基、乙基或苯基。
[0075] 前述的X3较佳为碳数为1至30的烷基，且更佳为碳数为1至20的烷基。当X 3为 三烷基硅基时，三烷基硅基中各烷基的碳数较佳可为1至4。当X3为氧代烷基时，氧代烷基 中各烷基的碳数较佳可为4至10。
[0076] 于&中，前述的直链烷基、支链烷基或环烷基的具体例可包含甲基、乙基、 丙基、异丙基、丁基、异丁基、叔丁基、环戊基、环己基、环庚基、三乙基萘酯甲酰胺基 (triethylCarbaryl)、1-乙基降冰片基、1-甲基环己基、金刚烷基、2-(2-甲基）金钢烷基或 叔戊基等。前述三烷基硅基的具体例可为三甲基硅基、三乙基硅基或二甲基-叔丁基硅基 等。该氧代烷基的具体例可为3-氧代环己基等。
[0077] 前述的\较佳可为碳数为1至8的烷基，且更佳可为碳数为1至6的烷基。
[0078] 前述的&与X 6较佳可为碳数为1至8的烷基，且更佳可为碳数为1至6的烷基。
[0079] 如式（IV)所示的结构的可为1-甲氧基乙基、1-乙氧基乙基、1-正丙氧基、 1-异丙氧基、1-正丁氧基、1-异丁氧基、1-仲丁氧基、1-叔丁氧基、1-叔戊氧基乙基 (1-tert-amyloxyethyl)、1-乙氧基正丙基、1-环己氧基乙基、甲氧基丙基、乙氧基丙基、 1-甲氧基-1-甲基乙基或1-乙氧基-1-甲基乙基等的直链烷基或支链缩醛基；四氢呋喃 基或四氢吡喃基等的环状缩醛基。如式（IV)所示的结构较佳可为乙氧基乙基、丁氧基、乙 氧基丙基或四氢吡喃基。
[0080] 较佳地，于如式（III)所示的结构中，X1代表氢原子或甲基；X2代表氢原子，或者 碳数为1至6的烷基，且该烷基可为直链烷基或支链烷基；X 3代表氢原子、碳数为1至12的 烷基、碳数为1至6的三烷基硅基，或者如式（IV)所示的结构，其中该烷基可为直链烷基、 支链烷基或环烷基。而于式（IV)中，X 4代表碳数为1至6的烷基，且该烷基可为直链烷基、 支链烷基或环烷基；&及X 6分别独立地代表氢原子、碳数为1至6的烷基，且该烷基可为直 链烷基、支链烷基或环烷基，或者&与X 6可键结为一环状结构。
[0081] 如式（III)所示的结构的具体例可为羟基苯乙烯、α -甲基羟基苯乙烯、甲氧基 苯乙烯、叔丁氧基苯乙烯、环己氧基苯乙烯、三甲基硅氧基苯乙烯、4-(1-甲氧基乙氧基） 苯乙稀、4-(1-乙氧基乙氧基）苯乙稀或四氢吡喃氧基苯乙稀（tetrahydropyranyloxy styrene)等。如式（III)所示的结构较佳可为羟基苯乙稀、甲氧基苯乙稀、叔丁氧基苯乙 烯、4-(1-乙氧基乙氧基）苯乙烯或四氢吡喃氧基苯乙烯。
[0082] 基于不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物（al)、具有双键基团的芴衍生物（a2)及 具有酸分解性基的不饱和化合物（a3)的总使用量为100重量份，该具有酸分解性基的不饱 和化合物（a3)的使用量为1重量份至80重量份，较佳为5重量份至75重量份，且更佳为 5重量份至62重量份。
[0083] 若本发明的碱可溶性树脂（A)不使用具有酸分解性基的不饱和化合物（a3)时，所 制得的感光性树脂组合物具有耐显影性不佳的缺陷。
[0084] 具有环氧基的不饱和化合物（a4)
[0085] 于本发明的碱可溶性树脂（A)中，前述的混合物可选择性地包含具有环氧基的不 饱和化合物（a4)的共聚合单体。该具有环氧基的不饱和化合物（a4)可包含但不限于具有 环氧基的（甲基）丙烯酸酯化合物、具有环氧基的α-烷基丙烯酸酯化合物或环氧丙醚化 合物。
[0086] 该具有环氧基的（甲基）丙烯酸酯化合物可包含但不限于（甲基）丙烯酸环氧丙 酯[glycidyl (meth)acrylate]、（甲基）丙稀酸2-甲基环氧丙酯、（甲基）丙稀酸3, 4-环 氧丁酯、（甲基）丙烯酸6, 7-环氧庚酯、（甲基）丙烯酸3, 4-环氧环己酯或（甲基）丙烯 酸3,4_环氧环己基甲酯[3,44卩(《5^5^10116叉7111161:1171(11161:11)&(^71&七6]等 。
