调整蒸镀偏位的装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及显示屏的制备，特别是涉及一种彩色化显示屏制备过程中快速调整蒸镀偏位的装置。
【背景技术】
[0002]目前，OLED(Organic Light-Emitting D1de，有机发光二极管)蒸镀过程中普遍需要使用掩膜板，随着超高分辨率显示屏的出现，掩膜板与TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶体管)基板的对位精度要求也越来越高。若掩膜板与基板的对位精度过低，则会引起较大的蒸镀偏位，严重影响了显示质量。
[0003]传统技术在调整彩色化显示屏的蒸镀偏位时，需要把有机材料蒸镀完后，从蒸镀腔室中取出蒸镀有有机材料的基板，放到显微镜下测量蒸镀层相对于下层基板的图案的偏移量，然后另取基板放入蒸镀腔室蒸镀，并根据前一次在显微镜下观察到的偏移量来调整机台的对位参数，蒸镀完成后放到显微镜下测量蒸镀偏差，依次循环，直至蒸镀偏差在允许的范围之后，再进行下一层有机材料的蒸镀偏位调整，一直到所有的彩色化有机材料全部完成且符合产品设计要求。该方法需要将基板从蒸镀腔室中取出，再置于显微镜下进行人工测量，不仅效率低，且人工测量存在较大的偏差，不利于精度的提高。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型提供了一种调整蒸镀偏位的装置，可以实现蒸镀偏位的高精度快速调整。
[0005]为达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案:
[0006]一种调整蒸镀偏位的装置，包括
[0007]基板，所述基板上设置有第一 TEG，所述第一 TEG包括多个结构相同的第一矩形框，所述多个第一矩形框沿横向和纵向间隔分布，形成矩阵结构；
[0008]掩膜板，所述掩膜板上设置有第二 TEG，所述第二 TEG包括至少一个第二矩形框，所述掩膜板与所述基板对准后，所述第二矩形框与所述第一 TEG中的预设区域相对应；以及
[0009]用于观察蒸镀偏位的CCD镜头，所述CCD镜头设置在蒸镀腔室中。
[0010]在其中一个实施例中，横向方向上相邻的两个所述第一矩形框之间的距离与所述第一矩形框的长度相等，纵向方向上相邻的两个所述第一矩形框之间的距离与所述第一矩形框的宽度相等。
[0011]在其中一个实施例中，所述第二矩形框的长度为所述第一矩形框长度的整数倍，所述第二矩形框的宽度为所述第一矩形框宽度的整数倍。
[0012]在其中一个实施例中，所述第一矩形框和所述第二矩形框均为正方形。
[0013]在其中一个实施例中，所述基板包括有机材料蒸镀区域以及设置在所述有机材料蒸镀区域外围的第一对位区域，所述第一 TEG设置在所述第一对位区域中。
[0014]在其中一个实施例中，所述掩膜板包括有效区域以及设置在所述有效区域外围的第二对位区域，所述有效区域和所述第二对位区域中均设置有多个矩形构图孔，所述第二TEG选自所述第二对位区域中多个矩形构图孔中的一个或多个。
[0015]在其中一个实施例中，所述第一 TEG的每一行和每一列上均设置有数字标识。
[0016]在其中一个实施例中，每个所述第一矩形框内以及相邻两个所述第一矩形框的间隙中均设置有数字标识。
[0017]在其中一个实施例中，所述第一 TEG为一个，所述第二 TEG为多个，所述掩膜板与所述基板对准后，不同的所述第二 TEG分别对应所述第一 TEG的不同位置。
[0018]在其中一个实施例中，所述第一 TEG为多个，所述第二 TEG为多个，所述掩膜板与所述基板对准后，所述多个第一 TEG与所述多个第二 TEG —一对应。
[0019]本实用新型具有如下有益效果:
[0020]本实用新型的调整蒸镀偏位的装置，在基板上设置了第一 TEG，在掩膜板上设置了第二 TEG，在进行有机材料蒸镀后，基板上与第二 TEG相对应的位置处会生成对位图案，通过CCD镜头即可观察该对位图案相对于第一 TEG的预设区域的偏移量，将该偏移量输入设备即可完成蒸镀偏位的一次调整。本实用新型无需将基板移出沉积腔室即可完成蒸镀偏位的调整，实现了基板的重复利用，即可在该基板上继续沉积下一有机材料层，进行所述下一有机材料层蒸镀偏位的调整，大大节约了材料成本，提高了调整效率；同时，本实用新型的第一 TEG和第二 TEG均由矩形框构成，使得蒸镀偏位的观察更加直观、准确，节约了时间，提高了精度。
【附图说明】
[0021]图1为本实用新型的调整蒸镀偏位的装置中第一 TEG和第二 TEG —实施例的结构不意图，其中，(a)为第一 TEG —实施例的结构不意图；(b)为第二 TEG —实施例的结构不意图；
