佳是由邻萘醌二叠 氮磺酸或其盐类与多元羟基化合物反应所制得。
[0114] 该邻萘醌二叠氮磺酸可包含但不限于邻萘醌二叠氮-4-磺酸、邻萘醌二叠 氮-5-磺酸或邻萘醌二叠氮-6-磺酸等。该邻萘醌二叠氮磺酸的盐类可包含但不限于邻萘 醌二叠氮磺酸卤盐。
[0115] 该羟基化合物可包含但不限于羟基二苯甲酮类化合物、羟基芳基类化合物、(羟基 苯基)烃类化合物或其它芳香族羟基类化合物。该羟基化合物可单独一种或混合多种使 用。
[0116] 前述的羟基二苯甲酮类化合物可包含但不限于2, 3, 4-三羟基二苯甲酮、 2, 4, 4' -三羟基二苯甲酮、2, 4, 6-三羟基二苯甲酮、2, 3, 4, 4' -四羟基二苯甲酮、 2, 4, 2',4' -四羟基二苯甲酮、2, 4, 6, 3',4' -五羟基二苯甲酮、2, 3, 4, 2',4' -五羟基二苯甲 酮、2, 3, 4, 2',5' -五羟基二苯甲酮、2, 4, 5, 3',5' -五羟基二苯甲酮或2, 3, 4, 3',4',5' -六 羟基二苯甲酮等。
[0117] 前述的羟基芳基类化合物可具有如下式(V-I)所示的结构:
[0119] 于式(V-I)中,Y1SY 3表示氢原子或碳数为1至6的烷基;Y4S Y9表示氢原子、 卤素原子、碳数为1至6的烷基、碳数为1至6的烷氧基(alkoxy)、碳数为1至6的脂烯基 (alkenyl),或者环烷基(cycloalkyl) !Y1。及Y η表示氢原子、卤素原子及碳数为1至6的 烷基;a、b及d表示1至3的整数;e表示0或1。
[0120] 如式(V-I)所示的羟基芳基类化合物可包含但不限于三(4-羟基苯基)甲烷、 双(4-羟基-3, 5-二甲基苯基)-4-羟基苯基甲烷、双(4-羟基-3, 5-二甲基苯基)-3-羟 基苯基甲烷、双(4-羟基-3, 5-二甲基苯基)-2-羟基苯基甲烷、双(4-羟基-2, 5-二甲 基苯基)-4-羟基苯基甲烷、双(4-羟基-2, 5-二甲基苯基)-3-羟基苯基甲烷、双(4-羟 基-2, 5-二甲基苯基)-2-羟基苯基甲烷、双(4-羟基-3, 5-二甲基苯基)-3, 4-二羟基苯 基甲烷、双(4-羟基-2, 5-二甲基苯基)-3,4-二羟基苯基甲烷、双(4-羟基-3, 5-二甲基 苯基)-2, 4-二羟基苯基甲烷、双(4-羟基-2, 5-二甲基苯基)-2, 4-二羟基苯基甲烷、双 (4-羟基苯基)-3-甲氧基-4-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-4-羟基苯基)-3-羟基苯基甲 烷、双(3-环己基-4-羟基苯基)-2-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-4-羟基苯基)-4-羟基 苯基甲烷、双(3-环己基-4-羟基-6-甲基苯基)-2-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-4-羟 基-6-甲基苯基)-3-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-4-羟基-6-甲基苯基)-4-羟基苯基 甲烷、双(3-环己基-4-羟基-6-甲基苯基)-3, 4-二羟基苯基甲烷、双(3-环己基-6-羟 基苯基)-3-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-6-羟基苯基)-4-羟基苯基甲烷、双(3-环己 基 _6_羟基苯基)_2_羟基苯基甲烧、双(3_环己基_6_羟基_4_甲基苯基)_2_羟基苯基甲 烷、双(3-环己基-6-羟基-4-甲基苯基)-4-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-6-羟基-4-甲 基苯基)-3,4-二羟基苯基甲烷、1-[1-(4_羟基苯基)异丙基]-4-[1,1-双(4-羟基苯基) 乙基]苯或1-[1-(3_甲基-4-羟基苯基)异丙基]-4-[1,1-双(3-甲基-4-羟基苯基) 乙基]苯等。
[0121] 前述的(羟基苯基)烃类化合物可具有如下式(V-2)所示的结构:
[0123] 于式(V-2)中,Y12及Y 13表示氢原子或碳数为1至6的烷基,且f及g表示1至3 的整数。
[0124] 如式(V-2)所示的(羟基苯基)烃类化合物可包含但不限于2-(2, 3, 4-三羟基苯 基)-2- (2',3',4' -三羟基苯基)丙烷、2- (2, 4-二羟基苯基)-2- (2',4' -二羟基苯基)丙 烷、2-(4-羟基苯基)-2-(4'_羟基苯基)丙烷、双(2, 3, 4-三羟基苯基)甲烷或双(2, 4-二 羟基苯基)甲烷等。
[0125] 前述的其它芳香族羟基类化合物可包含但不限于苯酚、对-甲氧基苯酚、二甲基 苯酚、对苯二酚、双酚A、萘酚、邻苯二酚、1,2, 3-苯三酚甲醚、1,2, 3-苯三酚-1,3-二甲基 醚、3, 4, 5-三羟基苯甲酸,或者部份酯化或部份醚化的3, 4, 5-三羟基苯甲酸等。