[0087] 该具有环氧基的α -烷基丙烯酸酯化合物可包含但不限于α -乙基丙烯酸环氧丙 酯、α -正丙基丙烯酸环氧丙酯、α -正丁基丙烯酸环氧丙酯或α -乙基丙烯酸6, 7-环氧庚 酯等。
[0088] 该环氧丙醚化合物可包含但不限于邻-乙烯基苯甲基环 氧丙醚（O-Vinylbenzylglycidylether)、间-乙烯基苯甲基环氧丙 醚（m-vinylbenzylglycidylether)或对-乙烯基苯甲基环氧丙醚 (p-vinylbenzylglycidylether)等。
[0089] 该具有环氧基的不饱和化合物（a4)较佳是选自于甲基丙烯酸环氧丙酯、（甲基） 丙烯酸3, 4-环氧环己基甲酯、甲基丙烯酸6, 7-环氧庚酯、邻-乙烯基苯甲基环氧丙醚、 间-乙烯基苯甲基环氧丙醚及对-乙烯基苯甲基环氧丙醚。上述具有环氧基的不饱和化合 物（a4)可单独一种或混合多种使用。
[0090] 基于不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物（al)、具有双键基团的芴衍生物（a2)及 具有酸分解性基的不饱和化合物（a3)的总使用量为100重量份，该具有环氧基的不饱和化 合物（a4)的使用量为0重量份至50重量份，较佳地为1重量份至40重量份，且更佳为2 重量份至30重量份。
[0091] 若本发明的碱可溶性树脂（A)包含具有环氧基的不饱和化合物（a4)时，所制得的 感光性树脂组合物具有较佳的耐显影性。
[0092] 其它不饱和化合物（a5)
[0093] 于本发明的碱可溶性树脂（A)中，前述的混合物可选择性地包含其它不饱和化合 物（a5)的共聚合单体。该其它不饱和化合物（a5)可包含但不限于（甲基）丙烯酸烷基酯、 (甲基）丙烯酸脂环族酯、（甲基）丙烯酸芳基酯、不饱和二羧酸二酯、（甲基）丙烯酸羟烷 酯、（甲基）丙烯酸酯的聚醚、芳香乙烯化合物及其它不饱和单体。
[0094] 该（甲基）丙烯酸烷基酯可包含但不限于（甲基）丙烯酸甲酯、（甲基）丙烯酸 乙酯、（甲基）丙烯酸正丙酯、（甲基）丙烯酸异丙酯、（甲基）丙烯酸正丁酯、（甲基）丙 烯酸异丁酯、（甲基）丙烯酸二级丁酯或（甲基）丙烯酸三级丁酯等。
[0095] 该（甲基）丙烯酸脂环族酯可包含但不限于（甲基）丙烯酸环己酯、（甲基）丙 烯酸-2-甲基环己酯、三环[5. 2. I. 02'6]癸-8-基（甲基）丙烯酸酯（或称为（甲基）丙 稀酸双环戊酯[dicyclopentanyl(meth)acrylate])、（甲基）丙稀酸二环戊氧基乙酯、（甲 基）丙烯酸异冰片酯或（甲基）丙烯酸四氢呋喃酯等。
[0096] 该（甲基）丙烯酸芳基酯可包含但不限于（甲基）丙烯酸苯基酯或（甲基）丙烯 酸苯甲酯[benzyl (meth) aery late]等。
[0097] 该不饱和二羧酸二酯可包含但不限于马来酸二乙酯、富马酸二乙酯或衣康酸二乙 酯等。
[0098] 该（甲基）丙烯酸羟烷酯可包含但不限于（甲基）丙烯酸2-羟基乙酯 [2-hydroxyethyl (meth) acrylate]或（甲基）丙稀酸-2-羟基丙酯等。
[0099] 该（甲基）丙烯酸酯的聚醚可包含但不限于聚乙二醇单（甲基）丙烯酸酯或聚丙 二醇单（甲基）丙烯酸酯等。
[0100] 该芳香乙烯化合物可包含但不限于苯乙烯、α -甲基苯乙烯、间-甲基苯乙烯， 对-甲基苯乙烯或对-甲氧基苯乙烯等。
[0101] 该其它不饱和单体可包含但不限于丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、偏二氯乙烯、丙 烯酰胺、甲基丙烯酰胺、乙烯乙酯、1，3- 丁二烯、异戊二烯、2, 3-二甲基-1，3- 丁二烯、N-环 己基马来酰亚胺、N-苯基马来酰亚胺、N-苄基马来酰亚胺、N- 丁二酰亚胺基-3-马来酰亚 胺苯甲酸酯、N- 丁二酰亚胺基-4-马来酰亚胺丁酸酯、N- 丁二酰亚胺基-6-马来酰亚胺己 酸酯、N- 丁二酰亚胺基-3-马来酰亚胺丙酸酯或Ν-(9-吖啶基）马来酰亚胺等。
