一种硅片清洗机排风口冷凝回流装置的制作方法

文档序号:12813446阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅片清洗机排风口冷凝回流装置,包括硅片清洗机机顶前板(5),其特征在于:所述硅片清洗机机顶前板(5)的上方设置有硅片清洗机排风管分管(3),所述硅片清洗机机顶前板(5)与硅片清洗机排风管分管(3)的连接处设置有排风管安装垫片(4),所述排风管安装垫片(4)上设置有排风管分管固定螺栓(1),所述硅片清洗机排风管分管(3)的上方中间位置处设置有硅片清洗机排风管汇流管(2),所述硅片清洗机机顶前板(5)的两侧设置有冷凝回流器滑板(14),所述两个冷凝回流器滑板(14)之间设置有冷凝回流器安装板(6),所述冷凝回流器安装板(6)的前方设置有与冷凝回流器安装板(6)垂直的水刮板(7),所述水刮板(7)的前方设置有集水槽(12),所述集水槽(12)与水刮板(7)的连接处设置有集水槽安装螺栓(13),所述集水槽(12)的一侧设置有冷凝回流器排水管(9),所述冷凝回流器排水管(9)与集水槽(12)的连接处设置有密封胶圈(8),所述冷凝回流器排水管(9)远离密封胶圈(8)的一端设置有双通管(10)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机排风口冷凝回流装置,其特征在于:所述水刮板(7)与集水槽(12)通过集水槽安装螺栓(13)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机排风口冷凝回流装置,其特征在于:所述集水槽(12)的前表面上设置有把手(11)。

4.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机排风口冷凝回流装置,其特征在于:所述排风管安装垫片(4)与硅片清洗机机顶顶盖通过排风管分管固定螺栓(1)固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机排风口冷凝回流装置,其特征在于:所述冷凝回流器安装板(6)与硅片清洗机机顶侧板通过冷凝回流器滑板(14)滑动连接。

6.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机排风口冷凝回流装置,其特征在于:所述集水槽(12)为凹槽型结构。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1