技术总结
一种基板修补装置，能够省略工作部侧罐的更换作业，且易于进行用于修补用基板的修补处理的处理用气体的供给。工作部(3)具备：小型气体罐(5)，储存处理用气体并向激光CVD处理部(4)供给处理用气体；以及工作部侧接头(6)，能够向小型气体罐(5)导入原料气体，在不干扰工作部(3)的位置设有大容量高压气体罐(7)以及通过供给用管道(8)连接于大容量高压气体罐(7)的供给用罐侧接头(9)，工作部侧接头(6)能够与供给用罐侧接头(9)结合以及解除结合。
技术研发人员：清水秀教
受保护的技术使用者：株式会社V技术
技术研发日：2018.03.05
技术公布日：2018.09.28