[0102] 该其它不饱和化合物（a5)较佳是选自于（甲基）丙烯酸甲酯、（甲基）丙烯酸丁 酯、（甲基）丙烯酸2-羟基乙酯、（甲基）丙烯酸三级丁酯、（甲基）丙烯酸苯甲酯、（甲 基）丙烯酸双环戊酯、（甲基）丙烯酸二环戊氧基乙酯、苯乙烯或对-甲氧基苯乙烯。上述 其它不饱和化合物（a5)可单独一种或混合多种使用。
[0103] 基于不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物（al)、具有双键基团的芴衍生物（a2)及 具有酸分解性基的不饱和化合物（a3)的总使用量为100重量份，该其它不饱和化合物（a5) 的使用量为〇重量份至50重量份，较佳为1重量份至40重量份，且更佳为2重量份至30 重量份。
[0104] 制备碱可溶性树脂（A)的方法
[0105] 制备碱可溶性树脂（A)的方法是对前述不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物（al)、 具有双键基团的芴衍生物（a2)及具有酸分解性基的不饱和化合物（a3)进行共聚合反应所 制得。其次，前述的共聚合反应亦可选择性地添加具有环氧基的不饱和化合物（a4)及/或 其它不饱和化合物（a5)。
[0106] 制备该碱可溶性树脂（A)时所用的溶剂可包含但不限于（1)醇类化合物：甲醇、 乙醇、苯甲醇、2-苯乙醇或3-苯基-1-丙醇等；（2)醚类化合物：四氢呋喃等；（3)二醇醚 类化合物：乙二醇单丙醚、乙二醇单甲醚或乙二醇单乙醚等；（4)乙二醇烷基醚醋酸酯：乙 二醇丁醚醋酸酯、乙二醇乙醚醋酸酯或乙二醇甲醚醋酸酯等；（5)二乙二醇类化合物：二 乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单丁醚、二乙二醇二甲醚（diethylene glycol dimethyl ether)、二乙二醇二乙醚或二乙二醇甲乙醚等；（6)二丙二醇类化合物：二丙二 醇单甲醚、二丙二醇单乙醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇二乙醚或二丙二醇甲乙醚等；（7) 丙二醇单烷基醚类化合物：丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、丙二醇单丙醚或丙二醇单丁醚 等；(8)丙二醇烷基醚醋酸酯类化合物：丙二醇甲醚醋酸酯（propylene glycol monomethyl ether acetate)、丙二醇乙醚醋酸酯、丙二醇丙醚醋酸酯或丙二醇丁醚醋酸酯等；（9)丙二 醇烷基醚丙酸酯类化合物：丙二醇甲醚丙酸酯、丙二醇乙醚丙酸酯、丙二醇丙醚丙酸酯或丙 二醇丁醚丙酸酯等；（10)芳香烃类化合物：甲苯或二甲苯等；（11)酮类化合物：甲乙酮、环 己酮或二丙酮醇等；（12)酯类化合物：乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、2-羟基丙 酸乙酯、2-羟基-2-甲基丙酸甲酯、2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、羟乙酸甲酯、羟乙酸乙酯、羟 乙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、3-羟基丙酸甲酯、3-羟基丙酸乙酯、3-羟基丙酸 丙酯、3-羟基丙酸丁酯、2-羟基-3-甲基丁酸甲酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲 氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸丙酯、乙氧基乙酸丁酯、丙氧 基乙酸甲酯、丙氧基乙酸乙酯、丙氧基乙酸丙酯、丙氧基乙酸丁酯、丁氧基乙酸甲酯、丁氧基 乙酸乙酯、丁氧基乙酸丙酯、丁氧基乙酸丁酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、2-甲氧基丙酸甲酯、 2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸丁酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