[0022]图2为使用图1所示的第一 TEG和第二 TEG调整蒸镀偏位时，不同偏位情况的结构示意图，其中，黑色框为对位图案；
[0023]图3为本实用新型的调整蒸镀偏位的装置中第一 TEG和第二 TEG另一实施例的结构示意图，其中，(a)为第一 TEG另一实施例的结构示意图；(b)为第二 TEG另一实施例的结构示意图；
[0024]图4为使用图3所示的第一 TEG和第二 TEG调整蒸镀偏位时，不同偏位情况的结构示意图，其中，黑色框为对位图案；
[0025]图5为本实用新型的调整蒸镀偏位的装置中基板一实施例的结构示意图；
[0026]图6为本实用新型的调整蒸镀偏位的装置中掩膜板一实施例的结构示意图。
【具体实施方式】
[0027]为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例对本实用新型的调整蒸镀偏位的装置进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0028]本实用新型提供了一种调整蒸镀偏位的装置，包括基板、掩膜板和CO)(Charge-coupled Device，电感親合元件)镜头。其中，基板上设置有第一 TEG(TestElement Group，测试元件组)，第一 TEG包括多个结构相同的第一矩形框，多个第一矩形框沿横向和纵向间隔分布，形成矩阵结构；掩膜板上设置有第二 TEG，第二 TEG包括至少一个第二矩形框，当掩膜板与基板对准后，第二矩形框与第一 TEG中的预设区域相对应；CCD镜头设置在蒸镀腔室中，用于观察有机材料层的蒸镀偏位。
[0029]需要说明的是，本实用新型中的“预设区域”是指设计过程中预先确定好的位置，根据设计的不同而不同，可以为某一个第一矩形框，也可以为相邻两个第一矩形框之间的间隙，还可以为某一个矩形框连同其周边的间隙；另外，本实新型中的矩阵结构是指行与行之间相互平行、列与列之间相互平行的阵列结构，如图1(a)所示。
[0030]本实用新型中，第一 TEG和第二TEG分别作为基板和掩膜板的对位标记。在一层有机材料层蒸镀完成之后，掩膜板上的图案转移到基板上，其中，由于第二 TEG所转移的图案用于进行对位，因此称为对位图案；通过比较对位图案与第一 TEG中预设区域的位置偏差，即可得出该有机材料层的蒸镀偏位量，将该位置偏差输入蒸镀设备即完成了一次蒸镀偏位调整。
[0031]本实用新型通过设置在蒸镀腔室中的CCD镜头来观察蒸镀偏位，无需将基板取出蒸镀腔室即可完成蒸镀偏位的观测和调整，由于无需将蒸镀后的基板移出蒸镀腔室，使得基板可以重复利用，即可在完成一次调整后的基板上继续蒸镀下一有机材料层，进行该下一有机材料层蒸镀偏位的调整，大大节约了材料成本，提高了调整效率；同时，本实用新型的第一 TEG和第二 TEG均由矩形框构成，使得蒸镀偏位的观察更加直观、准确、方便，节约了时间，提尚了精度。
[0032]具体地，横向方向上(每一行)相邻的两个第一矩形框之间的距离与第一矩形框的长度相等，纵向方向上(每一列)相邻的两个第一矩形框之间的距离与第一矩形框的宽度相等。该方式有效减少了第一矩形框的设置数量，节约了工序，同时相邻的两个第一矩形框的间隙恰好容纳一个第一矩形框，增加了矩阵结构的对称性，能够更加直观准确的得出蒸镀偏位量。
[0033]作为优选，第二矩形框的长度为第一矩形框长度的整数倍，第二矩形框的宽度为第一矩形框宽度的整数倍。该方式中，第二矩形框的长与宽分别为第一矩形框的长与宽的整数倍，进一步增加了观测的直观性和准确性。
[0034]需要说明的是，本实用新型中第一矩形框的长度是指第一矩形框横向方向上的边长，第一矩形框的宽度是指第一矩形框纵向方向上的边长，第二矩形框的长度是指第二矩形框横向方向上的边长，第二矩形框的宽度是指第二矩形框纵向方向上的边长。
[0035]较佳地，作为一种可实施方式，第一矩形框和第二矩形框均为正方形，更佳地，第一矩形框和第二矩形框的边长相等。该方式进一步增加了蒸镀偏位测量的准确性和直观性。
[0036]较佳地，作为一种可实施方式，第一 TEG的每一行和每一列均设置有数字标识。如图1(a)所示的第一 TEG中，在每一行的上方和每一列的左方均设置有数字标识，方便对位和调整。进一步地，如图3(a)所示的第一 TEG中，每个第一矩形框内以及相邻两个第一矩形框的间隙中均设置有数字标识。
[0037]参见图1，为本实用新型的调整蒸镀偏位的装置中第一 TEG和第二 TEG—实施例的结构示意图。如图1(a)所示，该第一 TEG包括9个第一矩形框，9个第一矩形框构成的3*3矩阵结构，且9个第一矩形框均为边长为I ( 一个单位的长度，下同)的正方形框，相邻两个第一矩形框之间的距离均为I ;如图1(b)所示，第二 TEG只包括一个第二矩形框，且该第二矩形框