[0126] 上述的羟基化合物较佳是选自于1-[1-(4_羟基苯基)异丙基]_4-[1,1-双(4-羟 基苯基)乙基]苯、2, 3, 4-三羟基二苯甲酮、2, 3, 4, 4'-四羟基二苯甲酮或上述材料的任意 组合。
[0127] 该邻萘醌二叠氮磺酸或其盐类与羟基化合物的反应通常在二氧杂环己烷 (dioxane)、N_吡略烧酮(N-pyrrolidone)或乙酰胺(acetamide)等有机溶媒中进行。前 述的反应更佳是添加三乙醇胺、碱金属碳酸盐或碱金属碳酸氢盐等碱性缩合剂。
[0128] 该邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)的酯化度较佳在50%以上,亦即以该羟基化合物中的 羟基总量为100摩尔百分比计,该羟基化合物中有50摩尔百分比以上的羟基与邻萘醌二叠 氮磺酸或其盐类进行酯化反应。该邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)的酯化度更佳在60%以上。
[0129] 基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份,该邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)的使 用量为3重量份至30重量份,较佳为5重量份至30重量份,且更佳为5重量份至25重量 份。
[0130] 溶剂(C)
[0131] 该感光性树脂组合物中的溶剂(C)种类并没有特别限制,只要能使各组份完全 溶解,且具有高挥发性,在常压下只需提供少许热量便可以使该溶剂挥发。较佳地,该 溶剂是选自于常压下沸点低于150°C的溶剂,可单独或混合两种以上使用,包括芳香族 类溶剂,例如:苯、甲苯、二甲苯等;醇类溶剂,例如:甲醇、乙醇等;醚类溶剂,例如:乙二 醇单丙醚、二乙二醇二甲醚、四氢呋喃、乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、二乙二醇甲醚、二 乙二醇乙醚、二乙二醇丁醚等;酯类溶剂,例如:乙二醇甲醚醋酸酯、乙二醇乙醚醋酸酯、 丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇乙醚醋酸酯、丙二醇丙醚醋酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯[ethyl 3-ethoxypropionate,简称EEP]等;酮类溶剂,例如:甲乙酮、丙酮等。又较佳地,为提高该 感光性树脂组合物的储存安定性,该溶剂(C)是选自于二乙二醇二甲醚、丙二醇甲醚醋酸 酯、3-乙氧基丙酸乙酯,或上述这些溶剂的组合。
[0132] 基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份,该溶剂(C)的使用量为100重量 份至1000重量份,较佳为100重量份至800重量份,且更佳为200重量份至800重量份。
[0133] 添加剂(D)
[0134] 该感光性树脂组合物可进一步选择性包含添加剂(D)。本发明所属技术领域中具 有通常知识者可依据需求选择添加剂(D),且添加剂(D)可包含但不限于填充剂、碱可溶性 树脂(A)以外的高分子、紫外线吸收剂、防凝集剂、界面活性剂、密着促进剂、保存安定剂、 耐热性促进剂、硬化促进剂或上述材料的任意组合。
[0135] 该填充剂的种类并无特别的限制,且可包含但不限于玻璃或铝。
[0136] 前述碱可溶性树脂(A)以外的高分子可为聚乙烯醇、聚乙二醇单烷基醚或聚氟丙 稀醋。
[0137] 该紫外线吸收剂的种类并无特别的限制。该紫外线吸收剂较佳可为2-(3-叔丁 基-5-甲基_2_羟基苯基)_5_氯苯基叠氮或烷氧基苯酮。
[0138] 该防凝集剂可包含但不限于聚丙烯酸钠。
[0139] 该界面活性剂可包含但不限于含氟界面活性剂或有机硅界面活性剂。该界面活性 剂可单独一种或混合多种使用,且其作用在于促进该感光性树脂组合物的涂布性。
[0140] 前述的含氟界面活性剂是指末端、主链及侧链至少包含一氟烷基或一氟烯基的 含氟界面活性剂。该含氟界面活性剂可包含但不限于1,1,2, 2-四氟辛基(1,1,2, 2-四 氟丙基)醚、1,1,2, 2-四氟辛基己基醚、八乙二醇二(1,1,2, 2-四氟丁基)醚、六乙 二醇(1,1,2,2,3,3-六氟戊基)醚、八丙二醇二(1,1,2,2-四氟丁基)醚、六丙二醇 (1,1,2, 2, 3, 3-六氟戊基)醚、全氟十二烷基硫酸钠、1,1,2, 2, 8, 8, 9, 9, 10, 10-十氟十二 烷、1,1,2, 2, 3, 3-六氟癸烷、氟烷苯磺酸钠、氟烷磷酸钠、氟烷羧酸钠、氟烷聚氧乙烯醚、二 丙三醇四(氟烷聚氧乙烯醚)、氟烷铵碘、氟烷甜菜碱、氟烷聚氧乙烯醚、全氟烷聚氧乙烯醚 或全氟烷基烷醇等。该含氟界面活性剂的市售品可包含但不限于BM Chemical制造的商 品,其型号为BM-1000或BM-1100 ;大日本墨水及化学工业制造的商品
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